Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Энергетический институт (ЭНИН) Кафедра электроснабжения промышленных предприятий (ЭПП), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Лаборатория № 1, Kabyshev A. V. Alexander Vasilievich, Konusov F. V. Fedor Valerievich, Lauk A. L. Aleksandr Lukyanovich, Lebedinsky A. M. Aleksey Mikhaylovich, . . . Smolyanskiy E. A. Egor Aleksandrovich. (2016). Optical Absorption Peculiarities of Al-Si-N Coatings Produced by Magnetron Sputtering. 2016. https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/KEM.712.3
Chicago Style (17th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Энергетический институт (ЭНИН) Кафедра электроснабжения промышленных предприятий (ЭПП), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Лаборатория № 1, Kabyshev A. V. Alexander Vasilievich, Konusov F. V. Fedor Valerievich, Lauk A. L. Aleksandr Lukyanovich, Lebedinsky A. M. Aleksey Mikhaylovich, Legostaev V. N. Victor, and Smolyanskiy E. A. Egor Aleksandrovich. Optical Absorption Peculiarities of Al-Si-N Coatings Produced by Magnetron Sputtering. 2016, 2016. https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/KEM.712.3.
MLA (9th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Энергетический институт (ЭНИН) Кафедра электроснабжения промышленных предприятий (ЭПП), et al. Optical Absorption Peculiarities of Al-Si-N Coatings Produced by Magnetron Sputtering. 2016, 2016. https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/KEM.712.3.