Deposition of the low resistive ITO-films by means of reactive magnetron sputtering of the In/Sn target on the cold substrate

Deposition of the low resistive ITO-films by means of reactive magnetron sputtering of the In/Sn target on the cold substrate

書誌詳細
Parent link:	IOP Conference Series: Materials Science and Engineering Vol. 135 : Issues of Physics and Technology in Science, Industry and Medicine.— 2016.— [012055, 5 p.]
団体著者:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ)
その他の著者:	Zhidik Y. S., Troyan P. E., Baturina E. V., Korzhenko D. V. Dmitry Vladimirovich, Yuriev Yu. N. Yuri Nikolaevich
要約:	Title screen Detailed information on the deposition technology of the low-resistive ITO-films in oxygen-containing media by magnetron reactive sputtering from the In(90%)/Sn(10%) target on the cold substrate is given. Developed technology allows deposition ITO-films with sheet resistance transparency higher than 90%. Developed technology is notable for high reproducibility of results and is compatible with production technology of semiconductor devices of optoelectronics.
言語:	英語
出版事項:	2016
主題:	электронный ресурс труды учёных ТПУ сопротивление пленки реактивное распыление магнетронное распыление мишени подложки осаждение полупроводниковые приборы оптоэлектроника
オンライン･アクセス:	http://dx.doi.org/10.1088/1757-899X/135/1/012055 http://earchive.tpu.ru/handle/11683/34846
フォーマット:	電子媒体図書の章
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=650344

類似資料

High-rate deposition of chromium coatings by magnetron sputtering
出版事項: (2019)

The study of titanium oxynitride coatings solubility deposited by reactive magnetron sputtering
著者:: Leonova L. A. Liliya Aleksandrovna
出版事項: (2016)

Characterzations of nitrogen-doped titanium dioxide films prepared by reactive magnetron sputtering deposition
著者:: Pichugin V. F. Vladimir Fyodorovich
出版事項: (2016)

High-rate magnetron sputtering with hot target
出版事項: (2016)

Magnetron sputtering with hot solid target: thermal processes and erosion
出版事項: (2016)

Surface modification of electrospun poly-(l-lactic) acid scaffolds by reactive magnetron sputtering
出版事項: (2018)

Calcium Phosphate Targets for RF Magnetron Sputtering of Biocoatings
出版事項: (2019)

The energy flux onto substrate during coating deposition using magnetron with liquid metal target
著者:: Bleykher (Bleicher) G. A. Galina Alekseevna
出版事項: (2016)

The Reactive Deposition of TiO[x] Thin Films
著者:: Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
出版事項: (2014)

Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target
出版事項: (2019)

The effect of Si content on structure and mechanical features of silicon-containing calcium phosphorus-based films deposited by rf-magnetron sputtering on titanium substrate treated by pulsed electron beam
出版事項: (2014)

Nickel and Chromium Deposition by Hot Target Magnetron Sputtering
出版事項: (2019)

Nitrogen-Doped Titanium Dioxide Thin Films Formation on the Surface of PLLA Electrospun Microfibers Scaffold by Reactive Magnetron Sputtering Method
出版事項: (2019)

Formation of the silicon coating on the NiTi substrate by magnetron sputteringi
著者:: Luchin A. V.
出版事項: (2019)

Effect of Intermediate Ion Cleaning of the Titanium Target on the Structure of Bioresorbable PLLA Scaffolds under Coating Deposition by DC Reactive Magnetron Sputtering
出版事項: (2020)

RF magnetron sputtering of a hydroxyapatite target: A comparison study on polytetrafluorethylene and titanium substrates
出版事項: (2017)

Formation of bioactive coatings by radio frequency magnetron sputtering using various calcium phosphate targets and working gases
著者:: Fedotkin A. Yu. Aleksandr Yurjevich
出版事項: (2019)

Metal Coatings Deposition Using Hot Target Magnetrons
出版事項: (2019)

Растворение in vitro, структурные и электрокинетические характеристики оксинитридных покрытий титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления
出版事項: (2016)

Optical Absorption Peculiarities of Al-Si-N Coatings Produced by Magnetron Sputtering
出版事項: (2016)

Исследование структуры и механических свойств покрытий на основе Zr-Y-O при импульсном магнетронном осаждении на подложках оптического стекла К208
出版事項: (2018)

Deposition of Cr films by hot target magnetron sputtering on biased substrates
出版事項: (2018)

Medical nanofilms of titanium oxynitride deposited by reactive magnetron sputtering
著者:: Boytsova E. L. Elena Lvovna
出版事項: (2016)

Determination of the Electron Density and Electron Temperature in A Magnetron Discharge Plasma Using Optical Spectroscopy and the Collisional-Radiative Model of Argon
出版事項: (2017)

Hot target magnetron sputtering for ferromagnetic films deposition
出版事項: (2018)

Hot target magnetron sputtering enhanced by RF-ICP source for CrNx coatings deposition
出版事項: (2021)

Морфология поверхности покрытий на основе оксидов и оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления
著者:: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
出版事項: (2012)

Морфология поверхности покрытий оксидов и/или оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления
著者:: Арышева Г. В. Галина Владиславовна
出版事項: (2014)

Структура и свойства покрытий системы Hf-Al-C, полученных методом реактивного магнетронного распыления
著者:: Зелецов Д.
出版事項: (2019)

Formation of bulk WC[1-X]-based coatings on metal substrates at highspeed sputtering of electric discharge plasma jet
出版事項: (2019)

Magnetron sputtering system
著者:: Lazarev A. V.
出版事項: (2015)

Solid oxide fuel cell anode surface modification by magnetron sputtering of NiO/YSZ thin film
出版事項: (2017)

Оптические свойства пленок ITO
著者:: Петрюк А. Е.
出版事項: (2018)

Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине
著者:: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
出版事項: (2009)

Energy and substance transfer in magnetron sputtering systems with liquid-phase target
出版事項: (2016)

Surface Morphology of Titanium Oxide and Oxynitride Coatings Deposited by Reactive Magnetron Sputtering
出版事項: (2015)

Investigating Thin Ti–O–N Films Deposited via Reactive Magnetron Sputtering
著者:: Boytsova E. L. Elena Lvovna
出版事項: (2018)

Исследование влияния отрицательного смещения подложки на параметры плазмы ВЧ-магнетронного распыления методом двойного зонда Ленгмюра
著者:: Мухаметкалиев Т. М. Тимур Мухамедрашидович
出版事項: (2014)

In-vitro dissolution and structural and electrokinetic characteristics of titanium-oxynitride coatings formed via reactive magnetron sputtering
出版事項: (2016)

Influence irradiation argon ion SnO[2] on optical and electrical characteristics
著者:: Asainov O. Kh. Oleg Khaydarovich
出版事項: (2017)