Свойства тонких пленок сульфидов вольфрама и меди, полученных методом магнетронного распыления
| Parent link: | Материаловедение: научно-технический журнал.— , 2001-.— 1684-579X № 9.— 2016.— [С. 14-19] |
|---|---|
| Main Author: | Ан В. В. Владимир Вилорьевич |
| Corporate Authors: | Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Кафедра технологии силикатов и наноматериалов (ТСН), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Кафедра общей химии и химической технологии (ОХХТ) |
| Other Authors: | Погребенков В. М. Валерий Матвеевич, Захаров А. Н. Александр Николаевич |
| Summary: | Заглавие с экрана В работе представлены результаты исследования свойств тонких пленок сульфидов вольфрама и меди, полученных методом магнетронного напыления на стеклянные подложки в атмосфере аргона. Спектрофотометрическим методом исследованы спектры пропускания полученных пленок в диапазоне от 300 до 900 нм и определены значения ширины запрещенной зоны. Толщина полученных пленок варьируется в диапазоне 0,5—1 мкм. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Published: |
2016
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://elibrary.ru/item.asp?id=26697791 |
| Format: | Electronic Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=656021 |
Similar Items
Исследование полупроводниковых пленок CU2S методами атомно-силовой микроскопии
by: Дронова М. В.
Published: (2014)
by: Дронова М. В.
Published: (2014)
Потенциал использования тонкопленочного гетероперехода SnS/ZnO, полученного методом магнетронного распыления
by: Ан В. В. Владимир Вилорьевич
Published: (2016)
by: Ан В. В. Владимир Вилорьевич
Published: (2016)
Study of tungsten disulfide thin films produces by magnetron spattering of nanostructured targets
by: Bozheyev F. E.
Published: (2012)
by: Bozheyev F. E.
Published: (2012)
Кальцийфосфатные мишени для ВЧ магнетронного распыления биопокрытий
Published: (2019)
Published: (2019)
Электропроводность тонких плёнок оксида титана, полученных методом среднечастотного магнетронного распыления
by: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Published: (2009)
by: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Published: (2009)
Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления
by: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Published: (2009)
by: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Published: (2009)
Анализ морфологии поверхности и оптических свойств пленок сульфида олова, полученных DC-магнетронным распылением
by: Дронова М. В.
Published: (2015)
by: Дронова М. В.
Published: (2015)
Элементный и фазовый состав кальцийфосфатных мишеней для ВЧ-магнетронного распыления
Published: (2019)
Published: (2019)
Осаждение хромовых покрытий с помощью магнетронного распыления «горячей» мишени с ассистированием внешним плазменным источником
by: Бондарь А. А. Альберт Алексеевич
Published: (2022)
by: Бондарь А. А. Альберт Алексеевич
Published: (2022)
Модифицирование PLLA скаффолдов методом DC магнетронного распыления титановой мишени в смеси рабочих газов
by: Марьин П. В. Павел Владимирович
Published: (2021)
by: Марьин П. В. Павел Владимирович
Published: (2021)
Properties of thin films of tungsten sulfide and copper sulfide produced by magnetron sputtering method
by: An V. V. Vladimir Vilorievich
Published: (2017)
by: An V. V. Vladimir Vilorievich
Published: (2017)
Влияние процесса распыления на структуру ВЧ-магнетронных тонких пленок
by: Шаронова А. А. Анна Александровна
Published: (2013)
by: Шаронова А. А. Анна Александровна
Published: (2013)
Смачиваемость поверхности тонких пленок на основе силикатсодержащего гидроксиапатита, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления
Published: (2013)
Published: (2013)
Осаждение плёнок оксида меди при магнетронном распылении в металлическом режиме
by: Воронина Е. Д. Екатерина Дмитриевна
Published: (2022)
by: Воронина Е. Д. Екатерина Дмитриевна
Published: (2022)
Оптимизация требований к порошкам цинкзамещенного гидроксиапатита с целью обеспечения фазового состава мишеней для ВЧ магнетронного распыления
by: Болат-оол А. А.
Published: (2019)
by: Болат-оол А. А.
Published: (2019)
Влияние магнетронного со-распыления титановой и медной мишеней на элементный состав поверхности скаффолдов из поликапролактона
by: Бадараев А. Д. Арсалан Доржиевич
Published: (2021)
by: Бадараев А. Д. Арсалан Доржиевич
Published: (2021)
Исследование поверхностной плотности заряда тонких оксидных покрытий TiO2, полученных методом магнетронного распыления
by: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Published: (2010)
by: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Published: (2010)
Исследование биоэлектрической совместимости тонких кальций-фосфатных покрытий, полученных методом высокочастотного магнетронного распыления
Published: (2011)
Published: (2011)
Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине
by: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Published: (2009)
by: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Published: (2009)
Растворение in vitro, структурные и электрокинетические характеристики оксинитридных покрытий титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления
Published: (2016)
Published: (2016)
Исследование повехностной плотности электрического заряда биосовместимых покрытий полученных методом магнетронного распыления
by: Быкова Ю. В. Юлия Владиславовна
Published: (2010)
by: Быкова Ю. В. Юлия Владиславовна
Published: (2010)
Структура и свойства покрытий системы Hf-Al-C, полученных методом реактивного магнетронного распыления
by: Зелецов Д.
Published: (2019)
by: Зелецов Д.
Published: (2019)
Остеогенный потенциал покрытий на основе гидроксиа-патита, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления
by: Грибенников М. В.
Published: (2013)
by: Грибенников М. В.
Published: (2013)
Структура пленок, напыляемых в магнитном поле путем магнетронного распыления
by: Загузин И. Ю.
Published: (2018)
by: Загузин И. Ю.
Published: (2018)
Физико-механические характеристики PLLA пленок, модифицированных методом ВЧ-магнетронного распыления
by: Богомолова Н. Н. Наталья Николаевна
Published: (2014)
by: Богомолова Н. Н. Наталья Николаевна
Published: (2014)
Морфология поверхности покрытий на основе оксидов и оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления
by: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Published: (2012)
by: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Published: (2012)
Структура и свойства прозрачных проводящих слоев на основе оксида цинка, полученных методом магнетронного распыления нестехиометричных мишеней автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук Спец. 01.04.07
by: Ахмедов А. К. Ахмед Кадиевич
Published: (Нальчик, [Б. и.], 2016)
by: Ахмедов А. К. Ахмед Кадиевич
Published: (Нальчик, [Б. и.], 2016)
Экспериментальное исследование порядка выделения сульфидов железа, меди и свинца из их однородных жидких растворов
by: Уразов Г. Г.
Published: (Москва, Главная редакция геолого-разведочной и геодезической лит-ры, 1935)
by: Уразов Г. Г.
Published: (Москва, Главная редакция геолого-разведочной и геодезической лит-ры, 1935)
Magnetron sputtering with hot solid target: thermal processes and erosion
Published: (2016)
Published: (2016)
Влияние магнетронного распыления меди на морфологию и химический состав поверхности ВДФ-ТеФЭ мембран
by: Бадараев А. Д. Арсалан Доржиевич
Published: (2020)
by: Бадараев А. Д. Арсалан Доржиевич
Published: (2020)
Электрический потенциал тонкого биоактивного покрытия на основе цинк-замещенного гидроксиапатита, полученного на титане методом ВЧ магнетронного распыления
by: Просолов К. А. Константин Александрович
Published: (2017)
by: Просолов К. А. Константин Александрович
Published: (2017)
Deposition of the low resistive ITO-films by means of reactive magnetron sputtering of the In/Sn target on the cold substrate
Published: (2016)
Published: (2016)
Кремнийсодержащее кальций-фосфатное покрытие, сформированное методом ВЧ-магнетронного распыления
by: Сурменева М. А. Мария Александровна
Published: (2010)
by: Сурменева М. А. Мария Александровна
Published: (2010)
Исследование скоростей роста медных покрытий при различных методах магнетронного распыления
Published: (2014)
Published: (2014)
Осаждение сверхтвердых Ti-Si-N-покрытий методом импульсного сильноточного реактивного магнетронного распыления
Published: (2016)
Published: (2016)
Исследование физико-механических свойств биосовместимых покрытий с антибактериальными свойствами, полученных методом вч-магнетронного распыления
by: Сыромотина Д. С. Дина Сергеевна
Published: (2013)
by: Сыромотина Д. С. Дина Сергеевна
Published: (2013)
High-rate magnetron sputtering with hot target
Published: (2016)
Published: (2016)
High-rate deposition of chromium coatings by magnetron sputtering
Published: (2019)
Published: (2019)
Тонкая структура слоя ZR-Y-O в многослойных покрытиях ZR-Y-O / SI-AL-N
by: Федорищева М. В. Марина Владимировна
Published: (2014)
by: Федорищева М. В. Марина Владимировна
Published: (2014)
Phase Transformations in Nanostructured Coatings Based on Zr-Y-O and Produced by a Pulse Magnetron Sputtering Method
by: Fedorishcheva M. V. Marina Vladimirovna
Published: (2015)
by: Fedorishcheva M. V. Marina Vladimirovna
Published: (2015)
Similar Items
-
Исследование полупроводниковых пленок CU2S методами атомно-силовой микроскопии
by: Дронова М. В.
Published: (2014) -
Потенциал использования тонкопленочного гетероперехода SnS/ZnO, полученного методом магнетронного распыления
by: Ан В. В. Владимир Вилорьевич
Published: (2016) -
Study of tungsten disulfide thin films produces by magnetron spattering of nanostructured targets
by: Bozheyev F. E.
Published: (2012) -
Кальцийфосфатные мишени для ВЧ магнетронного распыления биопокрытий
Published: (2019) -
Электропроводность тонких плёнок оксида титана, полученных методом среднечастотного магнетронного распыления
by: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Published: (2009)