Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга, Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Отделение экспериментальной физики, Grenaderov A. S. Aleksandr Sergeevich, Soloviev A. A. Andrey Aleksandrovich, Oskomov K. V. Konstantin Vladimirovich, & Sypchenko V. S. Vladimir Sergeevich. (2018). Influence of deposition conditions on mechanical properties of a-C: H:SiOx films prepared by plasma-assisted chemical vapor deposition method. 2018. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2018.06.019
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга, Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Отделение экспериментальной физики, Grenaderov A. S. Aleksandr Sergeevich, Soloviev A. A. Andrey Aleksandrovich, Oskomov K. V. Konstantin Vladimirovich, та Sypchenko V. S. Vladimir Sergeevich. Influence of Deposition Conditions on Mechanical Properties of A-C: H:SiOx Films Prepared by Plasma-assisted Chemical Vapor Deposition Method. 2018, 2018. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2018.06.019.
Стиль цитування MLA (9-ме видання)Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга, et al. Influence of Deposition Conditions on Mechanical Properties of A-C: H:SiOx Films Prepared by Plasma-assisted Chemical Vapor Deposition Method. 2018, 2018. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2018.06.019.