Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ), Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich, Bleykher G. A. Galina Alekseevna, Krivobokov V. P. Valery Pavlovich, & Koyshybaeva Zh. K. Zhanymgul Koyshybaykyzy. (2016). High-rate magnetron sputtering with hot target. 2016. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2016.06.096
Style de citation Chicago (17e éd.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ), Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich, Bleykher G. A. Galina Alekseevna, Krivobokov V. P. Valery Pavlovich, et Koyshybaeva Zh. K. Zhanymgul Koyshybaykyzy. High-rate Magnetron Sputtering with Hot Target. 2016, 2016. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2016.06.096.
Style de citation MLA (9e éd.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ), et al. High-rate Magnetron Sputtering with Hot Target. 2016, 2016. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2016.06.096.