Aluminum films deposition by magnetron sputtering systems: Influence of target state and pulsing unit; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 741 : Optoelectronics, Photonics, Engineering and Nanostructures (Saint Petersburg OPEN 2016)

Aluminum films deposition by magnetron sputtering systems: Influence of target state and pulsing unit; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 741 : Optoelectronics, Photonics, Engineering and Nanostructures (Saint Petersburg OPEN 2016)

Bibliografske podrobnosti
Parent link:	Journal of Physics: Conference Series Vol. 741 : Optoelectronics, Photonics, Engineering and Nanostructures (Saint Petersburg OPEN 2016).— 2016.— [012193, 5 p.]
Korporativna značnica:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ)
Drugi avtorji:	Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich, Yuryeva A. V. Alena Victorovna, Krivobokov V. P. Valery Pavlovich, Shabunin A. S. Artem Sergeevich, Syrtanov M. S. Maksim Sergeevich, Koyshybaeva Z. K. Zhanymgul Koyshybaykyzy
Izvleček:	Title screen This article reports on technological possibilities of magnetron sputtering systems with solid-state and liquid-phase targets to deposition of aluminum films and its structure. The comparison of deposition rates of magnetron sputtering systems with direct current (DC), midfrequency (MF) and high power pulsed (HiPIMS) supplies is shown. The optical emission spectroscopy indicates a high component of target material ions in discharge gap only to HiPIMS technique. Al films are a (111)-line oriented in DC and MF power supply cases, for high power pulsed unit - aluminum films also have intense (220)-line. The dependence of grain sizes and sputtering technique parameters is obtained.
Jezik:	angleščina
Izdano:	2016
Teme:	электронный ресурс труды учёных ТПУ магнетронные распылительные системы пленки алюминий жидкофазные мишени магнетронное напыление эмиссионная спектроскопия
Online dostop:	http://dx.doi.org/10.1088/1742-6596/741/1/012193
Format:	Elektronski Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=651259

Podobne knjige/članki

Production of tantalum nanopowders by electric explosion of wire; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 741 : Optoelectronics, Photonics, Engineering and Nanostructures (Saint Petersburg OPEN 2016)
od: Pustovalov A. V. Aleksey Vitalievich
Izdano: (2016)

Angular thickness distribution and target utilization for hot Ni target magnetron sputtering; Vacuum; Vol. 160
od: Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
Izdano: (2018)

Магнетронная распылительная система с жидкофазным катодом; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
od: Николаев М. В.
Izdano: (2015)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
od: Рогожников Д. С.
Izdano: (2016)

Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Izdano: (2019)

PLLA scaffold modification using magnetron sputtering of the copper target to provide antibacterial properties; Resource-Efficient Technologies; Vol. 3, iss. 2
Izdano: (2017)

Магнетронная распылительная система на жидкофазных и твёрдых мишенях в сочетании с внешним пучком ускоренных ионов; Современные техника и технологии; Т. 3
od: Жукова М. А.
Izdano: (2007)

The role of thermal processes and target evaporation in formation of self-sputtering mode for copper magnetron sputtering; Vacuum; Vol. 152
Izdano: (2018)

Investigation of deposition efficiency increase mechanisms using pulsed magnetron sputteringsystems with hot target; Plasma Physics and Technology Journal; Vol. 3, № 1
Izdano: (2016)

Controlling the Properties of Metal Films Deposited Using Magnetron Sputtering Systems with Evaporative Targets; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Izdano: (2019)

Fabrication and physico-mechanical properties of thin magnetron sputter deposited silver-containing hydroxyapatite films; Applied Surface Science; Vol. 360, pt. B
Izdano: (2015)

Hybrid biocomposites based on titania nanotubes and a hydroxyapatite coating deposited by RF-magnetron sputtering: Surface topography, structure, and mechanical properties; Applied Surface Science; Vol. 426
Izdano: (2017)

Aluminum films deposition by magnetron sputtering systems:Influence of target state and pulsing unit; Optoelectronics, Photonics, Engineering and Nanostructures, OPEN 2016
Izdano: (2016)

Production of tantalum nanopowders by electric explosion of wire; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 741 : Optoelectronics, Photonics, Engineering and Nanostructures (Saint Petersburg OPEN 2016)
od: Vlasyuk M. N. Mikhail Nikolaevich
Izdano: (2016)

The properties of Cu films deposited by high rate magnetron sputtering from a liquid target; Vacuum; Vol. 169
Izdano: (2019)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
od: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Izdano: (Томск, 2017)

Научные и технологические принципы нанесения покрытий методами физического и химического осаждения : методы получения и исследования покрытий практикум
od: Кирюханцев-Корнеев Ф. В.
Izdano: (Москва, МИСИС, 2015)

Исследование характеристик медных покрытий полученных с помощью жидкофазного магнетронного диода; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
od: Войнов Р. Ю.
Izdano: (2009)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
od: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Izdano: (Томск, 2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
od: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Izdano: (Томск, [Б. и.], 2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
od: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Izdano: (Томск, [Б. и.], 2017)

Осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана с помощью дуальной МРС; Перспективы развития фундаментальных наук
od: Киселева Д. В.
Izdano: (2015)

Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы; Известия вузов. Физика; Т. 58, № 4
od: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Izdano: (2015)

Нанесение электрохромных покрытий методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
od: Шпакова Н. Ю.
Izdano: (2011)

Energy and substance transfer in magnetron sputtering systems with liquid-phase target; Vacuum; Vol. 124
Izdano: (2016)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
od: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Izdano: (Томск, 2016)

Несбалансированная магнетронная распылительная система с электромагнитной катушкой; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
od: Шпакова Н. Ю.
Izdano: (2009)

Effect of material of the crucible on operation of magnetron sputtering system with liquid-phase target; Vacuum; Vol. 141
Izdano: (2017)

Сравнительный анализ производительности и энергоэффективности получения металлических покрытий с использованием мощных импульсных ионных пучков и плазмы магнетронного разряда; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 11 (2)
od: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Izdano: (2012)

Thermal stability and hydrogenation behavior of Zr-1Nb alloy with TiNx and Ti/TiNx coatings; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 741 : Optoelectronics, Photonics, Engineering and Nanostructures (Saint Petersburg OPEN 2016)
od: Kashkarov E. B. Egor Borisovich
Izdano: (2016)

Исследование эксплуатационных характеристик твердооксидных топливных элементов с YSZ/CGO электролитом; Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2016)
od: Ромбаева М. Р.
Izdano: (2016)

Исследование особенностей режима самораспыления при работе магнетронных распылительных систем с испаряющимися металлическими мишенями; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине. Российский и международный опыт подготовки кадров
Izdano: (2020)

Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий; Современные проблемы машиностроения
od: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Izdano: (2021)

Электропроводящие антифрикционные покрытия на основе системы CU-MO-S; Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций
Izdano: (2016)

Плазменная технология осаждения отражающего покрытия на поверхность углепластика; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 11/2
Izdano: (2011)

Магнетронный диод на парах металлов; Современные техника и технологии - СТТ' 2002; Т. 1
od: Жуков В. В.
Izdano: (2002)

Микротекстура поверхности покрытий оксинитридов титана, осажденных методов реактивного магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 3
od: Мазурик Е. А.
Izdano: (2014)

Адгезионные свойства серебросодержащих гидроксиапатитовых покрытий; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
od: Ткачев М. С.
Izdano: (2016)

Ro-vibration analysis of high-resolution spectra of ethylenemolecule: v7 + v8 band; Optoelectronics, Photonics, Engineering and Nanostructures (Saint Petersburg OPEN 2016)
od: Aslapovskaya Yu. S. Yuliya Sergeevna
Izdano: (2016)

Исследование влияния свойств тигля на интенсивность эмиссии атомов с поверхности жидкометаллической мишени МРС; Перспективы развития фундаментальных наук
od: Валдаева С. В.
Izdano: (2012)