Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Кафедра экспериментальной физики, Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра общей физики (ОФ), Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich, Bleykher G. A. Galina Alekseevna, Grudinin V. A. Vladislav Alekseevich, Krivobokov V. P. Valery Pavlovich, . . . Erofeev E. V. Evgeny Viktorovich. (2018). Hot target magnetron sputtering for ferromagnetic films deposition. 2018. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2017.11.024
Chicago Style (17th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Кафедра экспериментальной физики, Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра общей физики (ОФ), Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich, Bleykher G. A. Galina Alekseevna, Grudinin V. A. Vladislav Alekseevich, Krivobokov V. P. Valery Pavlovich, Bestetti M. Massimiliano, Syrtanov M. S. Maksim Sergeevich, and Erofeev E. V. Evgeny Viktorovich. Hot Target Magnetron Sputtering for Ferromagnetic Films Deposition. 2018, 2018. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2017.11.024.
MLA (9th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Кафедра экспериментальной физики, et al. Hot Target Magnetron Sputtering for Ferromagnetic Films Deposition. 2018, 2018. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2017.11.024.