Влияние водородной атмосферы на свойства пленки оксида алюминия на титане BT1-0; Журнал технической физики; Т. 89, № 4

Влияние водородной атмосферы на свойства пленки оксида алюминия на титане BT1-0; Журнал технической физики; Т. 89, № 4

Bibliographic Details
Parent link:Журнал технической физики/ Российская академия наук (РАН), Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе (ФТИ).— , 1931-
Т. 89, № 4.— 2019.— [С. 562-566]
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа новых производственных технологий Отделение материаловедения
Other Authors: Сыпченко В. С. Владимир Сергеевич, Ван Цайлунь, Никитенков Н. Н. Николай Николаевич, Тюрин Ю. И. Юрий Иванович, Сигфуссон Т. И. Торстеинн Инги, Филимонова В. С. Валерия Сергеевна
Summary:Заглавие с экрана
Работа посвящена взаимодействию пленки оксида алюминия, нанесенной на технически чистый титан марки ВТ1-0 методом магнетронного реактивного напыления, с водородсодержащей атмосферой. Время выдержки данной системы в водородсодержащей атмосфере составляло 1-4 h при прочих неизменных параметрах. Получены данные по распределению водорода по глубине (толщине пленки) и его содержанию в тонкопленочной системе, выявлено влияние времени выдержки в водородной атмосфере на адгезию коэффициент трения пленки, определена поверхностная электропроводность и распределение водорода в пленке оксида алюминия.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Language:Russian
Published: 2019
Subjects:
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
водородная атмосфера
свойства
пленки
оксид алюминия
титан
ВТ1-0
магнетронные напыления
адгезия
поверхностная электропроводность
водород
Online Access:https://doi.org/10.21883/JTF.2019.04.47312.36-18
https://www.elibrary.ru/item.asp?id=37643949
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=664085

Similar Items

Similar Items