Определение концентрации и температуры электронов в плазме магнетронного разряда с помощью оптической спектроскопии и столкновительно-излучательной модели аргона

Библиографические подробности
Источник:	Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ) Т. 60, № 5.— 2017.— [С. 21-25]
Автор-организация:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ)
Другие авторы:	Евдокимов К. Е. Кирилл Евгеньевич, Конищев М. Е. Максим Евгеньевич, Пичугин В. Ф. Владимир Федорович, Пустовалова А. А. Алла Александровна, Иванова Н. М. Нина Михаиловна, Сунь Чжилэй
Примечания:	Заглавие с экрана Предложен метод определения температуры и концентрации электронов в плазме, основанный на минимизации отличия экспериментальных и вычисленных с помощью столкновительно-излучательной модели относительных интенсивностей спектральных линий аргона (Ar). Модель описывает кинетику основного и 40 возбужденных состояний атома Ar и учитывает следующие процессы: возбуждение и дезактивация состояний атома электронным ударом; радиационный распад возбужденных состояний; самопоглощение излучения; ионизация возбужденных состояний электронным ударом, тушение метастабильных состояний вследствие столкновений со стенками камеры. Данным методом проведено исследование плазмы магнетронного разряда лабораторной установки среднечастотного магнетронного напыления для нескольких режимов работы. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Язык:	русский
Опубликовано:	2017
Предметы:	электронный ресурс труды учёных ТПУ плазма диагностика оптическая спектроскопия излучательно-столкновительные модели реактивное магнетронное напыление аргон
Online-ссылка:	https://elibrary.ru/item.asp?id=29296693
Формат:	Электронный ресурс Статья
Запись в KOHA:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=655704