The non-isothermal mathematical model of ion implantation process into the target with coating; Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций

Dades bibliogràfiques
Parent link:Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций.— 2017.— [С. 235]
Autor principal: Parfenova E. S. Elena Sergeevna
Autor corporatiu: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Кафедра физики высоких технологий в машиностроении (ФВТМ)
Altres autors: Knyazeva A. G. Anna Georgievna
Sumari:Заглавие с экрана
Idioma:anglès
Publicat: 2017
Col·lecció:Проблемы компьютерного конструирования материалов с иерархической структурой
Matèries:
Accés en línia:http://www.ispms.ru/files/Conference/2017_m/sb_tez_2017.pdf#page=235
Format: Electrònic Capítol de llibre
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=656983

MARC

LEADER 00000nla2a2200000 4500
001 656983
005 20240215143350.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\network\23463 
035 |a RU\TPU\network\23462 
090 |a 656983 
100 |a 20171222d2017 k y0rusy50 ba 
101 0 |a eng 
102 |a RU 
105 |a a z 101zy 
135 |a drgn ---uucaa 
181 0 |a i  
182 0 |a b 
200 1 |a The non-isothermal mathematical model of ion implantation process into the target with coating  |f E. S. Parfenova, A. G. Knyazeva 
203 |a Text  |c electronic 
225 1 |a Проблемы компьютерного конструирования материалов с иерархической структурой 
300 |a Заглавие с экрана 
463 1 |0 (RuTPU)RU\TPU\network\23304  |t Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций  |o тезисы докладов Международной конференции, 9-13 октября 2017 г., Томск  |f Российская академия наук (РАН), Сибирское отделение (СО), Институт физики прочности и материаловедения (ИФПМ)  |v [С. 235]  |d 2017 
610 1 |a электронный ресурс 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
610 1 |a математические модели 
610 1 |a ионная имплантация 
610 1 |a мишени 
610 1 |a покрытия 
610 1 |a эксплуатационные свойства 
610 1 |a вакуумные методы 
610 1 |a ионно-плазменные методы 
610 1 |a подложки 
700 1 |a Parfenova  |b E. S.  |c Chemical Engineer  |c engineer of Tomsk Polytechnic University  |f 1989-  |g Elena Sergeevna  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\34500 
701 1 |a Knyazeva  |b A. G.  |c Russian physicist  |c Professor of Tomsk Polytechnic University, doctor of physico-mathematical Sciences  |f 1962-  |g Anna Georgievna  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\32712  |9 16597 
712 0 2 |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)  |b Институт физики высоких технологий (ИФВТ)  |b Кафедра физики высоких технологий в машиностроении (ФВТМ)  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\18687 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20101016 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20171222  |g RCR 
856 4 |u http://www.ispms.ru/files/Conference/2017_m/sb_tez_2017.pdf#page=235 
942 |c CF