Tangential cathode magnetic field and substrate bias influence on copper vacuum arc macroparticle content decreasing; Surface and Coatings Technology; Vol. 306, Pt. A : Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB 2015)

Tangential cathode magnetic field and substrate bias influence on copper vacuum arc macroparticle content decreasing; Surface and Coatings Technology; Vol. 306, Pt. A : Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB 2015)

Bibliografiske detaljer
Parent link:	Surface and Coatings Technology Vol. 306, Pt. A : Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB 2015).— 2016.— [P. 21–24]
Corporate Authors:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Лаборатория № 22
Andre forfattere:	Stepanov I. B. Igor Borisovich, Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich, Ananin P. S. Petr Semenovich, Sivin D. O. Denis Olegovich, Shevelev A. E. Aleksey Eduardovich, Zhelomsky S. G. Sergey Gennadjevich
Summary:	Title screen The paper presents the results of an experimental study of accumulation of copper macroparticles (MP) on a negatively biased substrate immersed in DC vacuum arc plasma. The influence of normal and tangential magnetic fields and high-frequency short-pulsed negative bias was investigated. The joint application of a tangential magnetic field and high frequency short-pulsed negative bias provides an effect of MP multifold suppression. With a tangential magnetic field strength of 175 Gs and repetitively pulsed bias (7 μs, 105 p.p.s., −2 kV), total suppression efficiency is 250-fold after 6 min of ion-plasma treatment. For macroparticles with the diameter of less or N1 μm, the efficiency is 3000-fold or 70-fold, respectively. In comparison with an axisymmetric vacuum-arc plasma source, the application of a steered arc ensures a 10-fold reduction in MP density on a substrate immersed in copper vacuum-arc plasma. The possibility of ion implantation using low-energy high-frequency short-pulse plasma immersion by implementing DC vacuum arc plasma is discussed. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Sprog:	engelsk
Udgivet:	2016
Fag:	электронный ресурс труды учёных ТПУ вакуумно-дуговая плазма макрочастицы потенциал смещения медь
Online adgang:	http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2016.04.003
Format:	Electronisk Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=654160

Lignende værker

Tangential Cathode Magnetic Field and Substrate Bias Influence on Copper Vacuum Arc Macroparticle Content Decreasing; The 19th International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2015), November 22-27, 2015, The Empress Hotel, Chiang Mai, Thailand
Udgivet: (2015)

Influence of negative bias pulse parameters on accumulation of macroparticles on the substrate immersed in titanium vacuum arc plasma; Surface and Coatings Technology; Vol. 306, Pt. A : Surface Modification of Materials by Ion Beams [SMMIB2015]
Udgivet: (2016)

Macroparticles number density decreasing on a substrate immersed in vacuum arc plasma at repetitively pulsed biasing; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 12/3
Udgivet: (2014)

Joint influence of steered vacuum arc and negative repetitively pulsed bias on titanium macroparticles suppression; Surface and Coatings Technology; Vol. 355
Udgivet: (2018)

Investigation of Negative Bias Pulse Parameters Influence to Macroparticles Accumulation on Substrate Immersed in Titanium Vacuum Arc Plasma; The 19th International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2015), November 22-27, 2015, The Empress Hotel, Chiang Mai, Thailand
Udgivet: (2015)

A vacuum arc cathode magnetic field and a substrate bias influence on a macroparticle content decreasing; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
Udgivet: (2015)

Control of Vacuum Arc Macroparticles by High-Frequency Short-Pulsed Negative Bias Application; Indian Journal of Science and Technology; Vol. 8, iss. 36
af: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
Udgivet: (2015)

Filtered Vacuum Arc Plasma Application For Ion-Beam and Plasma Material Processing; The 19th International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2015), November 22-27, 2015, The Empress Hotel, Chiang Mai, Thailand
Udgivet: (2015)

Application of a Tangential Magnetic Field and Negative Repetitively Pulsed Bias for Suppression of Vacuum-Arc Copper Macroparticles; Russian Physics Journal; Vol. 59, iss. 6
af: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
Udgivet: (2016)

Joint Influence of Steered Vacuum Arc and Negative Repetitively Pulsed Bias on Macroparticles Suppression; The 19th International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2015), November 22-27, 2015, The Empress Hotel, Chiang Mai, Thailand
Udgivet: (2015)

Control of vacuum arc macroparticles by negative repetitively pulsed biasing; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
Udgivet: (2015)

Joint influence of steered vacuum arc and negative repetitively pulsed bias on titanium macroparticles suppression; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
Udgivet: (2016)

Influence of Repetitively Pulsed Negative Bias Parameters on Macroparticle Surface Density; Journal of Industrial Pollution Control; Vol. 32, iss. 2
Udgivet: (2016)

Structural-Phase State of Copper Substrate Under Surface Treatment by Intense Flux of Ti and Zr Ions; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Udgivet: (2019)

Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец.01.04.20
af: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 2015)

Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.20
af: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 2015)

Aluminium vacuum arc plasma application for intermetallic layers formation using plasma immersion ion implantation method; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 12/3
af: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
Udgivet: (2014)

Influence of the plasma-immersion ion implantation of titanium on the structure, morphology, and composition of the surface layer of Zr–1Nb alloy; Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques; Vol. 11, iss. 2
Udgivet: (2017)

Vacuum-plasma technologies for high-quality surface-treatment applications; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 12-2
Udgivet: (2012)

Физико-технические проблемы монодисперсных систем: сборник научных трудов
Udgivet: (Москва, Изд-во МЭИ, 1988)

Investigation of filtered vacuum arc plasma application for TiAlN and TiSiB coatings deposition using ion beam and plasma material processing; Surface and Coatings Technology; Vol. 296
Udgivet: (2016)

Formation of titanium interlayer by vacuum arc deposition to increase the durability of titanium nitride coatings under thermal cycling conditions; Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques; Vol. 9, iss. 6
Udgivet: (2015)

Разработка модели макрочастиц на основе технологии параллельных вычислений; Технологии Microsoft в теории и практике программирования
af: Остроухов П. А.
Udgivet: (2010)

Крупномасштабная модель инжектора тритиевых макрочастиц для международного токамака ИТЭР; Приборы и техника эксперимента; № 1
Udgivet: (2002)

Динамика макрочастиц в пылевой плазме в условиях микрогравитации (первые эксперименты на МКС); Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 123, № 4
Udgivet: (2003)

Экранировка сильнозаряженных макрочастиц в жидких растворах электролитов; Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 123, вып. 4
af: Бункин Н. Ф.
Udgivet: (2003)

The phase and elemental co mposition of fil tered arc evaporated TiAlN coatings using separate cathodes; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
Udgivet: (2016)

Диффузия макрочастиц и критерии фазовых переходов для пылевых структур в слабоионизированной плазме; Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 121, вып. 1
af: Ваулина О. С.
Udgivet: (2002)

Разработка модели макрочастиц на основе технологии параллельных вычислений; Технологии Microsoft в теории и практике программирования
af: Остроухов П. А.
Udgivet: (2011)

Анализ парной корреляции макрочастиц в пылевой плазме: численное моделирование и эксперимент; Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 125, вып. 3
af: Ваулина О. С.
Udgivet: (2004)

Deposition of Cr films by hot target magnetron sputtering on biased substrates; Surface and Coatings Technology; Vol. 350
Udgivet: (2018)

Application of Ti-Al Powder Cathodes for Vacuum-Arc Synthesis of Nitride Coatings; AIP Conference Proceedings; Vol. 2167 : Advanced Materials with Hierarchical Structure for New Technologies and Reliable Structures 2019 (AMHS'19)
Udgivet: (2019)

Моделирование заряженных пучков
af: Рошаль А. С. Анатолий Самуилович
Udgivet: (Москва, Атомиздат, 1979)

Efficient arc sources of gas-discharge plasma in vacuum-plasma production facilities; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 12-2
Udgivet: (2012)

Применение диссипативных разностных схем в нестационарных моделях макрочастиц; Молодежь и современные информационные технологии
af: Пак М. В.
Udgivet: (2004)

Анализ зарядки макрочастиц в приэлектродном слое емкостного высокочастотного разряда; Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 123, вып. 6
Udgivet: (2003)

О влиянии пылевых частиц на свойства низкотемпературной плазмы; Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 123, вып. 3
af: Олеванов М. А.
Udgivet: (2003)

High-intensity ion beams with submillisecond duration for synergistic of ion implantation and energy impact on the surface; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE); International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows (16th CMM)
Udgivet: (2022)

High-speed thermal plasma deposition of copper coating on aluminum surface with strong substrate adhesion and low transient resistivity; Surface and Coatings Technology; Vol. 292
Udgivet: (2016)

Физико-технические проблемы изучения монодисперсных систем: сборник научных трудов
Udgivet: (Москва, Изд-во МЭИ, 1987)