Плазмохимическое осаждение антиотражающего и защитного покрытия для ИК-оптики; Известия вузов. Физика; Т. 62, № 11 (743)
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 62, № 11 (743).— 2019.— [С. 143-150] |
|---|---|
| Awduron Corfforaethol: | , |
| Awduron Eraill: | , , , , |
| Crynodeb: | Заглавие с экрана Пленки аморфного гидрогенизированного углерода, легированного Si и O, наносились на образцы кристаллического кремния методом плазмохимического осаждения в смеси паров полифенилметилсилоксана и аргона. Исследовались физико-механические и оптические свойства пленок для использования в качестве антиотражающих и защитных покрытий в устройствах ИК-оптики. Прозрачность пленок в диапазоне длин волн 2.5-8 мкм измерялась методом инфракрасной спектроскопии с фурье-преобразованием. Структура и состав пленок изучались методами рамановской и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Твердость и другие механические свойства пленок определялись с помощью наноиндентирования. Показано, что двухстороннее нанесение a-C:H:SiO x -пленок на Si-пластины позволяет повысить их интегральную пропускную способность в области длин волн 3-5 мкм с 50 до 87 %. При этом пленки обладают отличными механическими характеристиками, термостойкостью в диапазоне температур от комнатной до 500 °С и стойкостью к водным растворам соли. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Iaith: | Rwseg |
| Cyhoeddwyd: |
2019
|
| Pynciau: | |
| Mynediad Ar-lein: | https://www.elibrary.ru/item.asp?id=41420227 |
| Fformat: | Electronig Pennod Llyfr |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=663044 |
MARC
| LEADER | 00000naa0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 663044 | ||
| 005 | 20250421161424.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\34213 | ||
| 035 | |a RU\TPU\network\32273 | ||
| 090 | |a 663044 | ||
| 100 | |a 20210121d2019 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a arcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Плазмохимическое осаждение антиотражающего и защитного покрытия для ИК-оптики |d Plasma-Chemical Deposition of Anti-Reflection and Protective Coating for Infrared Optics |f А. С. Гренадеров, К. В. Оскомов, А. А. Соловьев [и др.] | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: 21 назв.] | ||
| 330 | |a Пленки аморфного гидрогенизированного углерода, легированного Si и O, наносились на образцы кристаллического кремния методом плазмохимического осаждения в смеси паров полифенилметилсилоксана и аргона. Исследовались физико-механические и оптические свойства пленок для использования в качестве антиотражающих и защитных покрытий в устройствах ИК-оптики. Прозрачность пленок в диапазоне длин волн 2.5-8 мкм измерялась методом инфракрасной спектроскопии с фурье-преобразованием. Структура и состав пленок изучались методами рамановской и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Твердость и другие механические свойства пленок определялись с помощью наноиндентирования. Показано, что двухстороннее нанесение a-C:H:SiO x -пленок на Si-пластины позволяет повысить их интегральную пропускную способность в области длин волн 3-5 мкм с 50 до 87 %. При этом пленки обладают отличными механическими характеристиками, термостойкостью в диапазоне температур от комнатной до 500 °С и стойкостью к водным растворам соли. | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | |t Известия вузов. Физика |o научный журнал |f Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ) |d 1957- | ||
| 463 | |t Т. 62, № 11 (743) |v [С. 143-150] |d 2019 | ||
| 510 | 1 | |a Plasma-Chemical Deposition of Anti-Reflection and Protective Coating for Infrared Optics |z eng | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a плазмохимический синтез | |
| 610 | 1 | |a антиотражающие покрытия | |
| 610 | 1 | |a защитные покрытия | |
| 610 | 1 | |a ИК-оптика | |
| 701 | 1 | |a Гренадеров |b А. С. |g Александр Сергеевич | |
| 701 | 1 | |a Оскомов |b К. В. |g Константин Владимирович | |
| 701 | 1 | |a Соловьёв |b А. А. |c специалист в области водородной энергетики |c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук |f 1977- |g Андрей Александрович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28694 |9 13504 | |
| 701 | 1 | |a Селиванова |b А. В. |g Александра Викторовна | |
| 701 | 1 | |a Конищев |b М. Е. |c физик |c старший преподаватель Томского политехнического университета |f 1987- |g Максим Евгеньевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27837 |9 12872 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет |b Инженерная школа ядерных технологий |b Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга |3 (RuTPU)RU\TPU\col\23561 |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет |b Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов |c (2017- ) |3 (RuTPU)RU\TPU\col\23551 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20210121 |g RCR | |
| 850 | |a 63413507 | ||
| 856 | 4 | 0 | |u https://www.elibrary.ru/item.asp?id=41420227 |
| 942 | |c CF | ||