Joint influence of steered vacuum arc and negative repetitively pulsed bias on titanium macroparticles suppression

Joint influence of steered vacuum arc and negative repetitively pulsed bias on titanium macroparticles suppression

Detaylı Bibliyografya
Parent link:	Surface and Coatings Technology Vol. 355.— 2018.— [P. 240-246]
Müşterek Yazar:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научная лаборатория высокоинтенсивной имплантации ионов
Diğer Yazarlar:	Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich, Ananin P. S. Petr Semenovich, Shevelev A. E. Aleksey Eduardovich, Dektyarev S. V. Sergey Valentinovich, Sivin D. O. Denis Olegovich, Ivanova A. I. Anna Ivanovna
Özet:	Title screen This paper presents the results of an experimental study of titanium macroparticle accumulation on a negatively biased substrate immersed in DC vacuum arc plasmagenerated by an evaporator with an axial magnetic field and a steered arc evaporator. Using a steered arc with a tangential magnetic field strength of 200 Gs reduced the generation of macroparticles 5-fold compared to a plasma source with an axial magnetic field. The application of repetitively pulsed negative bias significantly decreased macroparticle assembly on the substrate surface for both evaporator designs. After 20 min of ion-plasma treatment with negatively pulsed bias (−2 kV, 7 μs, 105 p.p.s.) and steered arc, the observed macroparticle surface density appeared to be 2 orders of magnitude smaller than after vacuum arc plasma deposition at the anode potential using an evaporator with an axial magnetic field. The possibility of high-frequency short-pulse plasma immersion ion implantation by implementing DC vacuum arc plasma is discussed. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Baskı/Yayın Bilgisi:	2018
Konular:	электронный ресурс труды учёных ТПУ вакуумно-дуговая плазма макрочастицы высокочастотные импульсы
Online Erişim:	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2018.02.047
Materyal Türü:	Elektronik Kitap Bölümü
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=659304

Benzer Materyaller

Joint Influence of Steered Vacuum Arc and Negative Repetitively Pulsed Bias on Macroparticles Suppression
Baskı/Yayın Bilgisi: (2015)

Joint influence of steered vacuum arc and negative repetitively pulsed bias on titanium macroparticles suppression
Baskı/Yayın Bilgisi: (2016)

Investigation of Negative Bias Pulse Parameters Influence to Macroparticles Accumulation on Substrate Immersed in Titanium Vacuum Arc Plasma
Baskı/Yayın Bilgisi: (2015)

Influence of negative bias pulse parameters on accumulation of macroparticles on the substrate immersed in titanium vacuum arc plasma
Baskı/Yayın Bilgisi: (2016)

Control of Vacuum Arc Macroparticles by High-Frequency Short-Pulsed Negative Bias Application
Yazar:: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
Baskı/Yayın Bilgisi: (2015)

Macroparticles number density decreasing on a substrate immersed in vacuum arc plasma at repetitively pulsed biasing
Baskı/Yayın Bilgisi: (2014)

Control of vacuum arc macroparticles by negative repetitively pulsed biasing
Baskı/Yayın Bilgisi: (2015)

Tangential Cathode Magnetic Field and Substrate Bias Influence on Copper Vacuum Arc Macroparticle Content Decreasing
Baskı/Yayın Bilgisi: (2015)

Tangential cathode magnetic field and substrate bias influence on copper vacuum arc macroparticle content decreasing
Baskı/Yayın Bilgisi: (2016)

Application of a Tangential Magnetic Field and Negative Repetitively Pulsed Bias for Suppression of Vacuum-Arc Copper Macroparticles
Yazar:: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
Baskı/Yayın Bilgisi: (2016)

Filtered Vacuum Arc Plasma Application For Ion-Beam and Plasma Material Processing
Baskı/Yayın Bilgisi: (2015)

Titanium Macroparticle Fraction Suppression with Steered Arc And Negative Pulse Biasing
Baskı/Yayın Bilgisi: (2016)

Influence of Repetitively Pulsed Negative Bias Parameters on Macroparticle Surface Density
Baskı/Yayın Bilgisi: (2016)

A vacuum arc cathode magnetic field and a substrate bias influence on a macroparticle content decreasing
Baskı/Yayın Bilgisi: (2015)

Aluminium vacuum arc plasma application for intermetallic layers formation using plasma immersion ion implantation method
Yazar:: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
Baskı/Yayın Bilgisi: (2014)

Formation of titanium interlayer by vacuum arc deposition to increase the durability of titanium nitride coatings under thermal cycling conditions
Baskı/Yayın Bilgisi: (2015)

Анализ зарядки макрочастиц в приэлектродном слое емкостного высокочастотного разряда
Baskı/Yayın Bilgisi: (2003)

Influence of Bias Parameters and Plasma Density on Vacuum Arc Macroparticle Accumulation
Yazar:: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
Baskı/Yayın Bilgisi: (2015)

Efficient arc sources of gas-discharge plasma in vacuum-plasma production facilities
Baskı/Yayın Bilgisi: (2012)

Formation of repetitively pulsed high-intensity, low-energy silicon ion beams
Baskı/Yayın Bilgisi: (2020)

Accumulation of macroparticles on a substrate in vacuum arc titanium plasma
Baskı/Yayın Bilgisi: (2014)

Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец.01.04.20
Yazar:: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Baskı/Yayın Bilgisi: (Томск, [Б. и.], 2015)

Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.20
Yazar:: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Baskı/Yayın Bilgisi: (Томск, [Б. и.], 2015)

Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.20
Yazar:: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Baskı/Yayın Bilgisi: (Томск, [Б. и.], 2015)

Application of Ti-Al Powder Cathodes for Vacuum-Arc Synthesis of Nitride Coatings
Baskı/Yayın Bilgisi: (2019)

Физико-технические проблемы монодисперсных систем сборник научных трудов
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Изд-во МЭИ, 1988)

Vacuum-plasma technologies for high-quality surface-treatment applications
Baskı/Yayın Bilgisi: (2012)

Investigation of filtered vacuum arc plasma application for TiAlN and TiSiB coatings deposition using ion beam and plasma material processing
Baskı/Yayın Bilgisi: (2016)

Разработка модели макрочастиц на основе технологии параллельных вычислений
Yazar:: Остроухов П. А.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2010)

Крупномасштабная модель инжектора тритиевых макрочастиц для международного токамака ИТЭР
Baskı/Yayın Bilgisi: (2002)

Динамика макрочастиц в пылевой плазме в условиях микрогравитации (первые эксперименты на МКС)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2003)

Экранировка сильнозаряженных макрочастиц в жидких растворах электролитов
Yazar:: Бункин Н. Ф.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2003)

High Voltage Vacuum Insulation: The Physical Basis
Yazar:: Latham R. V.
Baskı/Yayın Bilgisi: (London, Academic Press, 1981)

Диффузия макрочастиц и критерии фазовых переходов для пылевых структур в слабоионизированной плазме
Yazar:: Ваулина О. С.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2002)

Structure and Properties of CrN/TiN Multi-Layer Coatings Obtained by Vacuum-Arc Plasma-Assisted Deposition Method
Baskı/Yayın Bilgisi: (2023)

Разработка модели макрочастиц на основе технологии параллельных вычислений
Yazar:: Остроухов П. А.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2011)

Анализ парной корреляции макрочастиц в пылевой плазме: численное моделирование и эксперимент
Yazar:: Ваулина О. С.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2004)

Influence of the plasma-immersion ion implantation of titanium on the structure, morphology, and composition of the surface layer of Zr–1Nb alloy
Baskı/Yayın Bilgisi: (2017)

Моделирование заряженных пучков
Yazar:: Рошаль А. С. Анатолий Самуилович
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Атомиздат, 1979)

Применение диссипативных разностных схем в нестационарных моделях макрочастиц
Yazar:: Пак М. В.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2004)