Влияние давления азота в реакционной камере на параметры нитрида титана, полученного методом плазмодинамического синтеза; Российские нанотехнологии; Т. 12, № 11-12

Dades bibliogràfiques
Parent link:Российские нанотехнологии
Т. 12, № 11-12.— 2017.— [С. 62-68]
Autor principal: Сивков А. А. Александр Анатольевич
Autor corporatiu: Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа энергетики Отделение электроэнергетики и электротехники (ОЭЭ)
Altres autors: Герасимов Д. Ю. Дмитрий Юрьевич, Евдокимов А. А. Андрей Анатольевич
Sumari:Заглавие с экрана
В данной работе было исследовано влияние давления азота в реакционной камере на параметры синтезируемого TiN при использовании метода прямого плазмодинамического синтеза.
Idioma:rus
Publicat: 2017
Matèries:
Accés en línia:https://nanorf.elpub.ru/jour/article/view/49
Format: Electrònic Capítol de llibre
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=659601
Descripció
Sumari:Заглавие с экрана
В данной работе было исследовано влияние давления азота в реакционной камере на параметры синтезируемого TiN при использовании метода прямого плазмодинамического синтеза.