Влияние давления азота в реакционной камере на параметры нитрида титана, полученного методом плазмодинамического синтеза

Bibliographic Details
Parent link:	Российские нанотехнологии Т. 12, № 11-12.— 2017.— [С. 62-68]
Main Author:	Сивков А. А. Александр Анатольевич
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа энергетики Отделение электроэнергетики и электротехники (ОЭЭ)
Other Authors:	Герасимов Д. Ю. Дмитрий Юрьевич, Евдокимов А. А. Андрей Анатольевич
Summary:	Заглавие с экрана В данной работе было исследовано влияние давления азота в реакционной камере на параметры синтезируемого TiN при использовании метода прямого плазмодинамического синтеза.
Language:	Russian
Published:	2017
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ реакционные камеры нитрид титана плазмодинамический синтез
Online Access:	https://nanorf.elpub.ru/jour/article/view/49
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=659601

Description
Summary:	Заглавие с экрана В данной работе было исследовано влияние давления азота в реакционной камере на параметры синтезируемого TiN при использовании метода прямого плазмодинамического синтеза.

Similar Items