Deposition and Patterning of Polycrystalline Diamond Films Using Traditional Photolithography and Reactive Ion Etching; Coatings; Vol. 7, iss. 9

Deposition and Patterning of Polycrystalline Diamond Films Using Traditional Photolithography and Reactive Ion Etching; Coatings; Vol. 7, iss. 9

Bibliografske podrobnosti
Parent link:	Coatings Vol. 7, iss. 9.— 2017.— [148, 9 p.]
Glavni avtor:	Linnik S. A. Stepan Andreevich
Korporativna značnica:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Drugi avtorji:	Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich, Gaydaychuk A. V. Alexander Valerievich
Izvleček:	Title screen Given the exceptional characteristics of diamond films, they have become increasingly popular in the fields of medicine, microelectronics, and detector electronics. However, despite all the advantages, there are many technological problems that complicate their widespread application and impose limitations on diamond use in technological processes. In this study, we proposed a new technique for obtaining a complex topology of polycrystalline diamond coatings by selective seeding of the substrate by nucleation centers and subsequent surface treatment with reactive ion etching to reduce the number of parasitic particles. As a result, diamond films were obtained with a high particle concentration in the film region and high repeatability of the pattern. Moreover, parasitic particles influenced neutralization in areas where film coverage was not needed. The effect of the diamond nanoparticle concentration in a photoresist and the effect of reactive ion etching on the formation of a continuous film and the removal of parasitic nucleation centers were examined. The relative simplicity, low power consumption, and high efficiency of this method make it attractive for both industrial and scientific applications.
Jezik:	angleščina
Izdano:	2017
Teme:	электронный ресурс труды учёных ТПУ алмаз пленки осаждение фотолитография
Online dostop:	http://dx.doi.org/10.3390/coatings7090148
Format:	Elektronski Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=656488

Podobne knjige/članki

Highly selective deposition of CVD diamond on si wafers by using a combined technique of photolithography and ion etching; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
od: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
Izdano: (2016)

Selective deposition of polycrystalline diamond films using photolithography with addition of nanodiamonds as nucleation centers; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 116 : Advanced Materials and New Technologies in Modern Materials Science
Izdano: (2016)

Improvement to the adhesion of polycrystalline diamond films on WC-Co cemented carbides through ion etching of loosely bound growth centers; Surface and Coatings Technology; Vol. 334
od: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Izdano: (2018)

Combined HF+MW CVD Approach for the Growth of Polycrystalline Diamond Films with Reduced Bow; Coatings; Vol. 13, iss. 2
Izdano: (2023)

Deposition of Polycrystalline Diamond Films with a Controlled Grain Size by Periodic Secondary Nucleation; Materials Today: Proceedings; Vol. 3, supl. 2 : Diamond and Carbon Materials - DCM 2014
od: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Izdano: (2016)

Processes and parameters of diamond films deposition in AC glow discharge; Diamond and Related Materials; Vol. 32
od: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Izdano: (2013)

The fabrication of patterned metallic master by photolithography and electroplating technique for making PDMS-stamp as a tool for drug delivery system preparation; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 511 : Perspective Materials of Constructional and Medical Purpose
Izdano: (2019)

Synthesis of multilayer polycrystalline diamond films using bias-induced secondary nucleation; Materials Letters; Vol. 139
od: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Izdano: (2015)

Spectral and kinetic characteristics of the pulsed cathodoluminescence of a natural IIa-type diamond; Russian Physics Journal; Vol. 50, iss. 1
Izdano: (2007)

Talbot photolithography optimization with engineered hybrid metal-dielectric mask: High-contrast and highly-uniform Talbot stripes; Optics and Laser Technology; Vol. 148
od: Geynts Yu. E. Yury Elmarovich
Izdano: (2022)

Influence of Cobalt on the Adhesion Strength of Polycrystalline Diamond Coatings on WC–Co Hard Alloys; Technical Physics; Vol. 63, iss. 2
od: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Izdano: (2018)

New set up for diamond coatings deposition in AC glow discharge plasma on WC-Co milling cutters of complex shape; Diamond and Related Materials; Vol. 94
od: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Izdano: (2019)

The Feasibility of Usage TiN and CrN Barrier Sublayers for Improving the Adhesion of Polycrystalline Diamond Films on WC-Co Hard Alloys; Key Engineering Materials; Vol. 685 : High Technology: Research and Applications 2015 (HTRA 2015)
od: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Izdano: (2016)

Возможность внедрения углеродных нанотрубок в структуру поликристаллического CVD алмаза; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 2 : Химия
od: Митулинский А. С. Александр Сергеевич
Izdano: (2023)

Research of reactive ion and plasma-chemical etching effect on diamond coating surface morphology; AIP Conference Proceedings; Vol. 1772 : Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2016)
od: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
Izdano: (2016)

Технология микросхем: учебное пособие
od: Парфенов О. Д. Олег Дмитриевич
Izdano: (Москва, Высшая школа, 1986)

Фотолитография и оптика
Izdano: (Москва, Советское радио, 1974)

Исследования в области взаимодействия различных форм углерода с газовыми и жидкими средами: сборник научных трудов
Izdano: (Киев, Изд-во ИСМ, 1986)

Катодолюминесценция синтетических алмазов, полученных в мягких условиях; Наукоемкие технологии; № 6
Izdano: (2004)

Оптические основы контактной фотолитографии
od: Березин Г. Н. Геннадий Николаевич
Izdano: (Москва, Радио и связь, 1982)

The Research of Diamond Coatings Morphology Evolution under the Action of Reactive Ion Etching in Perpendicular Direction; Key Engineering Materials; Vol. 712 : Advanced Materials for Technical and Medical Purpose (AMTMP 2016)
od: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
Izdano: (2016)

Уменьшение радиационного распухания графита, обработанного взрывом; Атомная энергия; Т. 99, вып. 1
Izdano: (2005)

Теория и практика алмазной обработки
Izdano: (Москва, 1969)

Исследование микроструктуры и свойств поликристаллических алмазных покрытий, синтезированных методом HFCVD при высоких концентрациях метана; Журнал технической физики; Т. 93, вып. 6
Izdano: (2023)

Введение в фотолитографию
Izdano: (Москва, Энергия, 1977)

Микропроцессорный блок управления полупроводниковым коммутатором для накачки CUBR-лазера; Вестник науки Сибири; № 1 (11)
od: Торгаев С. Н. Станислав Николаевич
Izdano: (2014)

Новеллы о камне
od: Малахов А. А. Анатолий Алексеевич
Izdano: (Свердловск, Книжное издательство, 1960)

Synthesis of polycrystalline diamond films in the abnormal glow discharge and their properties; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2015)
Izdano: (2015)

Electrical and Photoelectric Properties of Polycrystalline Diamond Films, Deposited by Abnormal Glow Discharge; EFRE-2014: 16th International Conference on Radiation Physics and Chemistry of Condensed Matter
Izdano: (2014)

Ч. 1; Микролитография: принципы, методы, материалы
Izdano: (1990)

Обработка полупроводниковых материалов: учебное пособие для начального профессионального образования
od: Запорожский В. П. Владимир Петрович
Izdano: (Москва, Высшая школа, 1988)

Технология производства полупроводниковых приборов
od: Гаврилов Р. А. Роман Александрович
Izdano: (Ленинград, Энергия, 1968)

Технология и конструирование интегральных микросхем: учебное пособие
od: Березин А. С. Андрей Сергеевич
Izdano: (Москва, Радио и связь, 1983)

Кристаллография алмаза; Александр Евгеньевич Ферсман и его творчество; Труды А. Е. Ферсмана по кристаллографии
od: Ферсман А. Е. Александр Евгеньевич
Izdano: (Москва, Изд-во Академии наук СССР, 1955)

Сверхтвердые материалы . Особенности структуры углеграфитовых материалов и основы термодинамики их превращения в алмаз учебное пособие
od: Лаптев А. И.
Izdano: (Москва, МИСИС, 2007)

Технологические основы изготовления интегральных микросхем учебное пособие
od: Терехов А. И.
Izdano: (Иваново, ИГЭУ, 2018)

Химическая обработка и фотолитология в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: учебное пособие
od: Мокеев О. К. Олег Константинович
Izdano: (Москва, Высшая школа, 1979)

Heteroepitaxial Diamond Growth from the Gas Phase: Problems and Prospects (Review); Instruments and Experimental Techniques; Vol. 64, iss. 2
od: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Izdano: (2021)

Тверже алмаза: очерки
od: Соболев Е. В. Евгений Владимирович
Izdano: (Новосибирск, Наука, 1984)

Ч. 1; Сульфидные включения в минералах из кимберлитов
Izdano: (1988)