Коэффициенты диффузии алюминия в диоксиде циркония, определенные методом вторично-ионной масс-спектрометрии

Bibliographic Details
Parent link:	Известия вузов. Физика: научный журнал Т. 60, № 5.— 2017.— [С. 61-64]
Main Author:	Гынгазов С. А. Сергей Анатольевич
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт неразрушающего контроля (ИНК) Проблемная научно-исследовательская лаборатория электроники, диэлектриков и полупроводников (ПНИЛ ЭДиП)
Other Authors:	Чернявский А. В. Александр Викторович, Петрова А. Б. Анна Борисовна
Summary:	Заглавие с экрана Методом вторично-ионной масс-спектрометрии с использованием установки PHI 6300 исследована диффузия ионов алюминия в циркониевой керамике, полученной из плазмохимических порошков состава 97ZrO2- 3Y2O3 (мол. %). Предварительно тонкая пленка алюминия, нанесенная на поверхность керамики, подвергалась промежуточному отжигу при температуре 873 К до полного ее окисления. Диффузионные отжиги проводились в диапазоне температур 1520-1820 °С. Установлено, что типичный экспериментальный профиль глубинного распределения примеси содержит два характерных линейных участка с разными углами наклона, которые свидетельствуют о том, что диффузионный перенос ионов алюминия идет одновременно по объему зерен и по межзеренным границам. Объемные коэффициенты диффузии определены путем аппроксимации диффузионных профилей решением уравнения Фика для диффузии из тонкопленочного источника в полубесконечный кристалл. Определенные значения коэффициентов диффузии удовлетворительно совпали с литературными данными. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Published:	2017
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ диоксид циркония термическая диффузия вторично-ионная масс-спектроскопия примеси распределение объемная диффузия коэффициент диффузии
Online Access:	https://elibrary.ru/item.asp?id=29296703
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=655705