Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Лаборатория № 22, Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich, Sivin D. O. Denis Olegovich, Bumagina A. I. Anna Ivanovna, Shevelev A. E. Aleksey Eduardovich, Shulepov I. A. Ivan Anisimovich, & Ananin P. S. Petr Semenovich. (2016). Influence of Repetitively Pulsed Negative Bias Parameters on Macroparticle Surface Density; Journal of Industrial Pollution Control; Vol. 32, iss. 2. 2016.
Chicago Style (17th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Лаборатория № 22, Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich, Sivin D. O. Denis Olegovich, Bumagina A. I. Anna Ivanovna, Shevelev A. E. Aleksey Eduardovich, Shulepov I. A. Ivan Anisimovich, and Ananin P. S. Petr Semenovich. Influence of Repetitively Pulsed Negative Bias Parameters on Macroparticle Surface Density; Journal of Industrial Pollution Control; Vol. 32, Iss. 2. 2016, 2016.
MLA引文Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Лаборатория № 22, et al. Influence of Repetitively Pulsed Negative Bias Parameters on Macroparticle Surface Density; Journal of Industrial Pollution Control; Vol. 32, Iss. 2. 2016, 2016.