Влияние давления азота в реакционной камере на параметры нитрида титана, полученного методом плазмодинамического синтеза
| Parent link: | Российские нанотехнологии Т. 12, № 11-12.— 2017.— [С. 62-68] |
|---|---|
| Autore principale: | |
| Ente Autore: | |
| Altri autori: | , |
| Riassunto: | Заглавие с экрана В данной работе было исследовано влияние давления азота в реакционной камере на параметры синтезируемого TiN при использовании метода прямого плазмодинамического синтеза. |
| Lingua: | russo |
| Pubblicazione: |
2017
|
| Soggetti: | |
| Accesso online: | https://nanorf.elpub.ru/jour/article/view/49 |
| Natura: | Elettronico Capitolo di libro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=659601 |
MARC
| LEADER | 00000naa0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 659601 | ||
| 005 | 20250321172948.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\28252 | ||
| 035 | |a RU\TPU\network\28240 | ||
| 090 | |a 659601 | ||
| 100 | |a 20190307d2017 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Влияние давления азота в реакционной камере на параметры нитрида титана, полученного методом плазмодинамического синтеза |f А. А. Сивков, Д. Ю. Герасимов, А. А. Евдокимов | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: 46 назв.] | ||
| 330 | |a В данной работе было исследовано влияние давления азота в реакционной камере на параметры синтезируемого TiN при использовании метода прямого плазмодинамического синтеза. | ||
| 461 | |t Российские нанотехнологии | ||
| 463 | |t Т. 12, № 11-12 |v [С. 62-68] |d 2017 | ||
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a реакционные камеры | |
| 610 | 1 | |a нитрид титана | |
| 610 | 1 | |a плазмодинамический синтез | |
| 700 | 1 | |a Сивков |b А. А. |c специалист в области электроэнергетики |c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук |f 1951- |g Александр Анатольевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\26846 |9 12465 | |
| 701 | 1 | |a Герасимов |b Д. Ю. |c специалист в области электроэнергетики |c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук |f 1980- |g Дмитрий Юрьевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\26563 | |
| 701 | 1 | |a Евдокимов |b А. А. |c специалист в области электроэнергетики |c лаборант Томского политехнического университета |f 1987- |g Андрей Анатольевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27065 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет |b Инженерная школа энергетики |b Отделение электроэнергетики и электротехники (ОЭЭ) |3 (RuTPU)RU\TPU\col\23505 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20190307 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u https://nanorf.elpub.ru/jour/article/view/49 | |
| 942 | |c CF | ||