Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов, Uglov V. V. Vladimir Vasilievich, Shimanskii V. I. Vitali Igorevich, Korenevsky E. L. Egor Leonidovich, Remnev G. E. Gennady Efimovich, & Kvasov N. T. Nikolay Trafimovich. (2018). Structure and Phase Composition of Multilayer AlN/SiN Films Irradiated with Helium Ions; Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques; Vol. 12, iss. 6. 2018. https://doi.org/10.1134/S1027451018050695
Chicago Style (17th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов, Uglov V. V. Vladimir Vasilievich, Shimanskii V. I. Vitali Igorevich, Korenevsky E. L. Egor Leonidovich, Remnev G. E. Gennady Efimovich, and Kvasov N. T. Nikolay Trafimovich. Structure and Phase Composition of Multilayer AlN/SiN Films Irradiated with Helium Ions; Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques; Vol. 12, Iss. 6. 2018, 2018. https://doi.org/10.1134/S1027451018050695.
MLA citiranjeНациональный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов, et al. Structure and Phase Composition of Multilayer AlN/SiN Films Irradiated with Helium Ions; Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques; Vol. 12, Iss. 6. 2018, 2018. https://doi.org/10.1134/S1027451018050695.