The influence of repetitively pulsed plasma immersion low energy ion implantation on TiN coating formation and properties; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 830 : Energy Fluxes and Radiation Effects 2016

The influence of repetitively pulsed plasma immersion low energy ion implantation on TiN coating formation and properties; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 830 : Energy Fluxes and Radiation Effects 2016

Bibliographische Detailangaben
Parent link:	Journal of Physics: Conference Series Vol. 830 : Energy Fluxes and Radiation Effects 2016.— 2017.— [012103, 6 p.]
Körperschaft:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Лаборатория № 22
Weitere Verfasser:	Sivin D. O. Denis Olegovich, Ananin P. S. Petr Semenovich, Dektyarev S. V. Sergey Valentinovich, Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich, Shevelev A. E. Aleksey Eduardovich
Zusammenfassung:	Title screen Application of high frequency short pulse plasma immersion low energy ion implantation for titanium nitride coating deposition using vacuum arc metal plasma and hot-cathode gas-discharge plasma on R6M5 alloy was investigated. Implementation of negative repetitively pulsed bias with bias amplitude 2 kV, pulse duration 5 [mu]s and pulse frequency 105 Hz leads to 6.2-fold decrease of vacuum arc macroparticle surface density for macroparticles with diameter less than 0.5 [mu]m. Ion sputtering due coating deposition reduces the production rate approximately by 30%. It was found that with bias amplitude range from 1.1 to 1.4 kV and pulse duration 5 [mu]s yields to formation of coatings with local hardness up to 40 GPa. This paper presents the results of experimental studies of adhesion strength, tribological properties and surface morphology of deposited TiN coatings.
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2017
Schriftenreihe:	Modification of materials with particle beams and plasma flows
Schlagworte:	электронный ресурс труды учёных ТПУ имплантанты покрытия ионная имплантация импульсная плазма нитрид титана газоразрядная плазма катоды адгезия прочность трибологические свойства морфология поверхности
Online-Zugang:	http://dx.doi.org/10.1088/1742-6596/830/1/012103 http://earchive.tpu.ru/handle/11683/39489
Format:	Elektronisch Buchkapitel
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=654921

Ähnliche Einträge

Influence of repetitively-pulsed plasma immersion low energy on implantation to tin coating properties formation; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
Veröffentlicht: (2016)

Гетератор объёмной плазмы на основе разряда с плазменным катодом; Приборы и техника эксперимента; № 3
Veröffentlicht: (2003)

Формирования плазмы в большом объеме на основе эффекта полого катода с использованием высокочастотного короткоимпульсного напряжения; Вестник науки Сибири; № 1 (1)
Veröffentlicht: (2011)

Plasma Immersion Ion Implantation for Surface Treatment of Complex Branched Structures; AIP Conference Proceedings; Vol. 1783 : Advanced Materials with Hierarchical Structure for New Technologies and Reliable Structures 2016
Veröffentlicht: (2016)

Study of the plasma immersion implantation of titanium in stainless steel; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 81 : Radiation-Thermal Effects and Processes in Inorganic Materials
Veröffentlicht: (2015)

High-Frequency Short-Pulsed Metal Plasma-Immersion Ion Implantation Using Filtered DC Vacuum-Arc Plasma (Part I); 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
von: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
Veröffentlicht: (2004)

High-Frequency Short-Pulsed Metal Plasma-Immersion Ion Implantation Using Filtered DC Vacuum-Arc Plasma (Part II); 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
von: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
Veröffentlicht: (2004)

The research of influence of plasma immersion ion implantation of titanium on hydrogen sorption of Zr-2,5% Nb; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
von: Sutygina A. N. Alina Nikolaevna
Veröffentlicht: (2015)

Источники электронов на основе разрядов с холодным катодом в магнитном поле: Диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук
von: Крейндель Ю. Е.
Veröffentlicht: (Томск, 1972)

Спектроскопия газоразрядной плазмы
Veröffentlicht: (Ленинград, Наука, 1970)

Оптические методы диагностики параметров низкотемпературной газоразрядной плазмы: специальный физический практикум
von: Коротков А. И. Александр Иванович
Veröffentlicht: (Чебоксары, 1984)

Элементарные процессы и кинетика низкотемпературной плазмы: учебное пособие
von: Девятов А. М. Альфат Минниханович
Veröffentlicht: (Москва, Изд-во МГУ, 1992)

Исследование поперечного извлечения электронов и ионов из плазмы пеннинговского разряда: Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
von: Левшук Л. А.
Veröffentlicht: (Томск, 1969)

Кристаллические структуры в пылевой плазме; Энергия: экономика, техника, экология; № 2
von: Фортов В. Е.
Veröffentlicht: (2003)

Unfiltered Aluminium Vacuum Arc Plasma Application for High-Frequency Short-Pulse Plasma Immersion Ion Implantation; Advanced Materials Research : Advanced materials, synthesis, development and application; Vol. 880 : Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2013)
Veröffentlicht: (2014)

Исследование кинетики процессов заселения метастабильных состояний атомов и молекул в плазме газовых разрядов: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.08
von: Байсова Б. Т. Бибигуль Тулегеновна
Veröffentlicht: (Омск, [Б. и.], 2006)

Hydrogen-Permeability of Titanium-Nitride (TiN) Coatings Obtained via the Plasma-Immersion Ion Implantation of Titanium and TiN Vacuum-Arc Deposition on Zr-1%Nb Alloy; Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques; Vol. 12, iss. 4
Veröffentlicht: (2018)

Formation, Focusing and Transport of Highintensity, Low-Energy Metal Ion Beams; Russian Physics Journal; Vol. 63, iss. 10
Veröffentlicht: (2021)

Special Aspects of High-Intensity Low-Energy Ion Implantation; Russian Physics Journal; Vol. 63, iss. 10
Veröffentlicht: (2021)

Исследование кинетики процессов заселения метастабильных состояний атомов и молекул в плазме газовых разрядов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.08
von: Байсова Б. Т. Бибигуль Тулегеновна
Veröffentlicht: (Томск, [Б. и.], 2006)

Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2015): 12th International Conference, September 6–11, 2015, Tomsk, Russia; abstracts
Veröffentlicht: (Tomsk, Publishing House of IAO SB RAS, 2015)

Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019): 14th International Conference, September 15–21, 2019, Tomsk, Russia; abstracts
Veröffentlicht: (Tomsk, TPU Publishing House, 2019)

Hydrogenation of Zr-2.5Nb alloy after plasma-immersion titanium implantation; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 110 : Radiation-Thermal Effects and Processes in Inorganic Materials (RTEP2015)
Veröffentlicht: (2016)

Физика газового разряда
von: Райзер Ю. П. Юрий Петрович
Veröffentlicht: (Москва, Наука, 1992)

Физика полностью ионизированного газа: пер. с англ.
von: Спитцер Л. Лайман
Veröffentlicht: (Москва, Мир, 1965)

Физика полностью ионизированного газа: пер. с англ.
von: Спитцер Л. Лайман
Veröffentlicht: (Москва, Изд-во иностранной литературы, 1957)

Управляемый синтез ультрадисперсного карбида кремния в гиперскоростной струе углеродной электроразрядной плазмы; Интеллектуальные энергосистемы; Т. 3
von: Никитин Д. С. Дмитрий Сергеевич
Veröffentlicht: (2015)

Low-energy high-current plasma immersion implantation of nitrogen ions in plasma of non-self-sustained arc discharge with thermionic and hollow cathodes; Surface and Coatings Technology; Vol. 340
Veröffentlicht: (2018)

Вакуумно-плазменное и плазменно-растворное модифицирование полимерных материалов
von: Кутепов А. М. Алексей Митрофанович
Veröffentlicht: (Москва, Наука, 2004)

Кинетика электронов в неравновесной газоразрядной плазме: учебное пособие
Veröffentlicht: (СПб., Изд-во СПбГУ, 2004)

Вып. 2; Спектроскопия газоразрядной плазмы
Veröffentlicht: (1980)

Вып. 1; Спектроскопия газоразрядной плазмы
Veröffentlicht: (1976)

Плазмохимические процессы в высокочастотной газоразрядной плазме. Лабораторный практикум: учебно-методическое пособие
von: Каренгин А. Г. Александр Григорьевич
Veröffentlicht: (Томск, Изд-во ТПУ, 2023)

Ion trajectories calculation for negatively biased needle cathode in volume discharge plasma; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 552 : International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2014), 21–26 September 2014, Tomsk, Russia
Veröffentlicht: (2014)

Influence of negative bias pulse parameters on accumulation of macroparticles on the substrate immersed in titanium vacuum arc plasma; Surface and Coatings Technology; Vol. 306, Pt. A : Surface Modification of Materials by Ion Beams [SMMIB2015]
Veröffentlicht: (2016)

On the Hydrogen Permeability and Adhesion of TiN/Ti Coatings Produced on Zr-1% Nb Alloy by Vacuum Ion-Plasma Methods; Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques; Vol. 14, iss. 5
Veröffentlicht: (2020)

Физика высокочастотного емкостного разряда
von: Савинов В. П.
Veröffentlicht: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2013)

Исследование закономерности формирования плазмы в большом объеме с использованием высокочастотного короткоимпульсного напряжения; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 11-2
Veröffentlicht: (2012)

Кумуляции электрического поля в диссипативных структурах в газоразрядной плазме; Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 125, вып. 5
von: Высикайло Ф. И.
Veröffentlicht: (2004)

Плазма газоразрядных источников света низкого давления
von: Миленин В. М. Вячеслав Михайлович
Veröffentlicht: (Ленинград, Изд-во ЛГУ, 1993)