Microstructure of amorphous copper-carbon thin films formed by plasma-enhanced chemical vapor deposition
| Parent link: | High Temperature Material Processes: An International Quarterly of High-Technology Plasma Processes.— , 1997- Vol. 20, iss. 2.— 2016.— [P. 115-126] |
|---|---|
| Tác giả của công ty: | Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Лаборатория № 1 |
| Tác giả khác: | Astashinskaya M. V. Marina Viktorovna, Astashinsky V. V. Valentin Valentinovich, Kvasov N. T. Nikolay Trafimovich, Uglov V. V. Vladimir Vasilievich |
| Tóm tắt: | Title screen The microstructure of copper-carbon Cu/a-C:H nanocomposites formed by plasma-enhanced chemical vapor deposition has been determined by transmission electron microscopy. The formation of spherical copper inclusions embedded in the matrix of amorphous carbon was observed. The average size of the copper inclusions decreases from 16 to 5 nm on increasing the carbon concentration from 8 to 75 at.%. A description of the copper clusters formation processes in the reactor chamber was proposed. The results of calculation of the average size of copper clusters are in good agreement with the observed size of the copper inclusions formed in nanocomposite thin films. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Ngôn ngữ: | Tiếng Anh |
| Được phát hành: |
2016
|
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | http://dx.doi.org/10.1615/HighTempMatProc.2016017797 |
| Định dạng: | Điện tử Chương của sách |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=653374 |
Những quyển sách tương tự
Исследования в области осаждения металлов: сборник статей
Được phát hành: (Вильнюс, 1988)
Được phát hành: (Вильнюс, 1988)
О зависимости структурных параметров пленок Co от температуры подложки в процессе химического газофазного осаждения; Современное состояние естественных и технических наук
Bằng: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Được phát hành: (2014)
Bằng: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Được phát hành: (2014)
Influence of synthesis conditions on the crystallinity of hydroxyapatite obtained by chemical deposition; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 156 : Materials and Technologies of New Generations in Modern Materials Science
Được phát hành: (2016)
Được phát hành: (2016)
Исследование применения высокочастотного тока в установке производства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 3
Bằng: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Được phát hành: (2010)
Bằng: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Được phát hành: (2010)
Осаждение из газовой фазы: сокр. пер. с англ.
Được phát hành: (Москва, Атомиздат, 1970)
Được phát hành: (Москва, Атомиздат, 1970)
Сравнительный анализ свойств покрытий на основе углерода, полученных различными PVD и CVD методами осаждения; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине (ФТПНПМ-2019)
Được phát hành: (2019)
Được phát hành: (2019)
Химическое осаждение металлов из водных растворов
Được phát hành: (Минск, Университетское, 1987)
Được phát hành: (Минск, Университетское, 1987)
Металлизация диэлектриков
Bằng: Ильин В. А. Виталий Алексеевич
Được phát hành: (Ленинград, Машиностроение, 1977)
Bằng: Ильин В. А. Виталий Алексеевич
Được phát hành: (Ленинград, Машиностроение, 1977)
Synthesis of bimodal carbon structures via metal dusting of Ni-based alloys; Materials Letters; Vol. 201
Được phát hành: (2017)
Được phát hành: (2017)
Исследования в области осаждения металлов: материалы XVIII республиканской конфенции электрохимиков ЛитССР, 17 ноября 1981 г., Вильнюс
Được phát hành: (Вильнюс, [Б. и.], 1981)
Được phát hành: (Вильнюс, [Б. и.], 1981)
Исследования в области осаждения металлов: материалы XVII республиканской конфенции электрохимиков ЛитССР, октябрь 1979 г., Вильнюс
Được phát hành: (Вильнюс, [Б. и.], 1979)
Được phát hành: (Вильнюс, [Б. и.], 1979)
Kinetics of plasma-assisted chemical vapor deposition combined with inductively excited RF discharge and properties of a-C:H:SiOx coatings; Vacuum; Vol. 199
Được phát hành: (2022)
Được phát hành: (2022)
Исследования в области осаждения металлов: материалы к XVI республиканской конфенции электрохимиков ЛитССР, октябрь 1978 г., Вильнюс
Được phát hành: (Вильнюс, [Б. и.], 1978)
Được phát hành: (Вильнюс, [Б. и.], 1978)
Plasma chemistry IV
Được phát hành: (Berlin, Springer-Verlag, 1983)
Được phát hành: (Berlin, Springer-Verlag, 1983)
Порошки ZrO2(Y2O3), полученные химическим осаждением и плазмохимическим синтезом, и материалы на их основе; Современные техника и технологии; Т. 3
Bằng: Асташова Т. А.
Được phát hành: (2013)
Bằng: Асташова Т. А.
Được phát hành: (2013)
Осаждение золота в виде фольги; Химия и химическая технология в XXI веке; Т. 1
Bằng: Хныкин П. А.
Được phát hành: (2021)
Bằng: Хныкин П. А.
Được phát hành: (2021)
Графен для повышения водородостойкости циркониевого сплава Е110; Перспективные материалы конструкционного и функционального назначения
Bằng: Сорокин Д. В.
Được phát hành: (2024)
Bằng: Сорокин Д. В.
Được phát hành: (2024)
Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
Bằng: Родионов Ю. А.
Được phát hành: (Санкт-Петербург, Лань, 2023)
Bằng: Родионов Ю. А.
Được phát hành: (Санкт-Петербург, Лань, 2023)
Микроструктура и свойства пленок Co, формируемых методом химического осаждения; Высокие технологии в современной науке и технике; Т. 1
Bằng: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Được phát hành: (2013)
Bằng: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Được phát hành: (2013)
Исследование морфологии и размеров частиц порошков ZrO[2], полученных методом химического осаждения из растворов; Перспективы развития фундаментальных наук
Bằng: Леонов А. А. Андрей Андреевич
Được phát hành: (2015)
Bằng: Леонов А. А. Андрей Андреевич
Được phát hành: (2015)
Preparation of NiO-CuO-MgO fine powders by ultrasonic spray pyrolysis for carbon nanofibers synthesis; Chemical Physics Letters; Vol. 684
Được phát hành: (2017)
Được phát hành: (2017)
Разработка теоретических основ и практических способов химического осаждения функциональных никелевых покрытий: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук; спец. 02.00.05
Bằng: Прусов Ю. В. Юрий Васильевич
Được phát hành: (Днепропетровск, [Б. и.], 1990)
Bằng: Прусов Ю. В. Юрий Васильевич
Được phát hành: (Днепропетровск, [Б. и.], 1990)
Properties of the Zirconia Nanopowders Synthesized by the Chemical Precipitation Method after Long-Time Keeping; AIP Conference Proceedings; Vol. 2051 : Advanced Materials with Hierarchical Structure for New Technologies and Reliable Structures 2018 (AMHS’18)
Bằng: Klevtsova E. V. Ekaterina
Được phát hành: (2018)
Bằng: Klevtsova E. V. Ekaterina
Được phát hành: (2018)
Application of glancing angle deposition for manipulation of thin calcium phosphapte coatings morphology; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Bằng: Prosolov K. A. Konstantin Alexandrovich
Được phát hành: (2019)
Bằng: Prosolov K. A. Konstantin Alexandrovich
Được phát hành: (2019)
Исследование получения нанокристаллического диоксида церия методом химического осаждения; Химия и химическая технология в XXI веке
Bằng: Иваненко А. Н.
Được phát hành: (2019)
Bằng: Иваненко А. Н.
Được phát hành: (2019)
Effect of replacement of condenser tubes on characteristics of NPP with VVER-800 reactor; Бутаковские чтения
Bằng: Khalifa M. S. K. M.
Được phát hành: (2022)
Bằng: Khalifa M. S. K. M.
Được phát hành: (2022)
Получение керамических пористых мембран на основе оксида алюминия; Вестник Томского государственного университета. Химия; № 20
Bằng: Гурьянов Д. А. Денис Андреевич
Được phát hành: (2020)
Bằng: Гурьянов Д. А. Денис Андреевич
Được phát hành: (2020)
Химическое осаждение из газовой фазы, вызываемое ВЧ разрядом: перевод № 18/ЭТ-1269
Bằng: Стерлинг Х.
Được phát hành: (Москва, Изд-во ЦНИИТЭиНИ, 1967)
Bằng: Стерлинг Х.
Được phát hành: (Москва, Изд-во ЦНИИТЭиНИ, 1967)
Принципы формирования и технологии нанесения износостойких покрытий режущего инструмента учебное пособие
Bằng: Табаков В. П.
Được phát hành: (Ульяновск, УлГТУ, 2023)
Bằng: Табаков В. П.
Được phát hành: (Ульяновск, УлГТУ, 2023)
Исследование технологических процессов осаждения урана; Химия и химическая технология в XXI веке
Bằng: Дюндик А. С.
Được phát hành: (2020)
Bằng: Дюндик А. С.
Được phát hành: (2020)
Применение бадинского цеолита для удаления фосфатов из сточных вод; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 322, № 3 : Химия
Bằng: Назаренко О. Б. Ольга Брониславовна
Được phát hành: (2013)
Bằng: Назаренко О. Б. Ольга Брониславовна
Được phát hành: (2013)
Влияние температуры испарителя на магнитные свойства пленок кобальта, нанесенных методом химического осаждения из газовой фазы (MOCVD); Современные техника и технологии; Т. 2
Bằng: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Được phát hành: (2013)
Bằng: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Được phát hành: (2013)
Деформационные характеристики и разрушение пористой керамики ZRO2(MEXOY); Современное материаловедение: материалы и технологии новых поколений
Bằng: Степанюк А. В.
Được phát hành: (2014)
Bằng: Степанюк А. В.
Được phát hành: (2014)
Осаждение радия 226 электрохимическим способом; Химия и химическая технология в XXI веке; Т. 1
Bằng: Капитонов А. Б.
Được phát hành: (2022)
Bằng: Капитонов А. Б.
Được phát hành: (2022)
Clean and efficient extraction of copper ions and deposition as metal; Resource-Efficient Technologies; Vol. 1, Iss. 1
Bằng: Elsentriecy H. H. Hassan
Được phát hành: (2015)
Bằng: Elsentriecy H. H. Hassan
Được phát hành: (2015)
Физико-химия термического окисления кремния в присутствии примесей
Bằng: Миттова И. Я. Ирина Яковлевна
Được phát hành: (Воронеж, Изд-во Воронежского гос. ун-та, 1987)
Bằng: Миттова И. Я. Ирина Яковлевна
Được phát hành: (Воронеж, Изд-во Воронежского гос. ун-та, 1987)
Рентгеноструктурные исследования пленок Co, полученных методом CVD; Высокие технологии в современной науке и технике
Bằng: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Được phát hành: (2014)
Bằng: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Được phát hành: (2014)
Изучение параметров разложения отходов с содержанием редкоземельных металлов; Изотопы: технологии, материалы и применение
Bằng: Меркель К. И.
Được phát hành: (2018)
Bằng: Меркель К. И.
Được phát hành: (2018)
Методы получения нанопорошков (обзор); Глобальный научный потенциал; № 1 (46)
Bằng: Макаров С. В. Сергей Викторович
Được phát hành: (2015)
Bằng: Макаров С. В. Сергей Викторович
Được phát hành: (2015)
Химическое газофазное осаждение тонких пленок оксида алюминия с использованием изопропилата алюминия в качестве прекурсора; Письма в Журнал технической физики; Т. 51, № 13
Được phát hành: (2025)
Được phát hành: (2025)
Những quyển sách tương tự
-
Исследования в области осаждения металлов: сборник статей
Được phát hành: (Вильнюс, 1988) -
О зависимости структурных параметров пленок Co от температуры подложки в процессе химического газофазного осаждения; Современное состояние естественных и технических наук
Bằng: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Được phát hành: (2014) -
Influence of synthesis conditions on the crystallinity of hydroxyapatite obtained by chemical deposition; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 156 : Materials and Technologies of New Generations in Modern Materials Science
Được phát hành: (2016) -
Исследование применения высокочастотного тока в установке производства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 3
Bằng: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Được phát hành: (2010) -
Осаждение из газовой фазы: сокр. пер. с англ.
Được phát hành: (Москва, Атомиздат, 1970)