Ballistic formation of high-intensity low-energy gas ion beams; Review of Scientific Instruments; Vol. 91, iss. 1
| Parent link: | Review of Scientific Instruments Vol. 91, iss. 1.— 2020.— [013326, 4 p.] |
|---|---|
| Institution som forfatter: | Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научная лаборатория высокоинтенсивной имплантации ионов |
| Andre forfattere: | Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich, Sivin D. O. Denis Olegovich, Shevelev A. E. Aleksey Eduardovich, Akhmadeev Yu. Kh. Yury Khalyafovich, Korneva O. S. Olga Sergeevna, Ivanova A. I. Anna Ivanovna, Lopatin I. V. Iljya Vladimirovich |
| Summary: | Title screen The development of the method of high-intensity implantation of low-energy ions requires the design of an efficient system for generating high-intensity ion beams of various elements with a current density of tens and hundreds of milliamperes per square centimeter with ion energies not exceeding some kiloelectronvolt. This paper considers the regularities of formation of high-intensity beams of nitrogen ions and argon and mixed beams of argon and hydrogen ions in spherical and cylindrical grid systems with ballistic focusing of the ion beam. The studies were carried out with the plasma-immersion formation of repetitively pulsed ion beams with duration from units to hundreds of microseconds and a pulse frequency of up to 105 pulses/s with negative bias potentials in the range from 0.6 to 3 kV. The possibility of stable formation of gas ion beams with an ion current density of up to 0.7 A/cm2 is demonstrated. |
| Sprog: | engelsk |
| Udgivet: |
2020
|
| Fag: | |
| Online adgang: | https://doi.org/10.1063/1.5128432 |
| Format: | Electronisk Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=662472 |
Lignende værker
Formation of high-intensity axially symmetric and ribbon beams of low-energy metal ions; Review of Scientific Instruments; Vol. 91, iss. 1
Udgivet: (2020)
Udgivet: (2020)
Plasma-Immersion Formation of High-Intensity Ion Beams; Technical Physics Letters; Vol. 43, iss. 12
Udgivet: (2017)
Udgivet: (2017)
Peculiarities of the formation of high-intensity ion beams of gases, metals and semiconductor materials; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Udgivet: (2019)
Udgivet: (2019)
Surface Modification of ZrO[2] -3Y[2]O[3] Ceramics with High-Intensity Pulsed N{2+} Ion Beams; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Udgivet: (2019)
Udgivet: (2019)
Модификация стали 40Х при высокоинтенсивной имплантации ионов азота; Известия вузов. Физика; Т. 61, № 2
Udgivet: (2018)
Udgivet: (2018)
Features of titanium ion beams formation taking into account ion-electron emission realizing the synergy of high-intensity ion implantation and pulsed energy impact on the surface; Materials. Technologies. Design; Т. 5, № 4 (14)
af: D. O. Dimitry Olegovich
Udgivet: (2023)
af: D. O. Dimitry Olegovich
Udgivet: (2023)
Mixing in TI/STEEL system under High-intensity pulsed ion beam impact; High Temperature Material Processes: An International Quarterly of High-Technology Plasma Processes; Vol. 26, iss. 1
Udgivet: (2022)
Udgivet: (2022)
Modification of the WC-Co carbide surface with high-intensity pulsed ion beam; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 1588 : Low Temperature Plasma during the Deposition of Functional Coatings
Udgivet: (2020)
Udgivet: (2020)
Electron microscopy study of alumina ceramics Irradiated with a low-energy high-current electron beam; Russian Physics Journal; Vol. 64, iss. 2
af: Gyngazov S. A. Sergey Anatolievich
Udgivet: (2021)
af: Gyngazov S. A. Sergey Anatolievich
Udgivet: (2021)
Влияние параметров низкоэнергетического сильноточного электронного пучка на образование виртуального катода при его транспортировке в аргоне низкого давления; Высокие технологии в современной науке и технике
af: Звигинцев И. Л. Илья Леонидович
Udgivet: (2015)
af: Звигинцев И. Л. Илья Леонидович
Udgivet: (2015)
Исследование эффективности транспортировки низкоэнергетического высокоточного электронного пучка в плазменном канале в присутствии внешнего магнитного поля; Высокие технологии в современной науке и технике
af: Вагин Е. С. Евгений Сергеевич
Udgivet: (2015)
af: Вагин Е. С. Евгений Сергеевич
Udgivet: (2015)
Модификация свойств поверхностного слоя силумина, обработанного высокоинтенсивным импульсным электронным пучком субмиллисекундной длительности воздействия; Высокие технологии в современной науке и технике; Т. 1
af: Ткаченко А. В.
Udgivet: (2013)
af: Ткаченко А. В.
Udgivet: (2013)
Formation of high intensity ion beams with ballistic focusing; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 927 : Applied Mathematics and Mechanics in the Aerospace Industry (AMMAI'2020)
Udgivet: (2017)
Udgivet: (2017)
Плазменно-иммерсионное формирование высокоинтенсивных ионных пучков; Письма в Журнал технической физики; Т. 43, вып. 23
Udgivet: (2017)
Udgivet: (2017)
Численное моделирование динамики температурных полей в монокристаллическом кремнии при импульсно-периодической высокоинтенсивной ионной имплантации и энергетическом воздействии пучка на поверхность; Известия вузов. Физика; Т. 65, № 11
Udgivet: (2022)
Udgivet: (2022)
Progress in High Intensity, Low Ion Energy Implantation Method Development; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
af: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
Udgivet: (2019)
af: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
Udgivet: (2019)
Оптимизация параметров низкоэнергетического сильноточного электронного пучка для эффективной транспортировки его в газе низкого давления; Технологии Microsoft в теории и практике программирования
af: Звигинцев И. Л. Илья Леонидович
Udgivet: (2011)
af: Звигинцев И. Л. Илья Леонидович
Udgivet: (2011)
Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах: Труды III Международной конференции , Томск, 29 июля - 3 августа 2002 г.
Udgivet: (Томск, Изд-во ТПУ, 2002)
Udgivet: (Томск, Изд-во ТПУ, 2002)
Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах: труды V Международной конференции, Томск, 28 июля - 4 августа 2006 г.
Udgivet: (Томск, Изд-во ТПУ, 2006)
Udgivet: (Томск, Изд-во ТПУ, 2006)
Действие сильноточного импульсного электронного пучка низкоэнергетических электронов на приповерхностные слои пористой циркониевой керамики; Письма в Журнал технической физики; Т. 40, вып. 7
Udgivet: (2014)
Udgivet: (2014)
Моделирование транспортировки сильноточных низкоэнергетических электронных пучков в плазме и внешнем магнитном поле; Молодежь и современные информационные технологии
af: Черноскутова Ю. С.
Udgivet: (2005)
af: Черноскутова Ю. С.
Udgivet: (2005)
High-intensity pulsed ion beam generation in plasma erosion mode; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
af: Pushkarev A. I. Aleksandr Ivanovich
Udgivet: (2019)
af: Pushkarev A. I. Aleksandr Ivanovich
Udgivet: (2019)
Пучки нейтронов и нейтронооптические явления: учебное пособие
af: Абов Ю. Г. Юрий Георгиевич
Udgivet: (Москва, Изд-во МИФИ, 1983)
af: Абов Ю. Г. Юрий Георгиевич
Udgivet: (Москва, Изд-во МИФИ, 1983)
Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах: Труды IV Международной научной конференции, Томск, 12-19 августа 2004 г.
Udgivet: (Томск, Изд-во ТПУ, 2004)
Udgivet: (Томск, Изд-во ТПУ, 2004)
Generation of high-intensity aluminum-ion beams at low energy; Technical Physics; Vol. 63, iss. 10
Udgivet: (2018)
Udgivet: (2018)
Formation of repetitively pulsed high-intensity, low-energy silicon ion beams; Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment; Vol. 953
Udgivet: (2020)
Udgivet: (2020)
Исследование эффективности транспортировки низкоэнергетического высокоточного электронного пучка в трубе дрейфа при различной плотности плазмы и напряженности внешнего магнитного поля; Молодежь и современные информационные технологии; Т. 1
af: Вагин Е. С. Евгений Сергеевич
Udgivet: (2014)
af: Вагин Е. С. Евгений Сергеевич
Udgivet: (2014)
High Intensity low Aluminum Ion Energy Implantation into Titanium; Ion Implantation Technology (IIT 2018)
Udgivet: (2018)
Udgivet: (2018)
Study of the Regularities of Low- and Super-Low-Energy High-intensity Metal Ion Beams Formation; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2020 online)
Udgivet: (2020)
Udgivet: (2020)
High intensity metal ion beam generation; Vacuum; Vol. 143
Udgivet: (2017)
Udgivet: (2017)
Генерация интенсивных импульсных молекулярных пучков низкой кинетической энергии; Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 123, вып. 2
af: Макаров Г. Н.
Udgivet: (2003)
af: Макаров Г. Н.
Udgivet: (2003)
Low energy implantation of nitrogen ions by extended beam with a ballistic focusing in a stainless steel; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Udgivet: (2019)
Udgivet: (2019)
Deflection of high-intensity pulsed ion beam in focusing magnetically insulated ion diode with a passive anode; Physics of Plasmas; Vol. 23, iss. 12
Udgivet: (2016)
Udgivet: (2016)
Микроструктура и свойства ферритовой керамики, облучённой интенсивным импульсным пучком низкоэнергетических электронов; Современные техника и технологии; Т. 2
af: Воскресенский А. В.
Udgivet: (2004)
af: Воскресенский А. В.
Udgivet: (2004)
Study of energy deposition of intense pulsed ion beam in metal target; Vacuum; Vol. 122
Udgivet: (2015)
Udgivet: (2015)
The Structural Thermal Stability of the Fe80Si7 B13 Alloys Under the Irradiation of High-Intensity Pulsed Ion Beam; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Udgivet: (2019)
Udgivet: (2019)
Analysis of correctness of intense ion beam diagnostics based on the ion-current density; Instruments and Experimental Techniques; Vol. 58, iss. 5
af: Pushkarev A. I. Aleksandr Ivanovich
Udgivet: (2015)
af: Pushkarev A. I. Aleksandr Ivanovich
Udgivet: (2015)
Investigation of Magnetically Insulated Diode for Intense Pulsed Ion Beam Generation for Materials Research; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Udgivet: (2019)
Udgivet: (2019)
Радиационно-термическое спекание порошковых компактов диоксида циркония в режиме двустороннего нагрева пучками низкоэнергетических электронов; Известия вузов. Физика; Т. 58, № 2
Udgivet: (2015)
Udgivet: (2015)
Formation and propagation of pulsed high current plasma and ion beams in transverse magnetic field and magnetized plasma: dissertation submitted for the candidate of Physics and Mathematical Sciences; спец. 01.04.20
af: Anderson M. G. Michael Gordon
Udgivet: (Tomsk, [Б. и.], 2006)
af: Anderson M. G. Michael Gordon
Udgivet: (Tomsk, [Б. и.], 2006)
Lignende værker
-
Formation of high-intensity axially symmetric and ribbon beams of low-energy metal ions; Review of Scientific Instruments; Vol. 91, iss. 1
Udgivet: (2020) -
Plasma-Immersion Formation of High-Intensity Ion Beams; Technical Physics Letters; Vol. 43, iss. 12
Udgivet: (2017) -
Peculiarities of the formation of high-intensity ion beams of gases, metals and semiconductor materials; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Udgivet: (2019) -
Surface Modification of ZrO[2] -3Y[2]O[3] Ceramics with High-Intensity Pulsed N{2+} Ion Beams; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Udgivet: (2019) -
Модификация стали 40Х при высокоинтенсивной имплантации ионов азота; Известия вузов. Физика; Т. 61, № 2
Udgivet: (2018)