Изотопные эффекты при плазменном распылении титана в кислород-аргоновой среде
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 58, № 2-2.— 2015.— [С. 64-67] |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | |
| Summary: | Заглавие с экрана Рассматриваются процессы, протекающие при окислении изотопов титана в низкотемпературной плазме, находящейся в постоянном магнитном поле. Описана экспериментальная установка для нанесения пленок диоксида титана, содержащая плазмохимический реактор и источник плазмы с полым катодом. Исследования проводились при различных давлениях в камере, мощности плазмотрона и величине магнитного поля. С помощью масс-спектрометра непрерывно определяли изотопный состав частиц в различных сечениях плазмы. The processes that occur during the oxidation of titanium isotopes in low-temperature plasma in a constant magnetic field. An experimental setup for the application of titanium dioxide films containing plasma chemical reactor and a plasma source with a hollow cathode. Investigations were carried out at different pressures in the chamber, the plasma torch power and the magnetic field. With a mass spectrometer is continuously determined isotopic composition particles in various sections of the plasma. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Published: |
2015
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://elibrary.ru/item.asp?id=25864683 |
| Format: | Electronic Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=651383 |
| Summary: | Заглавие с экрана Рассматриваются процессы, протекающие при окислении изотопов титана в низкотемпературной плазме, находящейся в постоянном магнитном поле. Описана экспериментальная установка для нанесения пленок диоксида титана, содержащая плазмохимический реактор и источник плазмы с полым катодом. Исследования проводились при различных давлениях в камере, мощности плазмотрона и величине магнитного поля. С помощью масс-спектрометра непрерывно определяли изотопный состав частиц в различных сечениях плазмы. The processes that occur during the oxidation of titanium isotopes in low-temperature plasma in a constant magnetic field. An experimental setup for the application of titanium dioxide films containing plasma chemical reactor and a plasma source with a hollow cathode. Investigations were carried out at different pressures in the chamber, the plasma torch power and the magnetic field. With a mass spectrometer is continuously determined isotopic composition particles in various sections of the plasma. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
|---|