Blister formation in ZrN/SiN multilayers after He irradiation; Surface and Coatings Technology; Vol. 334

Blister formation in ZrN/SiN multilayers after He irradiation; Surface and Coatings Technology; Vol. 334

Бібліографічні деталі
Parent link:	Surface and Coatings Technology Vol. 334.— 2018.— [P. 170-176]
Співавтор:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов
Інші автори:	Uglov V. V. Vladimir Vasilievich, Abadias G., Zlotski S. V., Kvasov N. T. Nikolay Trafimovich, Saladukhin I. A., Malashevih А. А.
Резюме:	Title screen The work is dedicated to the investigation of blister formation in ZrN/SiNx multilayer films irradiated with He ions (30?keV) and annealed in a vacuum at 600?°C. Multilayer films were prepared by reactive magnetron sputter-deposition on Si wafers under Ar?+?N2 plasma discharges. ZrN/SiNx films were deposited by sequential sputtering from elemental Zr and Si3N4 targets at substrate temperature of 300?°C, with ZrN and SiNx layer thickness varying from 2 to 10?nm. According to transmission electron microscopy (TEM), the multilayer films consist of nanocrystalline (002)-oriented ZrN and amorphous SiNx layers. Surface morphology changes of ZrN/SiNx films irradiated with He ions (30?keV) and annealed in a vacuum at 600?°C were studied by scanning electron (SEM) and atomic-force microscopy (AFM) methods. It has been found that under He ions (30?keV) irradiation ZrN/SiNx multilayer films remain resistant to blistering and flaking up to fluence of 8·1016?cm?2. The investigations have shown influence of the crystalline and amorphous layer thicknesses on the character and damage degree of the multilayer films surface as a result of post-radiation annealing at 600?°C. In this work potential processes (mechanisms) of blister formation and flacking in ZrN/SiNx multilayer systems are discussed. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Мова:	Англійська
Опубліковано:	2018
Предмети:	электронный ресурс труды учёных ТПУ пленки вакуумный отжиг
Онлайн доступ:	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2018.02.095
Формат:	Електронний ресурс Частина з книги
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=658105

Схожі ресурси

Features of microstructure of ZrN, Si3N4 and ZrN/SiNx nanoscale films irradiated by Xe ions; Vacuum; Vol. 143
Опубліковано: (2017)

Size effect in AlN/SiN multilayered films irradiated with helium and argon ions; Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms; Vol. 435
Опубліковано: (2018)

Автоматизация процесса вакуумного отжига титановых конструкций; Промышленные АСУ и контроллеры; № 2
за авторством: Соколов Ю. А.
Опубліковано: (2003)

Thermal stability and oxidation resistance of ZrSiN nanocomposite and ZrN/SiNx multilayered coatings: A comparative study; Surface and Coatings Technology; Vol. 332
Опубліковано: (2017)

The Interface Influence in TiN/SiN x Multilayer Nanocomposite Under Irradiation; Russian Physics Journal; Vol. 60, iss. 9
Опубліковано: (2018)

Влияние пассивации на фотоэлектрические свойства плёнок арсенида галия, осаждённых импульсной ионной абляцией; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 1/2 : Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
Опубліковано: (2011)

Effect of nonequilibrium hydrogen release in the ultrafine-grained Zr-1Nb alloy under the electron beam exposure; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 110 : Radiation-Thermal Effects and Processes in Inorganic Materials (RTEP2015)
Опубліковано: (2016)

Ионный абляционный синтез пленок арсенида галлия на кремниевой подложке; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 6-2
за авторством: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Опубліковано: (2012)

Электрические и фотоэлектрические свойства поликристаллического кремния после высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 6
за авторством: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Опубліковано: (2013)

High Intensive Short Pulsed Ions Implantation Effect on Electrical and Photoelectrical Properties of Polycrystalline Silicon; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 12-3
за авторством: Kabyshev A. V. Alexander Vasilievich
Опубліковано: (2012)

Structure and Phase Composition of Multilayer AlN/SiN Films Irradiated with Helium Ions; Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques; Vol. 12, iss. 6
Опубліковано: (2018)

Электроперенос пленок арсенида галлия, синтезированных на поликоре ионной абляцией; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 7-2
Опубліковано: (2013)

Microstructure Characterization of Multilayer Thin Coatings ZrN/Si3N4 by X-Ray Diffraction Using Noncoplanar Measurement Geometry; Physica Status Solidi A; Vol. 215, iss. 5
Опубліковано: (2018)

Исследование влияния вакуумных отжигов на структурно-фазовое состояние и механические свойства сплава Ti-6Al-4V; Перспективы развития фундаментальных наук
за авторством: Сю Линцзя
Опубліковано: (2014)

Получение тонких пленок Nb3Sn методом магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
за авторством: Савельев А. И.
Опубліковано: (2023)

Позитронная спектроскопия дефектной структуры субмикрокристаллического сплава Ti-6Al-4V после вакуумного отжига; Перспективные материалы конструкционного и функционального назначения
за авторством: Степанова Е. Н. Екатерина Николаевна
Опубліковано: (2020)

The grain structure in the layer of ZR-Y-O in coating on the basis of Zr-Y-O/SI- AL-N depend on annealing time at 900°С in the "in-situ" mode; Иерархические материалы: разработка и приложения для новых технологий и надежных конструкций
Опубліковано: (2019)

Structural-Phase State of the Zr-Y-O Layer in the Zr-Y-O/Si Al-N Coating at Long Annealing using "in-situ" Observation; AIP Conference Proceedings; Vol. 2167 : Advanced Materials with Hierarchical Structure for New Technologies and Reliable Structures 2019 (AMHS'19)
Опубліковано: (2019)

Combustion Synthesis of AlN (Al3O3N), BN, ZrN, and TiN in Air and Ceramic Application; Chapter 5; Nitride Ceramics: Combustion Synthesis, Properties, and Applications
Опубліковано: (2014)

Электроперенос пленок арсенида галлия, синтезированных ионной абляцией; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 9/3
Опубліковано: (2014)

Experimental Study and Mathematical Modeling of the Processes Occurring in ZrN Coating/Silumin Substrate Systems under Pulsed Electron Beam Irradiation; Coatings; Vol. 11, iss. 12
Опубліковано: (2021)

On the Synthesis Mechanism of TiN, ZrN, and HfN During Combustion of Mixtures of Aluminum Nanopowder with TiO2, ZrO2, and HfO2; Refractories and Industrial Ceramics; Vol. 60, iss. 4
за авторством: Root L. O. Lyudmila Olegovna
Опубліковано: (2019)

Атомная и электронная структура композитов на основе многостенных углеродных нанотрубок и оксида олова, полученных с применением газофазного и ионно-плазменного методов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
за авторством: Несов С. Н. Сергей Николаевич
Опубліковано: (Екатеринбург, [Б. и.], 2018)

Отжиг радиационных дефектов в n-GaAs; Известия вузов. Физика; Т. 47, № 10
за авторством: Пешев В. В.
Опубліковано: (2004)

Tolerance of Multilayered Systems MeN/Si[3] N[4] (Me=Cr, Zr, Al) to Radiation Erosion; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Опубліковано: (2019)

Зависимость свойств ионно-легированных слоёв GaAs : Si от дозы имплантации после радиационного отжига; Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
за авторством: Ардышев М. В.
Опубліковано: (2002)

Self-Healing in ZrB[2]-ZrC-SiC-ZrO[2] Ceramics; AIP Conference Proceedings; Vol. 2167 : Advanced Materials with Hierarchical Structure for New Technologies and Reliable Structures 2019 (AMHS'19)
Опубліковано: (2019)

Distribution of Hydrogen and Defects in the Zr/Nb Nanoscale Multilayer Coatings after Proton Irradiation; Materials; Vol. 15, iss. 9
Опубліковано: (2022)

К вопросу о механизме синтеза TiN, ZrN и HfN при сжигании смесей нанопорошка алюминия с диоксидами TiO2, ZrO2 и HfO2; Новые огнеупоры; № 8
за авторством: Роот Л. О. Людмила Олеговна
Опубліковано: (2019)

Behavior of AL-SI-N nanostructured coatings under the ions (HE{+}, AR{+}, Xe{+}[2] ) irradiation; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
Опубліковано: (2016)

Features of Multilayer Сoatings on the Basis of Zr-Y-O/Si-Al-N System; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Опубліковано: (2019)

Электрофизическая обработка длинномерных электротехнических материалов при пониженных давлениях: диссертация на соискание учёной степени кандидата технических наук; спец. 05.09.02
за авторством: Орликов Н. Л. Николай Леонидович
Опубліковано: (Томск, 2016)

Effect of Annealing on the Microstructure and Structural-Phase State of Nanoscale Multilayer Zr/Nb Coatings after Irradiation with He+ Ions; Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques; Vol. 18, iss. 6
Опубліковано: (2024)

Вовлечение рафината и деасфальтизата вакуумного остатка на установку каталитического крекинга вакуумного газойля; Проблемы геологии и освоения недр; Т. 2
за авторством: Нафо Б. Д.
Опубліковано: (2022)

Effect of 28 MeV He{2+} Ion Beam and Short-Pulsed 200 keV C{+} Ion Beam Irradiation on Optical Properties of Multilayer Al-Si-N Coatings; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Опубліковано: (2019)

Капельное пятно - новый объект в физике вакуумного разряда; Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 75, вып. 1-2
Опубліковано: (2002)

Simulation of defect formation, amorphization and cluster formation processes in nc-TiN/a-Si3N4 nanocomposite under Xe irradiation; Computational Materials Science; Vol. 143
Опубліковано: (2018)

Self-Healing in High Temperature ZrB[2]-SiC Ceramics; AIP Conference Proceedings; Vol. 2167 : Advanced Materials with Hierarchical Structure for New Technologies and Reliable Structures 2019 (AMHS'19)
Опубліковано: (2019)

Evolution of Defective State of Aluminum Oxide Irradiated with Chromium Ions after Annealing in Oxygen Environment; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 168 : Radiation-Thermal Effects and Processes in Inorganic Materials (RTEP2016)
за авторством: Kabyshev A. V. Alexander Vasilievich
Опубліковано: (2017)

Characteristics of the annihilation of positrons in nanosized metal coatings Zr/Nb after He+ ION irradiation; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
за авторством: Lomygin A. D. Anton Dmitrievich
Опубліковано: (2022)