Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Лаборатория № 1, Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ), Псахье С. Г. Сергей Григорьевич, Михайлов М. Н. Михаил Николаевич, Легостаев В. Н. Виктор Никифорович, Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович, . . . Лаук А. Л. Александр Лукьянович. Установка ионно-плазменной обработки изделий.
Chicago Style (17th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Лаборатория № 1, et al. Установка ионно-плазменной обработки изделий.
MLA (9th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Лаборатория № 1, et al. Установка ионно-плазменной обработки изделий.