Свойства тонких пленок сульфидов вольфрама и меди, полученных методом магнетронного распыления
| Parent link: | Материаловедение: научно-технический журнал.— , 2001-.— 1684-579X № 9.— 2016.— [С. 14-19] |
|---|---|
| Main Author: | |
| Corporate Authors: | , |
| Other Authors: | , |
| Summary: | Заглавие с экрана В работе представлены результаты исследования свойств тонких пленок сульфидов вольфрама и меди, полученных методом магнетронного напыления на стеклянные подложки в атмосфере аргона. Спектрофотометрическим методом исследованы спектры пропускания полученных пленок в диапазоне от 300 до 900 нм и определены значения ширины запрещенной зоны. Толщина полученных пленок варьируется в диапазоне 0,5—1 мкм. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Published: |
2016
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://elibrary.ru/item.asp?id=26697791 |
| Format: | Electronic Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=656021 |
MARC
| LEADER | 00000nla2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 656021 | ||
| 005 | 20231219131808.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\22366 | ||
| 090 | |a 656021 | ||
| 100 | |a 20171018a2016 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Свойства тонких пленок сульфидов вольфрама и меди, полученных методом магнетронного распыления |f В. В. Ан, В. М. Погребенков, А. Н. Захаров | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: 9 назв.] | ||
| 330 | |a В работе представлены результаты исследования свойств тонких пленок сульфидов вольфрама и меди, полученных методом магнетронного напыления на стеклянные подложки в атмосфере аргона. Спектрофотометрическим методом исследованы спектры пропускания полученных пленок в диапазоне от 300 до 900 нм и определены значения ширины запрещенной зоны. Толщина полученных пленок варьируется в диапазоне 0,5—1 мкм. | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | 0 | |0 (RuTPU)RU\TPU\prd\1134 |x 1684-579X |t Материаловедение |o научно-технический журнал |d 2001- | |
| 463 | 0 | |0 (RuTPU)RU\TPU\prd\264485 |t № 9 |v [С. 14-19] |d 2016 | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a тонкие пленки | |
| 610 | 1 | |a наноструктурные мишени | |
| 610 | 1 | |a сульфиды вольфрама | |
| 610 | 1 | |a сульфид меди | |
| 610 | 1 | |a магнетронное распыление | |
| 700 | 1 | |a Ан |b В. В. |c химик |c профессор Томского политехнического университета, доктор химических наук |f 1972- |g Владимир Вилорьевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25572 |9 11502 | |
| 701 | 1 | |a Погребенков |b В. М. |c химик-технолог |c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук |f 1954- |g Валерий Матвеевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\26404 | |
| 701 | 1 | |a Захаров |b А. Н. |g Александр Николаевич | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |b Институт физики высоких технологий (ИФВТ) |b Кафедра технологии силикатов и наноматериалов (ТСН) |3 (RuTPU)RU\TPU\col\18694 |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |b Институт физики высоких технологий (ИФВТ) |b Кафедра общей химии и химической технологии (ОХХТ) |3 (RuTPU)RU\TPU\col\21253 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20190225 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u https://elibrary.ru/item.asp?id=26697791 | |
| 942 | |c CF | ||