Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Лаборатория № 22, Sivin D. O. Denis Olegovich, Ananin P. S. Petr Semenovich, Dektyarev S. V. Sergey Valentinovich, Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich, & Shevelev A. E. Aleksey Eduardovich. (2017). The influence of repetitively pulsed plasma immersion low energy ion implantation on TiN coating formation and properties; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 830 : Energy Fluxes and Radiation Effects 2016. 2017. https://doi.org/10.1088/1742-6596/830/1/012103
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Лаборатория № 22, Sivin D. O. Denis Olegovich, Ananin P. S. Petr Semenovich, Dektyarev S. V. Sergey Valentinovich, Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich, und Shevelev A. E. Aleksey Eduardovich. The Influence of Repetitively Pulsed Plasma Immersion Low Energy Ion Implantation on TiN Coating Formation and Properties; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 830 : Energy Fluxes and Radiation Effects 2016. 2017, 2017. https://doi.org/10.1088/1742-6596/830/1/012103.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Лаборатория № 22, et al. The Influence of Repetitively Pulsed Plasma Immersion Low Energy Ion Implantation on TiN Coating Formation and Properties; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 830 : Energy Fluxes and Radiation Effects 2016. 2017, 2017. https://doi.org/10.1088/1742-6596/830/1/012103.