Определение концентрации и температуры электронов в плазме магнетронного разряда с помощью оптической спектроскопии и столкновительно-излучательной модели аргона

গ্রন্থ-পঞ্জীর বিবরন
Parent link:	Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ) Т. 60, № 5.— 2017.— [С. 21-25]
সংস্থা লেখক:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ)
অন্যান্য লেখক:	Евдокимов К. Е. Кирилл Евгеньевич, Конищев М. Е. Максим Евгеньевич, Пичугин В. Ф. Владимир Федорович, Пустовалова А. А. Алла Александровна, Иванова Н. М. Нина Михаиловна, Сунь Чжилэй
সংক্ষিপ্ত:	Заглавие с экрана Предложен метод определения температуры и концентрации электронов в плазме, основанный на минимизации отличия экспериментальных и вычисленных с помощью столкновительно-излучательной модели относительных интенсивностей спектральных линий аргона (Ar). Модель описывает кинетику основного и 40 возбужденных состояний атома Ar и учитывает следующие процессы: возбуждение и дезактивация состояний атома электронным ударом; радиационный распад возбужденных состояний; самопоглощение излучения; ионизация возбужденных состояний электронным ударом, тушение метастабильных состояний вследствие столкновений со стенками камеры. Данным методом проведено исследование плазмы магнетронного разряда лабораторной установки среднечастотного магнетронного напыления для нескольких режимов работы. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
ভাষা:	রুশ
প্রকাশিত:	2017
বিষয়গুলি:	электронный ресурс труды учёных ТПУ плазма диагностика оптическая спектроскопия излучательно-столкновительные модели реактивное магнетронное напыление аргон
অনলাইন ব্যবহার করুন:	https://elibrary.ru/item.asp?id=29296693
বিন্যাস:	বৈদ্যুতিক গ্রন্থের অধ্যায়
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=655704

বিবরন
সংক্ষিপ্ত:	Заглавие с экрана Предложен метод определения температуры и концентрации электронов в плазме, основанный на минимизации отличия экспериментальных и вычисленных с помощью столкновительно-излучательной модели относительных интенсивностей спектральных линий аргона (Ar). Модель описывает кинетику основного и 40 возбужденных состояний атома Ar и учитывает следующие процессы: возбуждение и дезактивация состояний атома электронным ударом; радиационный распад возбужденных состояний; самопоглощение излучения; ионизация возбужденных состояний электронным ударом, тушение метастабильных состояний вследствие столкновений со стенками камеры. Данным методом проведено исследование плазмы магнетронного разряда лабораторной установки среднечастотного магнетронного напыления для нескольких режимов работы. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса

অনুরূপ উপাদানগুলি