Национальный исследовательский Томский политехнический университет, Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт социально-гуманитарных технологий (ИСГТ), Bozhko I. A. Irina Aleksandrovna, Rybalko E. Evgeniya, Pershukova A. Anastasiya, Fedorishcheva M. V. Marina Vladimirovna, . . . Sergeev V. P. Viktor Petrovich. (2016). Microstructure and properties of nanocomposite Al-Si-N system coatings produced by magnetron sputtering; AIP Conference Proceedings; Vol. 1772: Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2016). 2016. https://doi.org/10.1063/1.4964552
Chicago Style (17th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет, Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт социально-гуманитарных технологий (ИСГТ), Bozhko I. A. Irina Aleksandrovna, Rybalko E. Evgeniya, Pershukova A. Anastasiya, Fedorishcheva M. V. Marina Vladimirovna, Khristenko Yu. Yurii, and Sergeev V. P. Viktor Petrovich. Microstructure and Properties of Nanocomposite Al-Si-N System Coatings Produced by Magnetron Sputtering; AIP Conference Proceedings; Vol. 1772: Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2016). 2016, 2016. https://doi.org/10.1063/1.4964552.
MLA (9th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет, et al. Microstructure and Properties of Nanocomposite Al-Si-N System Coatings Produced by Magnetron Sputtering; AIP Conference Proceedings; Vol. 1772: Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2016). 2016, 2016. https://doi.org/10.1063/1.4964552.