Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов, Remnev G. E. Gennady Efimovich, Tarbokov V. A. Vladislav Aleksandrovich, Pavlov S. K. Sergey Konstantinovich, Konusov F. V. Fedor Valerievich, Zenkin S. P. Sergey Petrovich, & Musil Y. Yindrikh. (2018). Irradiation of sputtered Al-Si-N coatings by pulsed 200 keV C+ion beam; Vacuum; Vol. 158. 2018. https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2018.09.022
Cita Chicago (17th ed.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов, Remnev G. E. Gennady Efimovich, Tarbokov V. A. Vladislav Aleksandrovich, Pavlov S. K. Sergey Konstantinovich, Konusov F. V. Fedor Valerievich, Zenkin S. P. Sergey Petrovich, i Musil Y. Yindrikh. Irradiation of Sputtered Al-Si-N Coatings by Pulsed 200 keV C+ion Beam; Vacuum; Vol. 158. 2018, 2018. https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2018.09.022.
Cita MLA (9th ed.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов, et al. Irradiation of Sputtered Al-Si-N Coatings by Pulsed 200 keV C+ion Beam; Vacuum; Vol. 158. 2018, 2018. https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2018.09.022.