Изотопные эффекты при плазменном распылении титана в кислород-аргоновой среде; Известия вузов. Физика; Т. 58, № 2-2
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 58, № 2-2.— 2015.— [С. 64-67] |
|---|---|
| Auteur principal: | |
| Autres auteurs: | |
| Résumé: | Заглавие с экрана Рассматриваются процессы, протекающие при окислении изотопов титана в низкотемпературной плазме, находящейся в постоянном магнитном поле. Описана экспериментальная установка для нанесения пленок диоксида титана, содержащая плазмохимический реактор и источник плазмы с полым катодом. Исследования проводились при различных давлениях в камере, мощности плазмотрона и величине магнитного поля. С помощью масс-спектрометра непрерывно определяли изотопный состав частиц в различных сечениях плазмы. The processes that occur during the oxidation of titanium isotopes in low-temperature plasma in a constant magnetic field. An experimental setup for the application of titanium dioxide films containing plasma chemical reactor and a plasma source with a hollow cathode. Investigations were carried out at different pressures in the chamber, the plasma torch power and the magnetic field. With a mass spectrometer is continuously determined isotopic composition particles in various sections of the plasma. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Langue: | russe |
| Publié: |
2015
|
| Sujets: | |
| Accès en ligne: | http://elibrary.ru/item.asp?id=25864683 |
| Format: | Électronique Chapitre de livre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=651383 |
MARC
| LEADER | 00000naa0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 651383 | ||
| 005 | 20250320113328.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\16632 | ||
| 035 | |a RU\TPU\network\14758 | ||
| 090 | |a 651383 | ||
| 100 | |a 20161110d2015 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Изотопные эффекты при плазменном распылении титана в кислород-аргоновой среде |d Isotope effects in plasma sputtering of titanium in oxygen-argon atmosphere |f Е. В. Беспала, Р. В. Перекрестов | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: 3 назв.] | ||
| 330 | |a Рассматриваются процессы, протекающие при окислении изотопов титана в низкотемпературной плазме, находящейся в постоянном магнитном поле. Описана экспериментальная установка для нанесения пленок диоксида титана, содержащая плазмохимический реактор и источник плазмы с полым катодом. Исследования проводились при различных давлениях в камере, мощности плазмотрона и величине магнитного поля. С помощью масс-спектрометра непрерывно определяли изотопный состав частиц в различных сечениях плазмы. | ||
| 330 | |a The processes that occur during the oxidation of titanium isotopes in low-temperature plasma in a constant magnetic field. An experimental setup for the application of titanium dioxide films containing plasma chemical reactor and a plasma source with a hollow cathode. Investigations were carried out at different pressures in the chamber, the plasma torch power and the magnetic field. With a mass spectrometer is continuously determined isotopic composition particles in various sections of the plasma. | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | |t Известия вузов. Физика |o научный журнал |f Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ) |d 1957- | ||
| 463 | |t Т. 58, № 2-2 |v [С. 64-67] |d 2015 | ||
| 510 | 1 | |a Isotope effects in plasma sputtering of titanium in oxygen-argon atmosphere |z eng | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a тлеющий разряд | |
| 610 | 1 | |a катоды | |
| 610 | 1 | |a титан | |
| 610 | 1 | |a кислород | |
| 610 | 1 | |a изотопы | |
| 700 | 1 | |a Беспала |b Е. В. |c инженер-физик |c доцент Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук |f 1990- |g Евгений Владимирович |9 23116 | |
| 701 | 1 | |a Перекрестов |b Р. В. |g Роман Вячеславович | |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20161110 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://elibrary.ru/item.asp?id=25864683 | |
| 942 | |c CF | ||