Plasma immersion ion charge state and mass spectrometer

Plasma immersion ion charge state and mass spectrometer

Bibliographische Detailangaben
Parent link:	Review of Scientific Instruments Vol. 85, iss. 2.— 2014.— [02A733, 3 p.]
Körperschaft:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Кафедра прикладной физики (№ 12)
Weitere Verfasser:	Stepanov I. B. Igor Borisovich, Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich, Ananin P. S. Petr Semenovich, Dektyarev S. V. Sergey Valentinovich, Sivin D. O. Denis Olegovich, Verigin D. A. Dan Aleksandrovich
Zusammenfassung:	Title screen Investigation results of charge state of monocomponent plasma of Ti, Zr, W, and N, as well as that of multicomponent metal plasma of Ti/Zr (50/50 at.%) using plasma-immersion time-of-flightspectrometer are presented in the paper. The case of pressure impact in the working chamber on the ion charge state of combined metal (Ti) and gas-discharge (N) plasma is considered. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Veröffentlicht:	2014
Schlagworte:	электронный ресурс труды учёных ТПУ
Online-Zugang:	http://dx.doi.org/10.1063/1.4852219
Format:	Elektronisch Buchkapitel
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=649334

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