Control of Vacuum Arc Macroparticles by High-Frequency Short-Pulsed Negative Bias Application; Indian Journal of Science and Technology; Vol. 8, iss. 36

Control of Vacuum Arc Macroparticles by High-Frequency Short-Pulsed Negative Bias Application; Indian Journal of Science and Technology; Vol. 8, iss. 36

書誌詳細
Parent link:	Indian Journal of Science and Technology.— , 2007- Vol. 8, iss. 36.— 2015.— [90573, 9 p.]
第一著者:	Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
団体著者:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Лаборатория № 22
その他の著者:	Stepanov I. B. Igor Borisovich
要約:	Title screen Paper is devoted to a brief review of the investigation of short negative bias pulse application for titanium and aluminum macroparticles control on the substrate immersed in vacuum arc plasma. Methods/Statistical Analysis: The vacuum-arc plasma generator with a titanium or aluminum cathode which operated in a DC mode with the arc current 100 A was set on the side flange of the vacuum chamber. A high-frequency short-pulse negative bias generator was used to carry out the investigations. The parameters of the generator are: pulse duration 1–9 ?s, pulse repetition rates 105 pulse per second (p.p.s.), negative pulse amplitude 0.5–3.5 kV. The MP densities on the substrate surface were studied using optical and electron (Hitachi TM–1000 and Hitachi TM–S 3400 N) microscopes. Findings: It was found that the decreasing of MP surface number density on a negatively biased substrate is determined by the pulse amplitude, pulse duration, pulse frequency, plasma density and processing time. A possibility to reduce the macroparticle number density more than 1000 fold has been demonstrated. Applications/Improvements: The application of high voltage highfrequency short-pulse negative bias to a substrate immersed in vacuum arc plasma provides the possibility of the multiple decrease of MP number surface density and opens a possibility for realization plasma immersion metal ion implantation technology using DC vacuum arc plasma.
言語:	英語
出版事項:	2015
主題:	электронный ресурс труды учёных ТПУ макрочастицы металлическая плазма вакуумно-дуговые методы
オンライン･アクセス:	http://dx.doi.org/10.17485/ijst%2F2015%2Fv8i36%2F90573
フォーマット:	電子媒体図書の章
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=652218

類似資料

Macroparticles number density decreasing on a substrate immersed in vacuum arc plasma at repetitively pulsed biasing; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 12/3
出版事項: (2014)

Joint influence of steered vacuum arc and negative repetitively pulsed bias on titanium macroparticles suppression; Surface and Coatings Technology; Vol. 355
出版事項: (2018)

Application of a Tangential Magnetic Field and Negative Repetitively Pulsed Bias for Suppression of Vacuum-Arc Copper Macroparticles; Russian Physics Journal; Vol. 59, iss. 6
著者:: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
出版事項: (2016)

Influence of negative bias pulse parameters on accumulation of macroparticles on the substrate immersed in titanium vacuum arc plasma; Surface and Coatings Technology; Vol. 306, Pt. A : Surface Modification of Materials by Ion Beams [SMMIB2015]
出版事項: (2016)

Investigation of Negative Bias Pulse Parameters Influence to Macroparticles Accumulation on Substrate Immersed in Titanium Vacuum Arc Plasma; The 19th International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2015), November 22-27, 2015, The Empress Hotel, Chiang Mai, Thailand
出版事項: (2015)

Control of vacuum arc macroparticles by negative repetitively pulsed biasing; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
出版事項: (2015)

Tangential cathode magnetic field and substrate bias influence on copper vacuum arc macroparticle content decreasing; Surface and Coatings Technology; Vol. 306, Pt. A : Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB 2015)
出版事項: (2016)

Tangential Cathode Magnetic Field and Substrate Bias Influence on Copper Vacuum Arc Macroparticle Content Decreasing; The 19th International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2015), November 22-27, 2015, The Empress Hotel, Chiang Mai, Thailand
出版事項: (2015)

Joint influence of steered vacuum arc and negative repetitively pulsed bias on titanium macroparticles suppression; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
出版事項: (2016)

Joint Influence of Steered Vacuum Arc and Negative Repetitively Pulsed Bias on Macroparticles Suppression; The 19th International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2015), November 22-27, 2015, The Empress Hotel, Chiang Mai, Thailand
出版事項: (2015)

Filtered Vacuum Arc Plasma Application For Ion-Beam and Plasma Material Processing; The 19th International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2015), November 22-27, 2015, The Empress Hotel, Chiang Mai, Thailand
出版事項: (2015)

A vacuum arc cathode magnetic field and a substrate bias influence on a macroparticle content decreasing; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
出版事項: (2015)

Aluminium vacuum arc plasma application for intermetallic layers formation using plasma immersion ion implantation method; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 12/3
著者:: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
出版事項: (2014)

High-Frequency Short-Pulsed Metal Plasma-Immersion Ion Implantation Using Filtered DC Vacuum-Arc Plasma (Part I); 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
著者:: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
出版事項: (2004)

High-Frequency Short-Pulsed Metal Plasma-Immersion Ion Implantation Using Filtered DC Vacuum-Arc Plasma (Part II); 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
著者:: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
出版事項: (2004)

Influence of Repetitively Pulsed Negative Bias Parameters on Macroparticle Surface Density; Journal of Industrial Pollution Control; Vol. 32, iss. 2
出版事項: (2016)

Influence of Bias Parameters and Plasma Density on Vacuum Arc Macroparticle Accumulation; Materials and Manufacturing Processes; Vol. 30, iss. 12
著者:: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
出版事項: (2015)

Formation of Wear-Resistant TiN and (Ti1-x, Alx)N Coatings Using DC Filtered Vacuum Arc Plasma; 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
出版事項: (2004)

Формирование ленточных и псевдоленточных пучков ионов металлов и плазмы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.20
著者:: Сивин Д. О. Денис Олегович
出版事項: (Томск, 2010)

Применение тангенциального магнитного поля и импульсно-периодического потенциала смещения для подавления медных макрочастиц вакуумной дуги; Известия вузов. Физика; Т. 59, № 6
著者:: Рябчиков А. И. Александр Ильич
出版事項: (2016)

Источник псевдоленточных пучков ионов металлов; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 316, № 4: Энергетика
著者:: Рябчиков А. И. Александр Ильич
出版事項: (2010)

Формирование ленточных и псевдоленточных пучков ионов металлов и плазмы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.20
著者:: Сивин Д. О. Денис Олегович
出版事項: (Томск, 2010)

Influence of the plasma-immersion ion implantation of titanium on the structure, morphology, and composition of the surface layer of Zr–1Nb alloy; Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques; Vol. 11, iss. 2
出版事項: (2017)

Формирование ленточных и псевдоленточных пучков ионов металлов и плазмы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.20
著者:: Сивин Д. О. Денис Олегович
出版事項: (Томск, 2010)

Синтез покрытий TiAlSiN вакуумно-дуговым методом и их основные характеристики; Материалы и технологии новых поколений в современном материаловедении
著者:: Куренбай А.
出版事項: (2016)

Синтез и свойства многослойных и градиентных покрытий; Современные технологии и материалы новых поколений
著者:: Крысина О. В.
出版事項: (2017)

Свойства покрытий TiAlN, полученных методом вакуумно-дугового испарения; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине (ФТПНПМ-2019)
著者:: Гусс Л. Е.
出版事項: (2019)

Titanium Macroparticle Fraction Suppression with Steered Arc And Negative Pulse Biasing; Journal of Industrial Pollution Control; Vol. 32, iss. 2
出版事項: (2016)

Модификация поверхностных слоёв титана при ионной имплантации алюминия; Радиационная физика и химия неорганических материалов. РФХ - 2003
出版事項: (2003)

Разработка и исследование источника ускоренных ионов и плазмы на основе непрерывного вакуумно-дугового разряда и систем очистки плазмы от микрокапельной фракции: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
著者:: Степанов И. Б. Игорь Борисович
出版事項: (Томск, 1998)

Свойства ZRO2 и TIO2 покрытий, полученных методом плазменно-ассистированного дугового напыления на циркониевом сплаве Э110; Журнал технической физики; Т. 85, вып. 2
出版事項: (2015)

Efficient arc sources of gas-discharge plasma in vacuum-plasma production facilities; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 12-2
出版事項: (2012)

Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец.01.04.20
著者:: Бумагина А. И. Анна Ивановна
出版事項: (Томск, [Б. и.], 2015)

Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.20
著者:: Бумагина А. И. Анна Ивановна
出版事項: (Томск, [Б. и.], 2015)

Нитридные покрытия, получаемые вакуумно-дуговым методом с помощью порошковых катодов; Современные техника и технологии; Т. 2
著者:: Гуммер З. И.
出版事項: (2008)

Физико-технические проблемы монодисперсных систем: сборник научных трудов
出版事項: (Москва, Изд-во МЭИ, 1988)

High-frequency short-pulsed bias source for the ion-plasma material treatment; 10th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows, Tomsk, 19-24 September 2010
著者:: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
出版事項: (2010)

Теплотехнические процессы в ЭТО и свойства применяемых материалов: сборник научных трудов
出版事項: (Москва, Энергоатомиздат, 1986)

Исследование влияния режимов осаждения пленок алмазоподобного углерода на их физико-механические характеристики; Прикладная физика; № 6
出版事項: (2021)

High-frequency short-pulsed metal plasma-immersion ion implantation using filtered DC vacuum-arc plasma. (Part 2); 7th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows (Tomsk, Russia, 25-30 July 2004)
著者:: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
出版事項: (2004)