Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ), Borduleva A. O. Alena Olegovna, Bleykher G. A. Galina Alekseevna, Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich, & Krivobokov V. P. Valery Pavlovich. (2016). Magnetron sputtering with hot solid target: Thermal processes and erosion. 2016. https://doi.org/10.14311/AP.2016.56.0425
Chicago Style (17th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ), Borduleva A. O. Alena Olegovna, Bleykher G. A. Galina Alekseevna, Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich, and Krivobokov V. P. Valery Pavlovich. Magnetron Sputtering with Hot Solid Target: Thermal Processes and Erosion. 2016, 2016. https://doi.org/10.14311/AP.2016.56.0425.
MLA (9th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ), et al. Magnetron Sputtering with Hot Solid Target: Thermal Processes and Erosion. 2016, 2016. https://doi.org/10.14311/AP.2016.56.0425.