Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ), Borduleva A. O. Alena Olegovna, Bleykher G. A. Galina Alekseevna, Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich, & Krivobokov V. P. Valery Pavlovich. (2016). Magnetron sputtering with hot solid target: Thermal processes and erosion; Acta Polytechnica; Vol. 56, № 6. 2016. https://doi.org/10.14311/AP.2016.56.0425

Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ), Borduleva A. O. Alena Olegovna, Bleykher G. A. Galina Alekseevna, Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich, and Krivobokov V. P. Valery Pavlovich. Magnetron Sputtering with Hot Solid Target: Thermal Processes and Erosion; Acta Polytechnica; Vol. 56, № 6. 2016, 2016. https://doi.org/10.14311/AP.2016.56.0425.

Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ), et al. Magnetron Sputtering with Hot Solid Target: Thermal Processes and Erosion; Acta Polytechnica; Vol. 56, № 6. 2016, 2016. https://doi.org/10.14311/AP.2016.56.0425.