Metal Coatings Deposition Using Hot Target Magnetrons; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)

Bibliographische Detailangaben
Parent link:	Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019).— 2019.— [P. 86]
Körperschaft:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Weitere Verfasser:	Krivobokov V. P. Valery Pavlovich, Bleykher (Bleicher) G. A. Galina Alekseevna, Yuryeva A. V. Alena Victorovna, Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
Zusammenfassung:	Заглавие с экрана
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2019
Schriftenreihe:	Ion-Assisted Coating Deposition. Invited Talks
Schlagworte:	электронный ресурс труды учёных ТПУ hot target magnetron sputtering metal coatings мишени магнетроны магнетронное распыление металлические покрытия тонкие пленки
Online-Zugang:	https://smmib.ru/assets/files/SMMIB2019_TOMSK_full.pdf#page=87
Format:	MixedMaterials Elektronisch Buchkapitel
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=660880

Online