Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Лаборатория № 22, Sivin D. O. Denis Olegovich, Ananin P. S. Petr Semenovich, Dektyarev S. V. Sergey Valentinovich, Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich, & Shevelev A. E. Aleksey Eduardovich. (2017). The influence of repetitively pulsed plasma immersion low energy ion implantation on TiN coating formation and properties. 2017. https://doi.org/10.1088/1742-6596/830/1/012103
Chicago Style (17th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Лаборатория № 22, Sivin D. O. Denis Olegovich, Ananin P. S. Petr Semenovich, Dektyarev S. V. Sergey Valentinovich, Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich, and Shevelev A. E. Aleksey Eduardovich. The Influence of Repetitively Pulsed Plasma Immersion Low Energy Ion Implantation on TiN Coating Formation and Properties. 2017, 2017. https://doi.org/10.1088/1742-6596/830/1/012103.
MLA (9th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Лаборатория № 22, et al. The Influence of Repetitively Pulsed Plasma Immersion Low Energy Ion Implantation on TiN Coating Formation and Properties. 2017, 2017. https://doi.org/10.1088/1742-6596/830/1/012103.