Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра общей физики (ОФ), Kiseleva D. V. Darjya Vasiljevna, Yuriev Yu. N. Yuri Nikolaevich, Petrakov Yu. V. Yury Vyacheslavovich, Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich, . . . Erofeev E. V. Evgeny Viktorovich. (2017). Study on the influence of the magnetron power supply on the properties of the Silicon Nitride films. 2017. https://doi.org/10.1088/1742-6596/789/1/012028

Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра общей физики (ОФ), Kiseleva D. V. Darjya Vasiljevna, Yuriev Yu. N. Yuri Nikolaevich, Petrakov Yu. V. Yury Vyacheslavovich, Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich, Korzhenko D. V. Dmitry Vladimirovich, and Erofeev E. V. Evgeny Viktorovich. Study on the Influence of the Magnetron Power Supply on the Properties of the Silicon Nitride Films. 2017, 2017. https://doi.org/10.1088/1742-6596/789/1/012028.

Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ), et al. Study on the Influence of the Magnetron Power Supply on the Properties of the Silicon Nitride Films. 2017, 2017. https://doi.org/10.1088/1742-6596/789/1/012028.