Поверхностная модификация корундовой керамики ионным пучком аргона

Bibliographic Details
Parent link:	Перспективные материалы.— , 1995- № 8.— 2018.— [С. 61-71]
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт неразрушающего контроля (ИНК) Проблемная научно-исследовательская лаборатория электроники, диэлектриков и полупроводников (ПНИЛ ЭДиП)
Other Authors:	Гынгазов С. А. Сергей Анатольевич, Костенко В. Валерия, Овчинников В. В. Владимир Владимирович, Гущина Н. В. Наталья Викторовна, Махинько Ф. Ф. Федор Федорович
Summary:	Заглавие с экрана Исследованы механические свойства приповерхностных слоев алюмооксидной керамики, обработанной непрерывным ионным пучком аргона. Проанализированы фазовые и структурные изменения модифицированных приповерхностных слоев методами рентгеноструктурного анализа и сканирующей электронной микроскопии, соответственно. Образцы для исследований изготавливали из пластин корунда, используемых в микроэлектронике. Ионную обработку проводили на ионном имплантере ИЛМ-1, оснащенном ионным источником “Пульсар-1М” на основе тлеющего разряда низкого давления с холодным полым катодом. Для облучения были использованы ионы аргона с энергией 30 кэВ, плотностью ионного тока j = 300 мкА/см2. Было реализовано два режима облучения с флюенсами 1016 и 1017 cм-2. Установлено, что ионная обработка способствует проявлению исходной зеренной структуры образца и повышению механических характеристик (модуля упругости и нанотвердости) приповерхностных слоев образцов. По данным рентгеноструктурных исследований после воздействия ионного пучка имеет место уменьшение размера области когерентного рассеяния относительно исходного состояния. Облучение приводит к увеличению величины микроискажений кристаллической решетки. Рассмотрены возможные механизмы модификации поверхности керамики. The mechanical properties of near-surface layers of aluminum oxide ceramics treated with a continuous ion beam of argon are investigated. The phase and structural changes of the modiied near-surface layers were analyzed by X-ray difraction analysis and scanning electron microscopy, respectively. Samples for research were made from corundum plates used in microelectronics. Ion processing was carried out on an ILM-1 ion implant equipped with an ion source «Pulsar-1M» based on a low-pressure glow discharge with a cold hollow cathode. For irradiation, argon ions with an energy of 30 keV and an ion current density j = 300 ?A/cm2 were used. Two irradiation modes with luences of 1016 and 1017 cm-2 were realized. It has been established that ion treatment promotes the manifestation of the initial grain structure of the sample and increases the mechanical characteristics (modulus of elasticity and nanohardness) of the near-surface layers of the samples. According to X-ray difraction studies, after the action of the ion beam, there is a decrease in the size of the coherent scattering region relative to the initial state. Irradiation leads to an increase in the value of the microstrains of the crystal lattice. Possible mechanisms for modifying the ceramic surface are discussed. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Language:	Russian
Published:	2018
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ алюмооксидная керамика ионные пучки механические характеристики рентгенофазовый анализ
Online Access:	https://elibrary.ru/item.asp?id=35325855
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=658611