Ballistic formation of high-intensity low-energy gas ion beams; Review of Scientific Instruments; Vol. 91, iss. 1
| Parent link: | Review of Scientific Instruments Vol. 91, iss. 1.— 2020.— [013326, 4 p.] |
|---|---|
| Müşterek Yazar: | Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научная лаборатория высокоинтенсивной имплантации ионов |
| Diğer Yazarlar: | Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich, Sivin D. O. Denis Olegovich, Shevelev A. E. Aleksey Eduardovich, Akhmadeev Yu. Kh. Yury Khalyafovich, Korneva O. S. Olga Sergeevna, Ivanova A. I. Anna Ivanovna, Lopatin I. V. Iljya Vladimirovich |
| Özet: | Title screen The development of the method of high-intensity implantation of low-energy ions requires the design of an efficient system for generating high-intensity ion beams of various elements with a current density of tens and hundreds of milliamperes per square centimeter with ion energies not exceeding some kiloelectronvolt. This paper considers the regularities of formation of high-intensity beams of nitrogen ions and argon and mixed beams of argon and hydrogen ions in spherical and cylindrical grid systems with ballistic focusing of the ion beam. The studies were carried out with the plasma-immersion formation of repetitively pulsed ion beams with duration from units to hundreds of microseconds and a pulse frequency of up to 105 pulses/s with negative bias potentials in the range from 0.6 to 3 kV. The possibility of stable formation of gas ion beams with an ion current density of up to 0.7 A/cm2 is demonstrated. |
| Dil: | İngilizce |
| Baskı/Yayın Bilgisi: |
2020
|
| Konular: | |
| Online Erişim: | https://doi.org/10.1063/1.5128432 |
| Materyal Türü: | Elektronik Kitap Bölümü |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=662472 |
Benzer Materyaller
Formation of high-intensity axially symmetric and ribbon beams of low-energy metal ions; Review of Scientific Instruments; Vol. 91, iss. 1
Baskı/Yayın Bilgisi: (2020)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2020)
Plasma-Immersion Formation of High-Intensity Ion Beams; Technical Physics Letters; Vol. 43, iss. 12
Baskı/Yayın Bilgisi: (2017)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2017)
Peculiarities of the formation of high-intensity ion beams of gases, metals and semiconductor materials; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2019)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2019)
Surface Modification of ZrO[2] -3Y[2]O[3] Ceramics with High-Intensity Pulsed N{2+} Ion Beams; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2019)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2019)
Модификация стали 40Х при высокоинтенсивной имплантации ионов азота; Известия вузов. Физика; Т. 61, № 2
Baskı/Yayın Bilgisi: (2018)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2018)
Features of titanium ion beams formation taking into account ion-electron emission realizing the synergy of high-intensity ion implantation and pulsed energy impact on the surface; Materials. Technologies. Design; Т. 5, № 4 (14)
Yazar:: D. O. Dimitry Olegovich
Baskı/Yayın Bilgisi: (2023)
Yazar:: D. O. Dimitry Olegovich
Baskı/Yayın Bilgisi: (2023)
Mixing in TI/STEEL system under High-intensity pulsed ion beam impact; High Temperature Material Processes: An International Quarterly of High-Technology Plasma Processes; Vol. 26, iss. 1
Baskı/Yayın Bilgisi: (2022)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2022)
Modification of the WC-Co carbide surface with high-intensity pulsed ion beam; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 1588 : Low Temperature Plasma during the Deposition of Functional Coatings
Baskı/Yayın Bilgisi: (2020)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2020)
Electron microscopy study of alumina ceramics Irradiated with a low-energy high-current electron beam; Russian Physics Journal; Vol. 64, iss. 2
Yazar:: Gyngazov S. A. Sergey Anatolievich
Baskı/Yayın Bilgisi: (2021)
Yazar:: Gyngazov S. A. Sergey Anatolievich
Baskı/Yayın Bilgisi: (2021)
Влияние параметров низкоэнергетического сильноточного электронного пучка на образование виртуального катода при его транспортировке в аргоне низкого давления; Высокие технологии в современной науке и технике
Yazar:: Звигинцев И. Л. Илья Леонидович
Baskı/Yayın Bilgisi: (2015)
Yazar:: Звигинцев И. Л. Илья Леонидович
Baskı/Yayın Bilgisi: (2015)
Исследование эффективности транспортировки низкоэнергетического высокоточного электронного пучка в плазменном канале в присутствии внешнего магнитного поля; Высокие технологии в современной науке и технике
Yazar:: Вагин Е. С. Евгений Сергеевич
Baskı/Yayın Bilgisi: (2015)
Yazar:: Вагин Е. С. Евгений Сергеевич
Baskı/Yayın Bilgisi: (2015)
Formation of high intensity ion beams with ballistic focusing; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 927 : Applied Mathematics and Mechanics in the Aerospace Industry (AMMAI'2020)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2017)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2017)
Модификация свойств поверхностного слоя силумина, обработанного высокоинтенсивным импульсным электронным пучком субмиллисекундной длительности воздействия; Высокие технологии в современной науке и технике; Т. 1
Yazar:: Ткаченко А. В.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2013)
Yazar:: Ткаченко А. В.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2013)
Численное моделирование динамики температурных полей в монокристаллическом кремнии при импульсно-периодической высокоинтенсивной ионной имплантации и энергетическом воздействии пучка на поверхность; Известия вузов. Физика; Т. 65, № 11
Baskı/Yayın Bilgisi: (2022)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2022)
Плазменно-иммерсионное формирование высокоинтенсивных ионных пучков; Письма в Журнал технической физики; Т. 43, вып. 23
Baskı/Yayın Bilgisi: (2017)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2017)
Progress in High Intensity, Low Ion Energy Implantation Method Development; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Yazar:: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
Baskı/Yayın Bilgisi: (2019)
Yazar:: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
Baskı/Yayın Bilgisi: (2019)
Оптимизация параметров низкоэнергетического сильноточного электронного пучка для эффективной транспортировки его в газе низкого давления; Технологии Microsoft в теории и практике программирования
Yazar:: Звигинцев И. Л. Илья Леонидович
Baskı/Yayın Bilgisi: (2011)
Yazar:: Звигинцев И. Л. Илья Леонидович
Baskı/Yayın Bilgisi: (2011)
Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах: Труды III Международной конференции , Томск, 29 июля - 3 августа 2002 г.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Томск, Изд-во ТПУ, 2002)
Baskı/Yayın Bilgisi: (Томск, Изд-во ТПУ, 2002)
Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах: труды V Международной конференции, Томск, 28 июля - 4 августа 2006 г.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Томск, Изд-во ТПУ, 2006)
Baskı/Yayın Bilgisi: (Томск, Изд-во ТПУ, 2006)
Действие сильноточного импульсного электронного пучка низкоэнергетических электронов на приповерхностные слои пористой циркониевой керамики; Письма в Журнал технической физики; Т. 40, вып. 7
Baskı/Yayın Bilgisi: (2014)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2014)
Моделирование транспортировки сильноточных низкоэнергетических электронных пучков в плазме и внешнем магнитном поле; Молодежь и современные информационные технологии
Yazar:: Черноскутова Ю. С.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2005)
Yazar:: Черноскутова Ю. С.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2005)
Пучки нейтронов и нейтронооптические явления: учебное пособие
Yazar:: Абов Ю. Г. Юрий Георгиевич
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Изд-во МИФИ, 1983)
Yazar:: Абов Ю. Г. Юрий Георгиевич
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Изд-во МИФИ, 1983)
High Intensity low Aluminum Ion Energy Implantation into Titanium; Ion Implantation Technology (IIT 2018)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2018)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2018)
High-intensity pulsed ion beam generation in plasma erosion mode; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Yazar:: Pushkarev A. I. Aleksandr Ivanovich
Baskı/Yayın Bilgisi: (2019)
Yazar:: Pushkarev A. I. Aleksandr Ivanovich
Baskı/Yayın Bilgisi: (2019)
Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах: Труды IV Международной научной конференции, Томск, 12-19 августа 2004 г.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Томск, Изд-во ТПУ, 2004)
Baskı/Yayın Bilgisi: (Томск, Изд-во ТПУ, 2004)
Formation of repetitively pulsed high-intensity, low-energy silicon ion beams; Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment; Vol. 953
Baskı/Yayın Bilgisi: (2020)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2020)
Generation of high-intensity aluminum-ion beams at low energy; Technical Physics; Vol. 63, iss. 10
Baskı/Yayın Bilgisi: (2018)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2018)
Исследование эффективности транспортировки низкоэнергетического высокоточного электронного пучка в трубе дрейфа при различной плотности плазмы и напряженности внешнего магнитного поля; Молодежь и современные информационные технологии; Т. 1
Yazar:: Вагин Е. С. Евгений Сергеевич
Baskı/Yayın Bilgisi: (2014)
Yazar:: Вагин Е. С. Евгений Сергеевич
Baskı/Yayın Bilgisi: (2014)
Study of the Regularities of Low- and Super-Low-Energy High-intensity Metal Ion Beams Formation; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2020 online)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2020)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2020)
Генерация интенсивных импульсных молекулярных пучков низкой кинетической энергии; Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 123, вып. 2
Yazar:: Макаров Г. Н.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2003)
Yazar:: Макаров Г. Н.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2003)
Low energy implantation of nitrogen ions by extended beam with a ballistic focusing in a stainless steel; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2019)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2019)
High intensity metal ion beam generation; Vacuum; Vol. 143
Baskı/Yayın Bilgisi: (2017)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2017)
Микроструктура и свойства ферритовой керамики, облучённой интенсивным импульсным пучком низкоэнергетических электронов; Современные техника и технологии; Т. 2
Yazar:: Воскресенский А. В.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2004)
Yazar:: Воскресенский А. В.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2004)
Deflection of high-intensity pulsed ion beam in focusing magnetically insulated ion diode with a passive anode; Physics of Plasmas; Vol. 23, iss. 12
Baskı/Yayın Bilgisi: (2016)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2016)
Study of energy deposition of intense pulsed ion beam in metal target; Vacuum; Vol. 122
Baskı/Yayın Bilgisi: (2015)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2015)
Analysis of correctness of intense ion beam diagnostics based on the ion-current density; Instruments and Experimental Techniques; Vol. 58, iss. 5
Yazar:: Pushkarev A. I. Aleksandr Ivanovich
Baskı/Yayın Bilgisi: (2015)
Yazar:: Pushkarev A. I. Aleksandr Ivanovich
Baskı/Yayın Bilgisi: (2015)
The Structural Thermal Stability of the Fe80Si7 B13 Alloys Under the Irradiation of High-Intensity Pulsed Ion Beam; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2019)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2019)
Радиационно-термическое спекание порошковых компактов диоксида циркония в режиме двустороннего нагрева пучками низкоэнергетических электронов; Известия вузов. Физика; Т. 58, № 2
Baskı/Yayın Bilgisi: (2015)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2015)
Investigation of Magnetically Insulated Diode for Intense Pulsed Ion Beam Generation for Materials Research; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2019)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2019)
Low energy implantation of nitrogen ions by extended beam with a ballistic focusing in a stainless steel; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 1393 : Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2019)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2019)
Benzer Materyaller
-
Formation of high-intensity axially symmetric and ribbon beams of low-energy metal ions; Review of Scientific Instruments; Vol. 91, iss. 1
Baskı/Yayın Bilgisi: (2020) -
Plasma-Immersion Formation of High-Intensity Ion Beams; Technical Physics Letters; Vol. 43, iss. 12
Baskı/Yayın Bilgisi: (2017) -
Peculiarities of the formation of high-intensity ion beams of gases, metals and semiconductor materials; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2019) -
Surface Modification of ZrO[2] -3Y[2]O[3] Ceramics with High-Intensity Pulsed N{2+} Ion Beams; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2019) -
Модификация стали 40Х при высокоинтенсивной имплантации ионов азота; Известия вузов. Физика; Т. 61, № 2
Baskı/Yayın Bilgisi: (2018)