Моделирование распределения ионов в цилиндрической камере магнетронной установки
Parent link: | Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций: тезисы докладов Международной конференции, 19-23 сентября 2016 г., Томск/ Российская академия наук (РАН), Сибирское отделение (СО), Институт физики прочности и материаловедения (ИФПМ). [С. 325].— , 2016 |
---|---|
1. Verfasser: | |
Weitere Verfasser: | |
Zusammenfassung: | Заглавие с экрана |
Sprache: | Russisch |
Veröffentlicht: |
2016
|
Schriftenreihe: | Проблемы компьютерного конструирования материалов с иерархической структурой |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | http://www.ispms.ru/files/Conference/2016/Sbornik_1.pdf#page=325 |
Format: | Elektronisch Buchkapitel |
KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=651121 |