Национальный исследовательский Томский политехнический университет, Bozhko I. A. Irina Aleksandrovna, Rybalko E. V., Fedorishcheva M. V. Marina Vladimirovna, & Sergeev V. P. Viktor Petrovich. (2017). Effect of Magnetron Deposition Conditions on the Structure, Phase Composition and Properties of the Coatings on the Basis of the Al-Si-N System. 2017. https://doi.org/10.1063/1.5013701
Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет, Bozhko I. A. Irina Aleksandrovna, Rybalko E. V., Fedorishcheva M. V. Marina Vladimirovna, и Sergeev V. P. Viktor Petrovich. Effect of Magnetron Deposition Conditions on the Structure, Phase Composition and Properties of the Coatings on the Basis of the Al-Si-N System. 2017, 2017. https://doi.org/10.1063/1.5013701.
Цитирование MLA (9-е изд.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет, et al. Effect of Magnetron Deposition Conditions on the Structure, Phase Composition and Properties of the Coatings on the Basis of the Al-Si-N System. 2017, 2017. https://doi.org/10.1063/1.5013701.