Floating harmonic probe measurements in the low-temperature plasma jet deposition system

Floating harmonic probe measurements in the low-temperature plasma jet deposition system

書誌詳細
Parent link:	Journal of Physics D: Applied Physics.— , 1950- Vol. 51.— 2017.— [9 p., 025205]
その他の著者:	Zanaska M., Hubicka Zdenek, Cada M. Martin, Kudrna P. Pavel, Tichy M. Milan
要約:	Title screen The floating harmonic probe is a relatively new plasma diagnostic method, which was proposed for applications at conditions when insulating films are deposited on the probe and, consequently, the classical Langmuir probe method fails. In the floating harmonic probe method a purely sinusoidal AC voltage is applied to the probe constructed in a standard manner via a capacitor. From the spectral components of the measured AC probe current waveforms, the electron temperature and the positive ion density can be obtained. In this contribution we present the comparison of the electron temperature and density acquired by the floating harmonic probe method with those obtained by the classical Langmuir probe. The experiments are performed in the flowing DC discharge in argon. In addition, the results from the floating harmonic probe method obtained during deposition of an insulating iron oxide thin film are shown. All the data is complemented by the qualitative discussion. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
言語:	英語
出版事項:	2017
主題:	электронный ресурс труды учёных ТПУ plasma cathode плазма зонды полые катоды низкотемпературные системы струйное напыление
オンライン･アクセス:	http://dx.doi.org/10.1088/1361-6463/aa9d3b
フォーマット:	電子媒体図書の章
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=657800

類似資料

Generation of Beam-Plasma Formation in a Cylindrical Extended Hollow Grid Anode
出版事項: (2020)

Modelling of the diffusion saturation of metals and alloys in the glow discharge plasma inside a hollow cathode
著者:: Bao Hung Nguyen
出版事項: (2016)

Controlling the Specimen Surface Temperature During Irradiation With a Submillisecond Electron Beam Produced by a Plasma-Cathode Electron Source
出版事項: (2021)

Supersonic Flow of Vacuum Arc Plasma in a Magnetic Field
出版事項: (2021)

Low-energy high-current plasma immersion implantation of nitrogen ions in plasma of non-self-sustained arc discharge with thermionic and hollow cathodes
出版事項: (2018)

Experimental demonstration of a single capillary, water-activated cathode for a sub-microsecond electron accelerator
出版事項: (2019)

Generation, transport, and efficient extraction of a large cross-section electron beam into an air in an accelerator with a mesh plasma cathode
出版事項: (2018)

Numerical Simulation of the Effect of an Electron Beam on the Surface of Materials
著者:: Ashurova K. Kamilla
出版事項: (2020)

Low-current hollow-cathode discharge in a trigger unit of a cold cathode thyratron
出版事項: (2015)

Струйное охлаждение
著者:: Исаченко В. П. Виктор Павлович
出版事項: (Москва, Энергоатомиздат, 1984)

Применение струи низкотемпературных продуктов сгорания для тепловой защиты корпуса РДТТ с вкладным зарядом
出版事項: (2012)

Investigation of diffusion influence on plasma channel for mation when transporting a low-energy high intensity electron beam in the low pressure gaz
著者:: Zvigintsev I. Ilya
出版事項: (2016)

Anode-supported solid oxide fuel cells with multilayer LSC/CGO/LSC cathode
出版事項: (2021)

Low Pressure Discharge Characteristics in a Large Sized Hollow Cathode
出版事項: (2015)

Current interruption in a low-pressure high-current pulsed discharge with hollow cathode
出版事項: (2014)

Моделирование тлеющего разряда в полом катоде
著者:: Нгуен Бао Хынг
出版事項: (2014)

Моделирование тлеющего разряда в газе (Ar, N2) низкого давления в полом катоде
著者:: Нгуен Бао Хынг
出版事項: (2014)

Auxiliary glow discharge in the trigger unit of a hollow-cathode thyratron
出版事項: (2016)

Характеристики разряда низкого давления в полом катоде большого размера
出版事項: (2014)

Floating harmonic probe for diagnostic of pulsed discharges
出版事項: (2019)

Оптический метод диагностики функциональных нарушений полых трубчатых органов
著者:: Гюнтер С. В. Сергей Викторович
出版事項: (2012)

Источник плазмы тлеющего разряда с эффектом полого катода для модификации и осаждения покрытий
著者:: Нуржанов Е. Ж.
出版事項: (2011)

Полимерные защитные и декоративные покрытия строительных материалов
著者:: Гарин В. Н. Виктор Назарович
出版事項: (Москва, Стройиздат, 1975)

Magnetron Sputtering Deposition of Intermetallic Coatings Using Tin and Niobium Plasma
出版事項: (2023)

Plasma diagnostic by probes study aid
著者:: Tichý M.
出版事項: (Томск, ТПУ, 2016)

Plasma diagnostic by probes study aid
著者:: Tichý M.
出版事項: (Томск, ТПУ, 2016)

Моделирование генерации плазмы низкого давления в полом катоде большого объема
著者:: Нгуен Бао Хынг
出版事項: (2015)

Obtaining Superhard Coatings of Cubic Tungsten Carbide under High-speed Plasma Spraying
出版事項: (2020)

Repetitive X -Band Relativistic Traveling Wave Oscillator
出版事項: (2017)

Physico-mechanical properties of Ti-Zr coatings fabricated via ion-assisted arc-plasma deposition
出版事項: (2018)

Источник плазмы тлеющего разряда с эффектом полого катода для модификации свойств поверхности и нанесения покрытий
著者:: Линник С. А. Степан Андреевич
出版事項: (2011)

Формирования плазмы в большом объеме на основе эффекта полого катода с использованием высокочастотного короткоимпульсного напряжения
出版事項: (2011)

Hardening the surface of metals with WC1-x coatings deposited by high-speed plasma spraying
出版事項: (2020)

Deposition of copper coatings on internal aluminum contact surfaces by high-energy plasma spraying
出版事項: (2022)

Моделирование генерации газового разряда низкого давления
著者:: Нгуен Бао Хынг
出版事項: (2014)

Исследование комбинированного разряда в трубке с металлическими сегментами как активной среды газоразрядных лазеров
著者:: Чеботарев Г. Д.
出版事項: (2008)

Integrated model of channels of power supplies of a stationary plasma engine
著者:: Mihajlov M. V.
出版事項: (2006)

Iron Oxide and Iron Sulfide Films Prepared for Dye-Sensitized Solar Cells
出版事項: (2020)

Improvement of CoCr Alloy Characteristics by Ti-Based Carbonitride Coatings Used in Orthopedic Applications
出版事項: (2020)

Glancing Angle Deposition of Zn-Doped Calcium Phosphate Coatings by RF Magnetron Sputtering
出版事項: (2019)