Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Кафедра прикладной физики (№ 12), Stepanov I. B. Igor Borisovich, Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich, Ananin P. S. Petr Semenovich, Dektyarev S. V. Sergey Valentinovich, Sivin D. O. Denis Olegovich, & Verigin D. A. Dan Aleksandrovich. (2014). Plasma immersion ion charge state and mass spectrometer; Review of Scientific Instruments; Vol. 85, iss. 2. 2014. https://doi.org/10.1063/1.4852219
Chicago Style (17th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Кафедра прикладной физики (№ 12), Stepanov I. B. Igor Borisovich, Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich, Ananin P. S. Petr Semenovich, Dektyarev S. V. Sergey Valentinovich, Sivin D. O. Denis Olegovich, and Verigin D. A. Dan Aleksandrovich. Plasma Immersion Ion Charge State and Mass Spectrometer; Review of Scientific Instruments; Vol. 85, Iss. 2. 2014, 2014. https://doi.org/10.1063/1.4852219.
MLA (9th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Кафедра прикладной физики (№ 12), et al. Plasma Immersion Ion Charge State and Mass Spectrometer; Review of Scientific Instruments; Vol. 85, Iss. 2. 2014, 2014. https://doi.org/10.1063/1.4852219.