Blister formation in ZrN/SiN multilayers after He irradiation
| Parent link: | Surface and Coatings Technology Vol. 334.— 2018.— [P. 170-176] |
|---|---|
| Tác giả của công ty: | |
| Tác giả khác: | , , , , , |
| Tóm tắt: | Title screen The work is dedicated to the investigation of blister formation in ZrN/SiNx multilayer films irradiated with He ions (30?keV) and annealed in a vacuum at 600?°C. Multilayer films were prepared by reactive magnetron sputter-deposition on Si wafers under Ar?+?N2 plasma discharges. ZrN/SiNx films were deposited by sequential sputtering from elemental Zr and Si3N4 targets at substrate temperature of 300?°C, with ZrN and SiNx layer thickness varying from 2 to 10?nm. According to transmission electron microscopy (TEM), the multilayer films consist of nanocrystalline (002)-oriented ZrN and amorphous SiNx layers. Surface morphology changes of ZrN/SiNx films irradiated with He ions (30?keV) and annealed in a vacuum at 600?°C were studied by scanning electron (SEM) and atomic-force microscopy (AFM) methods. It has been found that under He ions (30?keV) irradiation ZrN/SiNx multilayer films remain resistant to blistering and flaking up to fluence of 8·1016?cm?2. The investigations have shown influence of the crystalline and amorphous layer thicknesses on the character and damage degree of the multilayer films surface as a result of post-radiation annealing at 600?°C. In this work potential processes (mechanisms) of blister formation and flacking in ZrN/SiNx multilayer systems are discussed. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Ngôn ngữ: | Tiếng Anh |
| Được phát hành: |
2018
|
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2018.02.095 |
| Định dạng: | Điện tử Chương của sách |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=658105 |
Những quyển sách tương tự
Size effect in AlN/SiN multilayered films irradiated with helium and argon ions
Được phát hành: (2018)
Được phát hành: (2018)
Structure and Phase Composition of Multilayer AlN/SiN Films Irradiated with Helium Ions
Được phát hành: (2018)
Được phát hành: (2018)
Features of microstructure of ZrN, Si3N4 and ZrN/SiNx nanoscale films irradiated by Xe ions
Được phát hành: (2017)
Được phát hành: (2017)
The Interface Influence in TiN/SiN x Multilayer Nanocomposite Under Irradiation
Được phát hành: (2018)
Được phát hành: (2018)
Автоматизация процесса вакуумного отжига титановых конструкций
Bằng: Соколов Ю. А.
Được phát hành: (2003)
Bằng: Соколов Ю. А.
Được phát hành: (2003)
Thermal stability and oxidation resistance of ZrSiN nanocomposite and ZrN/SiNx multilayered coatings: A comparative study
Được phát hành: (2017)
Được phát hành: (2017)
Получение тонких пленок Nb3Sn методом магнетронного распыления
Bằng: Савельев А. И.
Được phát hành: (2023)
Bằng: Савельев А. И.
Được phát hành: (2023)
Влияние пассивации на фотоэлектрические свойства плёнок арсенида галия, осаждённых импульсной ионной абляцией
Được phát hành: (2011)
Được phát hành: (2011)
Effect of nonequilibrium hydrogen release in the ultrafine-grained Zr-1Nb alloy under the electron beam exposure
Được phát hành: (2016)
Được phát hành: (2016)
Электрические и фотоэлектрические свойства поликристаллического кремния после высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов
Bằng: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Được phát hành: (2013)
Bằng: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Được phát hành: (2013)
Ионный абляционный синтез пленок арсенида галлия на кремниевой подложке
Bằng: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Được phát hành: (2012)
Bằng: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Được phát hành: (2012)
High Intensive Short Pulsed Ions Implantation Effect on Electrical and Photoelectrical Properties of Polycrystalline Silicon
Bằng: Kabyshev A. V. Alexander Vasilievich
Được phát hành: (2012)
Bằng: Kabyshev A. V. Alexander Vasilievich
Được phát hành: (2012)
Microstructure Characterization of Multilayer Thin Coatings ZrN/Si3N4 by X-Ray Diffraction Using Noncoplanar Measurement Geometry
Được phát hành: (2018)
Được phát hành: (2018)
Электроперенос пленок арсенида галлия, синтезированных на поликоре ионной абляцией
Được phát hành: (2013)
Được phát hành: (2013)
Structural-Phase State of the Zr-Y-O Layer in the Zr-Y-O/Si Al-N Coating at Long Annealing using "in-situ" Observation
Được phát hành: (2019)
Được phát hành: (2019)
Исследование влияния вакуумных отжигов на структурно-фазовое состояние и механические свойства сплава Ti-6Al-4V
Bằng: Сю Линцзя
Được phát hành: (2014)
Bằng: Сю Линцзя
Được phát hành: (2014)
Структурные изменения в плёнках субфталоцианина SubPcBCl при температурном отжиге
Được phát hành: (2011)
Được phát hành: (2011)
The grain structure in the layer of ZR-Y-O in coating on the basis of Zr-Y-O/SI- AL-N depend on annealing time at 900°С in the "in-situ" mode
Được phát hành: (2019)
Được phát hành: (2019)
Позитронная спектроскопия дефектной структуры субмикрокристаллического сплава Ti-6Al-4V после вакуумного отжига
Bằng: Степанова Е. Н. Екатерина Николаевна
Được phát hành: (2020)
Bằng: Степанова Е. Н. Екатерина Николаевна
Được phát hành: (2020)
Влияние отжига на структурные, магнитные и релаксационные свойства композитных плёнок
Được phát hành: (2011)
Được phát hành: (2011)
Combustion Synthesis of AlN (Al3O3N), BN, ZrN, and TiN in Air and Ceramic Application
Được phát hành: (2014)
Được phát hành: (2014)
Влияние температуры отжига и материала промежуточного подслоя на деградацию тонких плёнок CU на кремниевой и поликоровой подложках
Bằng: Лязгин А. О.
Được phát hành: (2009)
Bằng: Лязгин А. О.
Được phát hành: (2009)
Отжиг радиационных дефектов в n-GaAs
Bằng: Пешев В. В.
Được phát hành: (2004)
Bằng: Пешев В. В.
Được phát hành: (2004)
Self-Healing in ZrB[2]-ZrC-SiC-ZrO[2] Ceramics
Được phát hành: (2019)
Được phát hành: (2019)
PVP-assisted thermal annealing of thin Au layer for creation of effective and reproducible SERS substrates
Được phát hành: (2019)
Được phát hành: (2019)
Влияние высокотемпературного отжига и обработка в кислородной плазме на свойства тонких пленок оксида галлия
Bằng: Вишникина В. В.
Được phát hành: (2012)
Bằng: Вишникина В. В.
Được phát hành: (2012)
Электроперенос пленок арсенида галлия, синтезированных ионной абляцией
Được phát hành: (2014)
Được phát hành: (2014)
Спаи металла со стеклом. Роль и условия отжига металла пред спаиванием со стеклом
Bằng: Петров С. В.
Được phát hành: (2004)
Bằng: Петров С. В.
Được phát hành: (2004)
Effect of Annealing on the Microstructure and Structural-Phase State of Nanoscale Multilayer Zr/Nb Coatings after Irradiation with He+ Ions
Được phát hành: (2024)
Được phát hành: (2024)
Multilayer Flexible Packaging
Bằng: Wagner J. R. John
Được phát hành: (Amsterdam, Elsevier, 2010)
Bằng: Wagner J. R. John
Được phát hành: (Amsterdam, Elsevier, 2010)
Tolerance of Multilayered Systems MeN/Si[3] N[4] (Me=Cr, Zr, Al) to Radiation Erosion
Được phát hành: (2019)
Được phát hành: (2019)
Mechanism of hot spots formation in pentaerythritol tetranitrate under pulsed laser irradiation
Được phát hành: (2019)
Được phát hành: (2019)
Атомная и электронная структура композитов на основе многостенных углеродных нанотрубок и оксида олова, полученных с применением газофазного и ионно-плазменного методов автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
Bằng: Несов С. Н. Сергей Николаевич
Được phát hành: (Екатеринбург, [Б. и.], 2018)
Bằng: Несов С. Н. Сергей Николаевич
Được phát hành: (Екатеринбург, [Б. и.], 2018)
Internal stresses and structure of multilayer coatings on the basis of Zr-Y-O/Si-Al-N
Được phát hành: (2014)
Được phát hành: (2014)
Features of Multilayer Сoatings on the Basis of Zr-Y-O/Si-Al-N System
Được phát hành: (2019)
Được phát hành: (2019)
Зависимость свойств ионно-легированных слоёв GaAs : Si от дозы имплантации после радиационного отжига
Bằng: Ардышев М. В.
Được phát hành: (2002)
Bằng: Ардышев М. В.
Được phát hành: (2002)
Self-Healing in High Temperature ZrB[2]-SiC Ceramics
Được phát hành: (2019)
Được phát hành: (2019)
Influence of Al-Si-N interlayer on residual stress of CVD diamond coatings
Bằng: Gaydaychuk A. V. Alexander Valerievich
Được phát hành: (2019)
Bằng: Gaydaychuk A. V. Alexander Valerievich
Được phát hành: (2019)
Ионный синтез пленок твердого раствора [Ga1-xInxAs]
Bằng: Ардышев М. В.
Được phát hành: (2004)
Bằng: Ардышев М. В.
Được phát hành: (2004)
Деградация плёнок Cu/полиимид в процессе термического отжига
Bằng: Лязгин А. О.
Được phát hành: (2010)
Bằng: Лязгин А. О.
Được phát hành: (2010)