Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Borisov D. P., Goncharenko I. M., Koval N. N. Nikolay Nikolaevich, & Schanin P. M. (1998). Plasma-assisted deposition of a three-layer structure by vacuum and gas arcs. 1998. https://doi.org/10.1109/27.747886
Dyfyniad Arddull ChicagoНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Borisov D. P., Goncharenko I. M., Koval N. N. Nikolay Nikolaevich, and Schanin P. M. Plasma-assisted Deposition of a Three-layer Structure by Vacuum and Gas Arcs. 1998, 1998. https://doi.org/10.1109/27.747886.
Dyfyniad MLAНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), et al. Plasma-assisted Deposition of a Three-layer Structure by Vacuum and Gas Arcs. 1998, 1998. https://doi.org/10.1109/27.747886.