Joint influence of steered vacuum arc and negative repetitively pulsed bias on titanium macroparticles suppression; Surface and Coatings Technology; Vol. 355

Joint influence of steered vacuum arc and negative repetitively pulsed bias on titanium macroparticles suppression; Surface and Coatings Technology; Vol. 355

Détails bibliographiques
Parent link:	Surface and Coatings Technology Vol. 355.— 2018.— [P. 240-246]
Collectivité auteur:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научная лаборатория высокоинтенсивной имплантации ионов
Autres auteurs:	Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich, Ananin P. S. Petr Semenovich, Shevelev A. E. Aleksey Eduardovich, Dektyarev S. V. Sergey Valentinovich, Sivin D. O. Denis Olegovich, Ivanova A. I. Anna Ivanovna
Résumé:	Title screen This paper presents the results of an experimental study of titanium macroparticle accumulation on a negatively biased substrate immersed in DC vacuum arc plasmagenerated by an evaporator with an axial magnetic field and a steered arc evaporator. Using a steered arc with a tangential magnetic field strength of 200 Gs reduced the generation of macroparticles 5-fold compared to a plasma source with an axial magnetic field. The application of repetitively pulsed negative bias significantly decreased macroparticle assembly on the substrate surface for both evaporator designs. After 20 min of ion-plasma treatment with negatively pulsed bias (−2 kV, 7 μs, 105 p.p.s.) and steered arc, the observed macroparticle surface density appeared to be 2 orders of magnitude smaller than after vacuum arc plasma deposition at the anode potential using an evaporator with an axial magnetic field. The possibility of high-frequency short-pulse plasma immersion ion implantation by implementing DC vacuum arc plasma is discussed. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Langue:	anglais
Publié:	2018
Sujets:	электронный ресурс труды учёных ТПУ вакуумно-дуговая плазма макрочастицы высокочастотные импульсы
Accès en ligne:	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2018.02.047
Format:	Électronique Chapitre de livre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=659304

Documents similaires

Joint influence of steered vacuum arc and negative repetitively pulsed bias on titanium macroparticles suppression; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
Publié: (2016)

Joint Influence of Steered Vacuum Arc and Negative Repetitively Pulsed Bias on Macroparticles Suppression; The 19th International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2015), November 22-27, 2015, The Empress Hotel, Chiang Mai, Thailand
Publié: (2015)

Investigation of Negative Bias Pulse Parameters Influence to Macroparticles Accumulation on Substrate Immersed in Titanium Vacuum Arc Plasma; The 19th International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2015), November 22-27, 2015, The Empress Hotel, Chiang Mai, Thailand
Publié: (2015)

Macroparticles number density decreasing on a substrate immersed in vacuum arc plasma at repetitively pulsed biasing; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 12/3
Publié: (2014)

Control of Vacuum Arc Macroparticles by High-Frequency Short-Pulsed Negative Bias Application; Indian Journal of Science and Technology; Vol. 8, iss. 36
par: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
Publié: (2015)

Influence of negative bias pulse parameters on accumulation of macroparticles on the substrate immersed in titanium vacuum arc plasma; Surface and Coatings Technology; Vol. 306, Pt. A : Surface Modification of Materials by Ion Beams [SMMIB2015]
Publié: (2016)

Tangential Cathode Magnetic Field and Substrate Bias Influence on Copper Vacuum Arc Macroparticle Content Decreasing; The 19th International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2015), November 22-27, 2015, The Empress Hotel, Chiang Mai, Thailand
Publié: (2015)

Control of vacuum arc macroparticles by negative repetitively pulsed biasing; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
Publié: (2015)

Application of a Tangential Magnetic Field and Negative Repetitively Pulsed Bias for Suppression of Vacuum-Arc Copper Macroparticles; Russian Physics Journal; Vol. 59, iss. 6
par: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
Publié: (2016)

Tangential cathode magnetic field and substrate bias influence on copper vacuum arc macroparticle content decreasing; Surface and Coatings Technology; Vol. 306, Pt. A : Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB 2015)
Publié: (2016)

Filtered Vacuum Arc Plasma Application For Ion-Beam and Plasma Material Processing; The 19th International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2015), November 22-27, 2015, The Empress Hotel, Chiang Mai, Thailand
Publié: (2015)

Titanium Macroparticle Fraction Suppression with Steered Arc And Negative Pulse Biasing; Journal of Industrial Pollution Control; Vol. 32, iss. 2
Publié: (2016)

A vacuum arc cathode magnetic field and a substrate bias influence on a macroparticle content decreasing; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
Publié: (2015)

Influence of Repetitively Pulsed Negative Bias Parameters on Macroparticle Surface Density; Journal of Industrial Pollution Control; Vol. 32, iss. 2
Publié: (2016)

Aluminium vacuum arc plasma application for intermetallic layers formation using plasma immersion ion implantation method; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 12/3
par: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
Publié: (2014)

Анализ зарядки макрочастиц в приэлектродном слое емкостного высокочастотного разряда; Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 123, вып. 6
Publié: (2003)

Formation of titanium interlayer by vacuum arc deposition to increase the durability of titanium nitride coatings under thermal cycling conditions; Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques; Vol. 9, iss. 6
Publié: (2015)

Efficient arc sources of gas-discharge plasma in vacuum-plasma production facilities; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 12-2
Publié: (2012)

Influence of Bias Parameters and Plasma Density on Vacuum Arc Macroparticle Accumulation; Materials and Manufacturing Processes; Vol. 30, iss. 12
par: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
Publié: (2015)

Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.20
par: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Publié: (Томск, [Б. и.], 2015)

Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец.01.04.20
par: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Publié: (Томск, [Б. и.], 2015)

Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.20
par: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Publié: (Томск, [Б. и.], 2015)

Физико-технические проблемы монодисперсных систем: сборник научных трудов
Publié: (Москва, Изд-во МЭИ, 1988)

Investigation of filtered vacuum arc plasma application for TiAlN and TiSiB coatings deposition using ion beam and plasma material processing; Surface and Coatings Technology; Vol. 296
Publié: (2016)

Accumulation of macroparticles on a substrate in vacuum arc titanium plasma; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 12, ч. 3
Publié: (2014)

Разработка модели макрочастиц на основе технологии параллельных вычислений; Технологии Microsoft в теории и практике программирования
par: Остроухов П. А.
Publié: (2010)

Vacuum-plasma technologies for high-quality surface-treatment applications; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 12-2
Publié: (2012)

Крупномасштабная модель инжектора тритиевых макрочастиц для международного токамака ИТЭР; Приборы и техника эксперимента; № 1
Publié: (2002)

Formation of repetitively pulsed high-intensity, low-energy silicon ion beams; Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment; Vol. 953
Publié: (2020)

Динамика макрочастиц в пылевой плазме в условиях микрогравитации (первые эксперименты на МКС); Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 123, № 4
Publié: (2003)

Экранировка сильнозаряженных макрочастиц в жидких растворах электролитов; Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 123, вып. 4
par: Бункин Н. Ф.
Publié: (2003)

High Voltage Vacuum Insulation: The Physical Basis
par: Latham R. V.
Publié: (London, Academic Press, 1981)

Structure and Properties of CrN/TiN Multi-Layer Coatings Obtained by Vacuum-Arc Plasma-Assisted Deposition Method; Coatings; Vol. 13, iss. 2
Publié: (2023)

Диффузия макрочастиц и критерии фазовых переходов для пылевых структур в слабоионизированной плазме; Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 121, вып. 1
par: Ваулина О. С.
Publié: (2002)

Application of Ti-Al Powder Cathodes for Vacuum-Arc Synthesis of Nitride Coatings; AIP Conference Proceedings; Vol. 2167 : Advanced Materials with Hierarchical Structure for New Technologies and Reliable Structures 2019 (AMHS'19)
Publié: (2019)

Разработка модели макрочастиц на основе технологии параллельных вычислений; Технологии Microsoft в теории и практике программирования
par: Остроухов П. А.
Publié: (2011)

Анализ парной корреляции макрочастиц в пылевой плазме: численное моделирование и эксперимент; Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 125, вып. 3
par: Ваулина О. С.
Publié: (2004)

Influence of the plasma-immersion ion implantation of titanium on the structure, morphology, and composition of the surface layer of Zr–1Nb alloy; Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques; Vol. 11, iss. 2
Publié: (2017)

Моделирование заряженных пучков
par: Рошаль А. С. Анатолий Самуилович
Publié: (Москва, Атомиздат, 1979)

Применение диссипативных разностных схем в нестационарных моделях макрочастиц; Молодежь и современные информационные технологии
par: Пак М. В.
Publié: (2004)