The Mathematical Modeling of the Initial Stage of Ion Implantation into the Target with Coating; Key Engineering Materials; Vol. 743 : High Technology: Research and Applications (HTRA 2016)

Библиографические подробности
Источник:Key Engineering Materials: Scientific Journal
Vol. 743 : High Technology: Research and Applications (HTRA 2016).— 2017.— [P. 138-141]
Главный автор: Parfenova E. S. Elena Sergeevna
Автор-организация: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Учебно-научная межотраслевая междисциплинарная лаборатория "Моделирование физико-химических процессов в современных технологиях" (УНММЛ "МФХПСТ")
Примечания:Title screen
The paper presents a non-isothermal model of the initial stage of ion implantation process. The model takes into account the existence of internal interfaces. The model assumes that the implantable impurity generates mechanical perturbations. These disturbances can propagate at different speeds before and after internal boundary. The examples of the waveform evolution in transition across the border are shown.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Язык:английский
Опубликовано: 2017
Предметы:
Online-ссылка:http://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/KEM.743.138
Формат: Электронный ресурс Статья
Запись в KOHA:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=655455
Описание
Примечания:Title screen
The paper presents a non-isothermal model of the initial stage of ion implantation process. The model takes into account the existence of internal interfaces. The model assumes that the implantable impurity generates mechanical perturbations. These disturbances can propagate at different speeds before and after internal boundary. The examples of the waveform evolution in transition across the border are shown.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
DOI:10.4028/www.scientific.net/KEM.743.138