|
|
|
|
| LEADER |
00000nla2a2200000 4500 |
| 001 |
660863 |
| 005 |
20231101135140.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\network\30953
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\network\30952
|
| 090 |
|
|
|a 660863
|
| 100 |
|
|
|a 20191101a2019 k y0engy50 ba
|
| 101 |
0 |
|
|a eng
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a y z 100zy
|
| 135 |
|
|
|a drgn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Progress in High Intensity, Low Ion Energy Implantation Method Development
|f A. I. Ryabchikov
|
| 203 |
|
|
|a Text
|c electronic
|
| 225 |
1 |
|
|a Ion Beam Processing of Materials. Invited Talks
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с экрана
|
| 463 |
|
0 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\network\30793
|t Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
|o 21st International Conference, 25-30 August 2019, Tomsk, Russia
|o abstract book
|f National Research Tomsk Polytechnic University (TPU)
|v [P. 25]
|d 2019
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a имплантация
|
| 610 |
1 |
|
|a легирующие примеси
|
| 610 |
1 |
|
|a численное моделирование
|
| 610 |
1 |
|
|a низкоэнергетические ионы
|
| 610 |
1 |
|
|a металлы
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводники
|
| 610 |
1 |
|
|a газы
|
| 610 |
1 |
|
|a элементный состав
|
| 610 |
1 |
|
|a микроструктуры
|
| 610 |
1 |
|
|a свойства
|
| 700 |
|
1 |
|a Ryabchikov
|b A. I.
|c Professor of Tomsk Polytechnic University, Doctor of physical and mathematical sciences
|c physicist
|f 1950-
|g Aleksandr Ilyich
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30912
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет
|b Инженерная школа ядерных технологий
|b Научная лаборатория высокоинтенсивной имплантации ионов
|h 7868
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\23698
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20191105
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u https://smmib.ru/assets/files/SMMIB2019_TOMSK_full.pdf#page=26
|
| 942 |
|
|
|c CF
|
