Research of reactive ion and plasma-chemical etching effect on diamond coating surface morphology

Research of reactive ion and plasma-chemical etching effect on diamond coating surface morphology

Dettagli Bibliografici
Parent link:	AIP Conference Proceedings Vol. 1772 : Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2016).— 2016.— [040007, 5 p.]
Autore principale:	Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
Ente Autore:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Лаборатория № 1
Altri autori:	Linnik S. A. Stepan Andreevich, Gaydaychuk A. V. Alexander Valerievich
Riassunto:	Title screen The effect of treatment by reactive ion etching in an argon atmosphere, and hydrogen plasma etching in a glow discharge plasma on the surface of the diamond films was investigated. Diamond films were deposited by the Chemical Vapor Deposition method on the hard alloy VK-8 substrates. The crystallites direction under the influence of argon ion beam processing was changed by 45 degrees from the original. The surface morphology becomes more developed (an average value of 20%) by etching in a glow discharge plasma in an atmosphere of hydrogen. Raman spectroscopy, Scanning Electron Microscope and Atomic Force Microscopy were used to determine the phase and microstructure composition of deposited films. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Pubblicazione:	2016
Serie:	High energy processes and external exposure of materials
Soggetti:	электронный ресурс труды учёных ТПУ ионное травление плазмохимическое травление алмазные покрытия поверхности морфология алмазные пленки химическое осаждение плазма тлеющие разряды сканирующая электронная микроскопия атомно-силовая микроскопия фазовый состав микроструктуры
Accesso online:	http://dx.doi.org/10.1063/1.4964566 http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35005
Natura:	Elettronico Capitolo di libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=652125

Documenti analoghi

The Research of Diamond Coatings Morphology Evolution under the Action of Reactive Ion Etching in Perpendicular Direction
di: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
Pubblicazione: (2016)

Исследование воздействия реактивного ионного и плазмохимического травления на морфологию поверхности алмазных покрытий
di: Охотников В. В. Виталий Владимирович
Pubblicazione: (2016)

The peculiarities of CVD diamond coatings synthesis in abnormal glow discharge plasma using repetitively-pulsed mode
di: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Pubblicazione: (2017)

Highly selective deposition of CVD diamond on si wafers by using a combined technique of photolithography and ion etching
di: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
Pubblicazione: (2016)

Методы получения и исследования наноматериалов и наноструктур. Лабораторный практикум по нанотехнологиям учебное пособие
Pubblicazione: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2013)

Получение и исследование наноструктур лабораторный практикум по нанотехнологиям
Pubblicazione: (Москва, Бином ЛЗ, 2010)

Получение и исследование наноструктур. Лабораторный практикум по нанотехнологиям учебное пособие
Pubblicazione: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011)

Influence of Cobalt on the Adhesion Strength of Polycrystalline Diamond Coatings on WC–Co Hard Alloys
di: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Pubblicazione: (2018)

Основы сканирующей зондовой микроскопии учебное пособие для студентов старших курсов высших учебных заведений
di: Миронов В. Л. Виктор Леонидович
Pubblicazione: (Нижний Новгород, ИФМ РАН, 2004)

Методы сканирующей зондовой микроскопии при исследовании структуры и свойств органических материалов
di: Набиуллин И. Р.
Pubblicazione: (Уфа, БГПУ имени М. Акмуллы, 2016)

Ионное травление микроструктур
di: Данилин Б. С. Борис Степанович
Pubblicazione: (Москва, Радио, 1979)

High-temperature oxidation resistance of Ti-implanted E110 alloy
Pubblicazione: (2019)

Correlation between surface properties and wettability of multi-scale structured biocompatible surfaces
Pubblicazione: (2015)

Т. 2: Технологические аспекты
Pubblicazione: (2011)

Quality Estimation of Dry Grinding of Skiving Cutters With Organic Bonding Diamond Wheels
Pubblicazione: (2016)

The Effect of Doping on the Electrophysical Properties of Polycrystalline Diamond Films Deposited from an Abnormal Glow Discharge
Pubblicazione: (2015)

The peculiarities of CVD diamond coatings synthesis in abnormal glow discharge plasma using repetitively-pulsed mode
di: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Pubblicazione: (2016)

Electrical and photoelectric properties of polycrystalline diamond films deposited from an abnormal glow discharge
Pubblicazione: (2014)

Synthesis of Polycrystalline Diamond Films in Abnormal Glow Discharge and their Properties
Pubblicazione: (2015)

Основы зондовых технологий методическое пособие
di: Корнилов В. М.
Pubblicazione: (Уфа, БГПУ имени М. Акмуллы, 2013)

Микроскопические методы исследования материалов
di: Кларк Э. Р.
Pubblicazione: (Москва, Техносфера, 2007)

The Effect of Deposition Parameters on Microstructure and Mechanical Properties of Ti-Al-Ta-N coatings
Pubblicazione: (2018)

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях учебное пособие для вузов
di: Галперин В. А. Вячеслав Александрович
Pubblicazione: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010)

Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
di: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Pubblicazione: (Москва, Техносфера, 2018)

Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
di: Родионов Ю. А.
Pubblicazione: (Санкт-Петербург, Лань, 2023)

Мезомеханика поведения тонких пленок Cu на подложке при одноосном растяжении и термическом отжиге. Многоуровневый подход
Pubblicazione: (2005)

The peculiarities of structural modificaions of CVD polycrystalline diamond coatings by heavy doping with boron
di: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
Pubblicazione: (2016)

Investigation of the applied voltage influence on the ionizing radiation particles detecting by diamond detectors
di: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
Pubblicazione: (2017)

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
di: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Pubblicazione: (Москва, Техносфера, 2010)

Особенности влияния ионного азотирования на структуру, прочностные свойства и механизм разрушения аустенитной стали с субмикрокристаллической структурой
Pubblicazione: (2016)

Т. 2
Pubblicazione: (2010)

Features of the Ti-40Nb Alloy Prototype Formation by 3D Additive Method
Pubblicazione: (2016)

Analysis of Magnetron-Deposited Titanium Oxynitride Coatings by Scanning Electron Microscopy and Raman Scattering
Pubblicazione: (2015)

Распыление под действием бомбардировки частицами
Pubblicazione: (Москва, Мир, 1998)

Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий
di: Яфаров Р. К.
Pubblicazione: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2009)

Физические методы в исследованиях осаждения и коррозии металлов учебное пособие
di: Виноградова С. С.
Pubblicazione: (Казань, КНИТУ, 2014)

Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы лабораторный практикум
Pubblicazione: (Москва, Учеба, 2007)

Scanning Electron Microscopy Study of Drilling Cuttings in Tomsk Oblast Sites
Pubblicazione: (2019)

Surface Layer Modification of 12Cr1MoV and 30CrMnSiNi2 Steels by Zr+ Ion Beam to Improve the Fatigue Durability
Pubblicazione: (2015)

Плазмохимическое травление материалов электронной техники учебно-методическое пособие для вузов
di: Владимирова Л. Н.
Pubblicazione: (Воронеж, ВГУ, 2014)