Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ), Borduleva A. O. Alena Olegovna, Bleykher G. A. Galina Alekseevna, Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich, & Krivobokov V. P. Valery Pavlovich. (2016). Magnetron sputtering with hot solid target: Thermal processes and erosion; Acta Polytechnica; Vol. 56, № 6. 2016. https://doi.org/10.14311/AP.2016.56.0425
Citação do estilo Chicago (17ª ed.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ), Borduleva A. O. Alena Olegovna, Bleykher G. A. Galina Alekseevna, Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich, e Krivobokov V. P. Valery Pavlovich. Magnetron Sputtering with Hot Solid Target: Thermal Processes and Erosion; Acta Polytechnica; Vol. 56, № 6. 2016, 2016. https://doi.org/10.14311/AP.2016.56.0425.
Citação MLA (9ª ed.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ), et al. Magnetron Sputtering with Hot Solid Target: Thermal Processes and Erosion; Acta Polytechnica; Vol. 56, № 6. 2016, 2016. https://doi.org/10.14311/AP.2016.56.0425.