Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов, Remnev G. E. Gennady Efimovich, Tarbokov V. A. Vladislav Aleksandrovich, Pavlov S. K. Sergey Konstantinovich, Konusov F. V. Fedor Valerievich, Zenkin S. P. Sergey Petrovich, & Musil Y. Yindrikh. (2018). Irradiation of sputtered Al-Si-N coatings by pulsed 200 keV C+ion beam; Vacuum; Vol. 158. 2018. https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2018.09.022
Chicago Style aipamenaНациональный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов, Remnev G. E. Gennady Efimovich, Tarbokov V. A. Vladislav Aleksandrovich, Pavlov S. K. Sergey Konstantinovich, Konusov F. V. Fedor Valerievich, Zenkin S. P. Sergey Petrovich, and Musil Y. Yindrikh. Irradiation of Sputtered Al-Si-N Coatings by Pulsed 200 keV C+ion Beam; Vacuum; Vol. 158. 2018, 2018. https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2018.09.022.
MLA aipamenaНациональный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов, et al. Irradiation of Sputtered Al-Si-N Coatings by Pulsed 200 keV C+ion Beam; Vacuum; Vol. 158. 2018, 2018. https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2018.09.022.