Плазмохимическое осаждение антиотражающего и защитного покрытия для ИК-оптики; Известия вузов. Физика; Т. 62, № 11 (743)

Bibliographische Detailangaben
Parent link:	Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 62, № 11 (743).— 2019.— [С. 143-150]
Körperschaften:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга, Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов
Weitere Verfasser:	Гренадеров А. С. Александр Сергеевич, Оскомов К. В. Константин Владимирович, Соловьёв А. А. Андрей Александрович, Селиванова А. В. Александра Викторовна, Конищев М. Е. Максим Евгеньевич
Zusammenfassung:	Заглавие с экрана Пленки аморфного гидрогенизированного углерода, легированного Si и O, наносились на образцы кристаллического кремния методом плазмохимического осаждения в смеси паров полифенилметилсилоксана и аргона. Исследовались физико-механические и оптические свойства пленок для использования в качестве антиотражающих и защитных покрытий в устройствах ИК-оптики. Прозрачность пленок в диапазоне длин волн 2.5-8 мкм измерялась методом инфракрасной спектроскопии с фурье-преобразованием. Структура и состав пленок изучались методами рамановской и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Твердость и другие механические свойства пленок определялись с помощью наноиндентирования. Показано, что двухстороннее нанесение a-C:H:SiO x -пленок на Si-пластины позволяет повысить их интегральную пропускную способность в области длин волн 3-5 мкм с 50 до 87 %. При этом пленки обладают отличными механическими характеристиками, термостойкостью в диапазоне температур от комнатной до 500 °С и стойкостью к водным растворам соли. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	2019
Schlagworte:	труды учёных ТПУ электронный ресурс плазмохимический синтез антиотражающие покрытия защитные покрытия ИК-оптика
Online-Zugang:	https://www.elibrary.ru/item.asp?id=41420227
Format:	Elektronisch Buchkapitel
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=663044