Мониторинг масс-зарядового состава пучковой плазмы модернизированным квадрупольным анализатором в форвакуумной области давлений; Прикладная физика; № 1
| Parent link: | Прикладная физика.— , 1994- № 1.— 2016.— [С. 96-99] |
|---|---|
| Hovedforfatter: | |
| Institution som forfatter: | |
| Andre forfattere: | , |
| Summary: | Заглавие с экрана Представлена конструкция и принцип работы модернизированного квадрупольного анализатора остаточной атмосферы. Модернизация анализатора заключалась в замене ионизатора устройства на извлекающий ионы узел. Учитывая особенности генерации пучковой плазмы и специфику форвакуумного диапазона давлений данная замена в сочетании с подачей на коллектор электронного пучка положительного относительно земли потенциала позволила проводить мониторинг масс-зарядового состава такой плазмы. Показаны результаты исследований масс-зарядового состава ионов пучковой плазмы различных газов, генерируемой непрерывным электронным пучком с током порядка 30 мА при давлении в области его распространения до 10 Па. Установлено, что в пучковой плазме, генерируемой форвакуумным электронным источником наблюдаются только однократно ионизованные атомы напускаемых и остаточных газов независимо от энергии и тока электронного пучка. The design and operation of the modernized quadrupole analyzer of a residual atmosphere are presented. Modernization of the analyzer was made by replace the ionizer device on extracting ions node and applying a positive potential on the electron beam collector. Taking into consideration the characteristics of the beam plasma generation and specificity of forevacuum pressure range, this replacement allows monitoring the mass charge composition of such plasma. Presented are the results of investigations of mass-charge composition of ion beam plasma of various gases generated by the continuous electron beam with a current of about 30 mA at a pressure in its distribution up to 10 Pa. It was found that in the beam plasma generated by an electron beam at forevacuum pressure range have been observed only once ionized atoms of residual and the injection gases independently of the energy and the electron beam current. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Sprog: | russisk |
| Udgivet: |
2016
|
| Fag: | |
| Online adgang: | http://applphys.orion-ir.ru/appl-16/16-1/PF-16-1-96.htm http://elibrary.ru/item.asp?id=25505471 |
| Format: | Electronisk Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=654393 |
MARC
| LEADER | 00000naa0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 654393 | ||
| 005 | 20250911115318.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\19987 | ||
| 035 | |a RU\TPU\network\18828 | ||
| 090 | |a 654393 | ||
| 100 | |a 20170426d2016 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Мониторинг масс-зарядового состава пучковой плазмы модернизированным квадрупольным анализатором в форвакуумной области давлений |d Monitoring the mass-charge spectrum of a beam plasma by means of the modernized quadrupole analyzer in the forevacuum pressure range |f А. В. Тюньков, Ю. Г. Юшков, А. С. Климов | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 99 (8 назв.)] | ||
| 330 | |a Представлена конструкция и принцип работы модернизированного квадрупольного анализатора остаточной атмосферы. Модернизация анализатора заключалась в замене ионизатора устройства на извлекающий ионы узел. Учитывая особенности генерации пучковой плазмы и специфику форвакуумного диапазона давлений данная замена в сочетании с подачей на коллектор электронного пучка положительного относительно земли потенциала позволила проводить мониторинг масс-зарядового состава такой плазмы. Показаны результаты исследований масс-зарядового состава ионов пучковой плазмы различных газов, генерируемой непрерывным электронным пучком с током порядка 30 мА при давлении в области его распространения до 10 Па. Установлено, что в пучковой плазме, генерируемой форвакуумным электронным источником наблюдаются только однократно ионизованные атомы напускаемых и остаточных газов независимо от энергии и тока электронного пучка. | ||
| 330 | |a The design and operation of the modernized quadrupole analyzer of a residual atmosphere are presented. Modernization of the analyzer was made by replace the ionizer device on extracting ions node and applying a positive potential on the electron beam collector. Taking into consideration the characteristics of the beam plasma generation and specificity of forevacuum pressure range, this replacement allows monitoring the mass charge composition of such plasma. Presented are the results of investigations of mass-charge composition of ion beam plasma of various gases generated by the continuous electron beam with a current of about 30 mA at a pressure in its distribution up to 10 Pa. It was found that in the beam plasma generated by an electron beam at forevacuum pressure range have been observed only once ionized atoms of residual and the injection gases independently of the energy and the electron beam current. | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | 1 | |t Прикладная физика |d 1994- | |
| 463 | 1 | |t № 1 |v [С. 96-99] |d 2016 | |
| 510 | 1 | |a Monitoring the mass-charge spectrum of a beam plasma by means of the modernized quadrupole analyzer in the forevacuum pressure range |z eng | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a электроны | |
| 610 | 1 | |a плазменные источники | |
| 610 | 1 | |a форвакуумная область давлений | |
| 610 | 1 | |a диагностика | |
| 610 | 1 | |a плазма-пучок | |
| 610 | 1 | |a ионы плазмы | |
| 610 | 1 | |a масс-зарядовый состав | |
| 675 | |a 533.9.082.74 |v 3 | ||
| 700 | 1 | |a Тюньков |b А. В. |g Андрей Владимирович | |
| 701 | 1 | |a Юшков |b Ю. Г. |c электрофизик |c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук |f 1937- |g Юрий Георгиевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\22023 | |
| 701 | 1 | |a Климов |b А. С. |g Александр Сергеевич | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |b Институт неразрушающего контроля (ИНК) |b Лаборатория № 43 (Разработки малогабаритных бетатронов) |3 (RuTPU)RU\TPU\col\21336 |
| 801 | 1 | |a RU |b 63413507 |c 20141010 | |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20170426 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://applphys.orion-ir.ru/appl-16/16-1/PF-16-1-96.htm | |
| 856 | 4 | 0 | |u http://elibrary.ru/item.asp?id=25505471 |
| 942 | |c CF | ||