Research of reactive ion and plasma-chemical etching effect on diamond coating surface morphology; AIP Conference Proceedings; Vol. 1772 : Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2016)

Research of reactive ion and plasma-chemical etching effect on diamond coating surface morphology; AIP Conference Proceedings; Vol. 1772 : Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2016)

מידע ביבליוגרפי
Parent link:	AIP Conference Proceedings Vol. 1772 : Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2016).— 2016.— [040007, 5 p.]
מחבר ראשי:	Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
מחבר תאגידי:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Лаборатория № 1
מחברים אחרים:	Linnik S. A. Stepan Andreevich, Gaydaychuk A. V. Alexander Valerievich
סיכום:	Title screen The effect of treatment by reactive ion etching in an argon atmosphere, and hydrogen plasma etching in a glow discharge plasma on the surface of the diamond films was investigated. Diamond films were deposited by the Chemical Vapor Deposition method on the hard alloy VK-8 substrates. The crystallites direction under the influence of argon ion beam processing was changed by 45 degrees from the original. The surface morphology becomes more developed (an average value of 20%) by etching in a glow discharge plasma in an atmosphere of hydrogen. Raman spectroscopy, Scanning Electron Microscope and Atomic Force Microscopy were used to determine the phase and microstructure composition of deposited films. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
שפה:	אנגלית
יצא לאור:	2016
סדרה:	High energy processes and external exposure of materials
נושאים:	электронный ресурс труды учёных ТПУ ионное травление плазмохимическое травление алмазные покрытия поверхности морфология алмазные пленки химическое осаждение плазма тлеющие разряды сканирующая электронная микроскопия атомно-силовая микроскопия фазовый состав микроструктуры
גישה מקוונת:	http://dx.doi.org/10.1063/1.4964566 http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35005
פורמט:	אלקטרוני Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=652125

פריטים דומים

The Research of Diamond Coatings Morphology Evolution under the Action of Reactive Ion Etching in Perpendicular Direction; Key Engineering Materials; Vol. 712 : Advanced Materials for Technical and Medical Purpose (AMTMP 2016)
מאת: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
יצא לאור: (2016)

Исследование воздействия реактивного ионного и плазмохимического травления на морфологию поверхности алмазных покрытий; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
מאת: Охотников В. В. Виталий Владимирович
יצא לאור: (2016)

Методы получения и исследования наноматериалов и наноструктур. Лабораторный практикум по нанотехнологиям: учебное пособие
יצא לאור: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2013)

Highly selective deposition of CVD diamond on si wafers by using a combined technique of photolithography and ion etching; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
מאת: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
יצא לאור: (2016)

Получение и исследование наноструктур. Лабораторный практикум по нанотехнологиям: учебное пособие
יצא לאור: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011)

Получение и исследование наноструктур: лабораторный практикум по нанотехнологиям
יצא לאור: (Москва, Бином ЛЗ, 2010)

Основы сканирующей зондовой микроскопии: учебное пособие для студентов старших курсов высших учебных заведений
מאת: Миронов В. Л. Виктор Леонидович
יצא לאור: (Нижний Новгород, ИФМ РАН, 2004)

Методы сканирующей зондовой микроскопии при исследовании структуры и свойств органических материалов
מאת: Набиуллин И. Р.
יצא לאור: (Уфа, БГПУ имени М. Акмуллы, 2016)

Influence of Cobalt on the Adhesion Strength of Polycrystalline Diamond Coatings on WC–Co Hard Alloys; Technical Physics; Vol. 63, iss. 2
מאת: Linnik S. A. Stepan Andreevich
יצא לאור: (2018)

Correlation between surface properties and wettability of multi-scale structured biocompatible surfaces; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 98 : Interdisciplinary Problems of Nanotechnology, Biomedicine and Nanotoxicology (Nanobiotech 2015)
יצא לאור: (2015)

The peculiarities of CVD diamond coatings synthesis in abnormal glow discharge plasma using repetitively-pulsed mode; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 830 : Energy Fluxes and Radiation Effects 2016
מאת: Linnik S. A. Stepan Andreevich
יצא לאור: (2017)

High-temperature oxidation resistance of Ti-implanted E110 alloy; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 597 : Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2019)
יצא לאור: (2019)

Т. 2: Технологические аспекты; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий
יצא לאור: (2011)

Основы зондовых технологий методическое пособие
מאת: Корнилов В. М.
יצא לאור: (Уфа, БГПУ имени М. Акмуллы, 2013)

Quality Estimation of Dry Grinding of Skiving Cutters With Organic Bonding Diamond Wheels; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 142 : Innovative Technologies in Engineering
יצא לאור: (2016)

The Effect of Doping on the Electrophysical Properties of Polycrystalline Diamond Films Deposited from an Abnormal Glow Discharge; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 652 : Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2015)
יצא לאור: (2015)

Микроскопические методы исследования материалов
מאת: Кларк Э. Р.
יצא לאור: (Москва, Техносфера, 2007)

Electrical and photoelectric properties of polycrystalline diamond films deposited from an abnormal glow discharge; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 552: International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2014), 21–26 September 2014, Tomsk, Russia
יצא לאור: (2014)

Synthesis of Polycrystalline Diamond Films in Abnormal Glow Discharge and their Properties; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 652 : Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2015)
יצא לאור: (2015)

Composite fluoropolymer piezoelectric membranes for reconstructive surgery; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 1611 : Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2020)
יצא לאור: (2020)

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие для вузов
מאת: Галперин В. А. Вячеслав Александрович
יצא לאור: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010)

Мезомеханика поведения тонких пленок Cu на подложке при одноосном растяжении и термическом отжиге. Многоуровневый подход; Физическая мезомеханика; Т. 8, № 4
יצא לאור: (2005)

The peculiarities of CVD diamond coatings synthesis in abnormal glow discharge plasma using repetitively-pulsed mode; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
מאת: Linnik S. A. Stepan Andreevich
יצא לאור: (2016)

Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
מאת: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
יצא לאור: (Москва, Техносфера, 2018)

Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
מאת: Родионов Ю. А.
יצא לאור: (Санкт-Петербург, Лань, 2023)

Особенности влияния ионного азотирования на структуру, прочностные свойства и механизм разрушения аустенитной стали с субмикрокристаллической структурой; Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций
יצא לאור: (2016)

Т. 2; Справочник Шпрингера по нанотехнологиям
יצא לאור: (2010)

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
מאת: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
יצא לאור: (Москва, Техносфера, 2010)

Investigation of the applied voltage influence on the ionizing radiation particles detecting by diamond detectors; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
מאת: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
יצא לאור: (2017)

The processes in film-forming solution based on tetraethoxysilane, phosphoric acid and calcium chloride; AIP Conference Proceedings; Vol. 1772 : Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2016)
יצא לאור: (2016)

Ионное травление микроструктур
מאת: Данилин Б. С. Борис Степанович
יצא לאור: (Москва, Радио, 1979)

Физические методы в исследованиях осаждения и коррозии металлов учебное пособие
מאת: Виноградова С. С.
יצא לאור: (Казань, КНИТУ, 2014)

Scanning Electron Microscopy Study of Drilling Cuttings in Tomsk Oblast Sites; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 272 : Earth science
יצא לאור: (2019)

Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий
מאת: Яфаров Р. К.
יצא לאור: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2009)

Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы: лабораторный практикум
יצא לאור: (Москва, Учеба, 2007)

Плазмохимическое травление материалов электронной техники учебно-методическое пособие для вузов
מאת: Владимирова Л. Н.
יצא לאור: (Воронеж, ВГУ, 2014)

Справочник по микроскопии для нанотехнологии: пер. с англ.
יצא לאור: (Москва, Научный мир, 2011)

Surface Layer Modification of 12Cr1MoV and 30CrMnSiNi2 Steels by Zr+ Ion Beam to Improve the Fatigue Durability; Procedia Technology; Vol. 19 : 8th International Conference Interdisciplinarity in Engineering, INTER-ENG 2014, 9-10 October 2014, Tirgu Mures, Romania
יצא לאור: (2015)

Зондовые методы диагностики структуры и свойств наноматериалов: электронный курс
מאת: Панина А. А. Александра Анатольевна
יצא לאור: (Томск, TPU Moodle, 2017)

The peculiarities of structural modificaions of CVD polycrystalline diamond coatings by heavy doping with boron; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
מאת: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
יצא לאור: (2016)