Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра общей физики (ОФ), Kiseleva D. V. Darjya Vasiljevna, Yuriev Yu. N. Yuri Nikolaevich, Petrakov Yu. V. Yury Vyacheslavovich, Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich, . . . Erofeev E. V. Evgeny Viktorovich. (2017). Study on the influence of the magnetron power supply on the properties of the Silicon Nitride films; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 789 : Low temperature Plasma in the Processes of Functional Coating Preparation. 2017. https://doi.org/10.1088/1742-6596/789/1/012028
توثيق أسلوب شيكاغو (الطبعة السابعة عشر)Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра общей физики (ОФ), Kiseleva D. V. Darjya Vasiljevna, Yuriev Yu. N. Yuri Nikolaevich, Petrakov Yu. V. Yury Vyacheslavovich, Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich, Korzhenko D. V. Dmitry Vladimirovich, و Erofeev E. V. Evgeny Viktorovich. Study on the Influence of the Magnetron Power Supply on the Properties of the Silicon Nitride Films; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 789 : Low Temperature Plasma in the Processes of Functional Coating Preparation. 2017, 2017. https://doi.org/10.1088/1742-6596/789/1/012028.
توثيق جمعية اللغة المعاصرة MLA (الإصدار التاسع)Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ), et al. Study on the Influence of the Magnetron Power Supply on the Properties of the Silicon Nitride Films; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 789 : Low Temperature Plasma in the Processes of Functional Coating Preparation. 2017, 2017. https://doi.org/10.1088/1742-6596/789/1/012028.