Progress in High Intensity, Low Ion Energy Implantation Method Development; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)

Podrobná bibliografie
Parent link:	Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019).— 2019.— [P. 25]
Hlavní autor:	Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
Korporativní autor:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научная лаборатория высокоинтенсивной имплантации ионов
Shrnutí:	Заглавие с экрана
Jazyk:	angličtina
Vydáno:	2019
Edice:	Ion Beam Processing of Materials. Invited Talks
Témata:	электронный ресурс труды учёных ТПУ имплантация легирующие примеси численное моделирование низкоэнергетические ионы металлы полупроводники газы элементный состав микроструктуры свойства
On-line přístup:	https://smmib.ru/assets/files/SMMIB2019_TOMSK_full.pdf#page=26
Médium:	Elektronický zdroj Kapitola
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=660863

Internet