Определение концентрации и температуры электронов в плазме магнетронного разряда с помощью оптической спектроскопии и столкновительно-излучательной модели аргона; Известия вузов. Физика; Т. 60, № 5
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ) Т. 60, № 5.— 2017.— [С. 21-25] |
|---|---|
| Coauteur: | |
| Andere auteurs: | , , , , , |
| Samenvatting: | Заглавие с экрана Предложен метод определения температуры и концентрации электронов в плазме, основанный на минимизации отличия экспериментальных и вычисленных с помощью столкновительно-излучательной модели относительных интенсивностей спектральных линий аргона (Ar). Модель описывает кинетику основного и 40 возбужденных состояний атома Ar и учитывает следующие процессы: возбуждение и дезактивация состояний атома электронным ударом; радиационный распад возбужденных состояний; самопоглощение излучения; ионизация возбужденных состояний электронным ударом, тушение метастабильных состояний вследствие столкновений со стенками камеры. Данным методом проведено исследование плазмы магнетронного разряда лабораторной установки среднечастотного магнетронного напыления для нескольких режимов работы. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Taal: | Russisch |
| Gepubliceerd in: |
2017
|
| Onderwerpen: | |
| Online toegang: | https://elibrary.ru/item.asp?id=29296693 |
| Formaat: | Elektronisch Hoofdstuk |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=655704 |
MARC
| LEADER | 00000naa0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 655704 | ||
| 005 | 20250331100614.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\21965 | ||
| 090 | |a 655704 | ||
| 100 | |a 20170922d2017 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Определение концентрации и температуры электронов в плазме магнетронного разряда с помощью оптической спектроскопии и столкновительно-излучательной модели аргона |f К. Е. Евдокимов [и др.] | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: 23 назв.] | ||
| 330 | |a Предложен метод определения температуры и концентрации электронов в плазме, основанный на минимизации отличия экспериментальных и вычисленных с помощью столкновительно-излучательной модели относительных интенсивностей спектральных линий аргона (Ar). Модель описывает кинетику основного и 40 возбужденных состояний атома Ar и учитывает следующие процессы: возбуждение и дезактивация состояний атома электронным ударом; радиационный распад возбужденных состояний; самопоглощение излучения; ионизация возбужденных состояний электронным ударом, тушение метастабильных состояний вследствие столкновений со стенками камеры. Данным методом проведено исследование плазмы магнетронного разряда лабораторной установки среднечастотного магнетронного напыления для нескольких режимов работы. | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | |t Известия вузов. Физика |o научный журнал |f Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ) | ||
| 463 | |t Т. 60, № 5 |v [С. 21-25] |d 2017 | ||
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a плазма | |
| 610 | 1 | |a диагностика | |
| 610 | 1 | |a оптическая спектроскопия | |
| 610 | 1 | |a излучательно-столкновительные модели | |
| 610 | 1 | |a реактивное магнетронное напыление | |
| 610 | 1 | |a аргон | |
| 701 | 1 | |a Евдокимов |b К. Е. |c физик |c доцент Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук |f 1976- |g Кирилл Евгеньевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31790 |9 15901 | |
| 701 | 1 | |a Конищев |b М. Е. |c физик |c старший преподаватель Томского политехнического университета |f 1987- |g Максим Евгеньевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27837 |9 12872 | |
| 701 | 1 | |a Пичугин |b В. Ф. |c российский физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1944- |g Владимир Федорович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25824 | |
| 701 | 1 | |a Пустовалова |b А. А. |c биофизик |c инженер Томского политехнического университета |f 1989- |g Алла Александровна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31045 | |
| 701 | 1 | |a Иванова |b Н. М. |c физик |c старший лаборант Томского политехнического университета |f 1991- |g Нина Михаиловна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\34113 | |
| 701 | 0 | |a Сунь Чжилэй |c физик |c инженер-исследователь Томского политехнического университета |f 1992- |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\46146 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |b Физико-технический институт (ФТИ) |b Кафедра экспериментальной физики (ЭФ) |3 (RuTPU)RU\TPU\col\21255 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20211116 |g RCR | |
| 856 | 4 | 0 | |u https://elibrary.ru/item.asp?id=29296693 |
| 942 | |c CF | ||