APA aipamena

Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Кафедра прикладной физики (№ 12), Stepanov I. B. Igor Borisovich, Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich, Ananin P. S. Petr Semenovich, Dektyarev S. V. Sergey Valentinovich, Sivin D. O. Denis Olegovich, & Verigin D. A. Dan Aleksandrovich. (2014). Plasma immersion ion charge state and mass spectrometer. 2014. https://doi.org/10.1063/1.4852219

Chicago Style aipamena

Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Кафедра прикладной физики (№ 12), Stepanov I. B. Igor Borisovich, Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich, Ananin P. S. Petr Semenovich, Dektyarev S. V. Sergey Valentinovich, Sivin D. O. Denis Olegovich, and Verigin D. A. Dan Aleksandrovich. Plasma Immersion Ion Charge State and Mass Spectrometer. 2014, 2014. https://doi.org/10.1063/1.4852219.

MLA aipamena

Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Кафедра прикладной физики (№ 12), et al. Plasma Immersion Ion Charge State and Mass Spectrometer. 2014, 2014. https://doi.org/10.1063/1.4852219.