Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов, Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа новых производственных технологий Научно-производственная лаборатория "Импульсно-пучковых, электроразрядных и плазменных технологий", Uglov V. V. Vladimir Vasilievich, Kvasov N. T. Nikolay Trafimovich, Remnev G. E. Gennady Efimovich, Shimanskii V. I. Vitali Igorevich, . . . van Vuuren A. J. Arno Janse. (2018). Size effect in AlN/SiN multilayered films irradiated with helium and argon ions. 2018. https://doi.org/10.1016/j.nimb.2018.01.012
Chicago Style (17th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов, et al. Size Effect in AlN/SiN Multilayered Films Irradiated with Helium and Argon Ions. 2018, 2018. https://doi.org/10.1016/j.nimb.2018.01.012.
MLA (9th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов, et al. Size Effect in AlN/SiN Multilayered Films Irradiated with Helium and Argon Ions. 2018, 2018. https://doi.org/10.1016/j.nimb.2018.01.012.